サファイアのLEDエピ
GaN LED epitaxy wafer is offered by LED Epi on Sapphire Manufacturer – Ganwafer for LED and laser diodes (LD) application, such as for micro LED or UV LED researches. Epitaxy wafer for LED is by MOCVD with PSS or flat sapphire for LCD back light, mobile, electronic or UV(ultraviolet), with blue or green or red emission, including InGaN/GaN active area and AlGaN layers with GaN well/AlGaN barrier for different chip sizes.
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説明
Al2O3上のGaN– 2インチエピウェーハ仕様（LEDエピタキシャルウェーハ）：
UV：365 +/- 5nm
UV：405 +/- 5nm
白：445-460nm
青：465-475nm
緑：510-530nm
1.サファイアウェーハの青色または緑色のLEDエピ
1.1サファイアウェーハ上のマイクロLEDEipitaxyの構造
| 構造層 | 厚み（μm） |
| p型GaN | 0.2 |
| p型AlGaN | 0.03 |
| InGaN / GaNの（アクティブ領域） | 0.2 |
| n型GaN | 2.5 |
| u-GaN | 3.5 |
| Al 2 O 3（基板） |
1.2サファイア基板上の青色または緑色のLEDエピウェーハの仕様
| アイテム | Requirememt | レンジ |
| 成長技術 | MOCVD | |
| ウェーハの大口径 | 2インチまたは4インチ（以下の4インチの例を見てください） | |
| ウェーハ基板材料 | フラットサファイア基板またはパターン化サファイア基板 | |
| 基板直径 | 100ミリメートル | +/- 0.25mm |
| 基板の厚さ | 650um | +/- 25um |
| c平面（0001）、m平面へのオフセット角度 | 0.2度 | +/- 0.1度 |
| シングルプライマリフラット長さ | 30ミリメートル | +/- 1mm |
| オリエンテーションフラット | 飛行機 | |
| PL発光波長 | 450-460nm（青） | |
| 520-530nm（緑） | ||
| PL波長FWHM | 17-18（青） | |
| 30-35（緑） | ||
| XRDロッキングカーブ（002） | = <200 | +/- 20 |
| XRDロッキングカーブ（102） | = <200 | +/- 20 |
| 前面、AFM（5 * 5 um2）Ra | <0.5nm | |
| ウェーハボウイング | <45 | +/- 10 |
| LEDの総厚 | 5.5um | +/- 0.2um |
| 総厚さの変化 | 3％ | |
| 欠陥密度（巨視的） | <5E8 / cm-2 |
1.3LEDエピタキシーのテストデータ
| 002 | 102 | In_comp | InGaN_THK | GaN_THK | Pair_THK |
| 178.6 | 193.2 | 9.48 | 41.7 | 82.5 | 124.2 |
| WLP_Avge | WLP_Std | PI_Avge | PI_Std | WLD_Avge | WLD_Std | INT_Avge | INT_Std |
| 448.34 | 3.729 | 1.673 | 0.494 | 454.999 | 2.747 | 117.883 | 0.167 |
| HW_Avge | HW_Std | TH_Avge | TH_Std | PR_Avge | PR_Std | LOP_Avge | LOP_Std |
| 16.387 | 6.1 | 0.092 | 290.56 | 7.176 | 136.312 | 0.874 | 2060 |
2.サファイアのUVLEDエピ
ウェーハ構造、365nmまたは405nm：
P-AlGaN
AlGaN EBL
AlGaN / InGaN MOW
N-SLS
N-AlGaN
ドープされていないAlGaN
サファイア基板
述べる：
中国政府は、半導体チップの製造に使用されるガリウム材料（GaAs、GaN、Ga2O3、GaP、InGaAs、GaSbなど）およびゲルマニウム材料の輸出に対する新たな制限を発表しました。 2023 年 8 月 1 日以降、これらの材料の輸出は中国商務省から許可を取得した場合にのみ許可されます。 ご理解いただければ幸いです。
