Plaquette InAs
Compound semiconductor indium arsenide (InAs) wafer for sale is composed of indium and arsenic III-V elements grown by LEC (Liquid Encapsulated Czochralski). Ganwafer offers indium arsenide substrate in epi-ready or mechanical grade with n type, p type or semi-insulating in different orientations as terahertz radiation source.
Le semi-conducteur composé d'arséniure d'indium est un matériau à bande interdite directe, similaire à l'arséniure de gallium (GaAs). Parfois, InAs est utilisé avec InP. InAs est allié à GaAs pour former de l'arséniure d'indium et de gallium. Plus de spécifications de la plaquette d'arséniure d'indium, veuillez consulter les éléments suivants :
- La description
- Demande
Description
1. Spécifications de la plaquette InAs
1.1. Spécification de la plaquette d'arséniure d'indium 4″
| Article | Caractéristiques | |||
| dopant | faiblement dopé | Stannum | Soufre | Zinc |
| Type de Conduction | De type N | De type N | De type N | De type P, |
| Diamètre wafer | 4 " | |||
| Orientation wafer | (100) ± 0,5 ° | |||
| Epaisseur wafer | 900±25um | |||
| Plat Longueur primaire | 16 ± 2 mm | |||
| Plat Longueur secondaire | 8 ± 1mm | |||
| Concentration porteuse | 5×1016cm-3 | (5-20)x1017cm-3 | (1-10)x1017cm-3 | (1-10)x1017cm-3 |
| Mobilité | ≥2×104cm2/Contre | 7000-20000cm2/Contre | 6000-20000cm2/Contre | 100-400 cm2/Contre |
| EPD | <5 × 104cm-2 | <5 × 104cm-2 | <3×104cm-2 | <3×104cm-2 |
| TTV | <15UM | |||
| ARC | <15UM | |||
| CHAÎNE | <20um | |||
| marquage laser | à la demande | |||
| Finition de surface | P / E, P / P | |||
1.2. Spécification du substrat d'arséniure d'indium 3″
| Article | Caractéristiques | |||
| dopant | faiblement dopé | Stannum | Soufre | Zinc |
| Type de Conduction | De type N | De type N | De type N | De type P, |
| Diamètre wafer | 3 " | |||
| Orientation wafer | (100) ± 0,5 ° | |||
| Epaisseur wafer | 600 ± 25um | |||
| Plat Longueur primaire | 22 ± 2 mm | |||
| Plat Longueur secondaire | 11±1mm | |||
| Concentration porteuse | 5×1016cm-3 | (5-20)x1017cm-3 | (1-10)x1017cm-3 | (1-10)x1017cm-3 |
| Mobilité | ≥2×104cm2/Contre | 7000-20000cm2/Contre | 6000-20000cm2/Contre | 100-400 cm2/Contre |
| EPD | <5 × 104cm-2 | <5 × 104cm-2 | <3×104cm-2 | <3×104cm-2 |
| TTV | <12um | |||
| ARC | <12um | |||
| CHAÎNE | <15UM | |||
| marquage laser | à la demande | |||
| Finition de surface | P / E, P / P | |||
| Epi prêt | oui | |||
| Paquet | Récipient ou cassette de wafer unique | |||
| Epi prêt | oui | |||
| Paquet | Récipient ou cassette de wafer unique | |||
1.3. Spécification de la plaquette InAs à semi-conducteur composé 2″
| Article | Caractéristiques | |||
| dopant | faiblement dopé | Stannum | Soufre | Zinc |
| Type de Conduction | De type N | De type N | De type N | De type P, |
| Diamètre wafer | 2 " | |||
| Orientation wafer | (100) ± 0,5 ° | |||
| Epaisseur wafer | 500±25um | |||
| Plat Longueur primaire | 16 ± 2 mm | |||
| Plat Longueur secondaire | 8 ± 1mm | |||
| Concentration porteuse | 5×1016cm-3 | (5-20)x1017cm-3 | (1-10)x1017cm-3 | (1-10)x1017cm-3 |
| Mobilité | ≥2×104cm2/Contre | 7000-20000cm2/Contre | 6000-20000cm2/Contre | 100-400 cm2/Contre |
| EPD | <5 × 104cm-2 | <5 × 104cm-2 | <3×104cm-2 | <3×104cm-2 |
| TTV | <10um | |||
| ARC | <10um | |||
| CHAÎNE | <12um | |||
| marquage laser | à la demande | |||
| Finition de surface | P / E, P / P | |||
| Epi prêt | oui | |||
| Paquet | Récipient ou cassette de wafer unique | |||
2. Carte de planéité cousue de la plaquette InAs :
3. Applications de l'arséniure d'indium
Le cristal d'arséniure d'indium a une mobilité électronique élevée et un rapport de mobilité (μe/μh = 70), un faible effet de magnétorésistance et un faible coefficient de température de résistance. Ainsi, la solution d'arséniure d'indium est idéale pour la fabrication de dispositifs à effet Hall et de dispositifs magnétorésistifs.
Le substrat InAs monocristallin peut faire croître InAsSb/InAsPSb, InAsPSb et d'autres matériaux à hétérostructure pour produire des dispositifs émettant de la lumière infrarouge avec une longueur d'onde de 2 à 12 µm.
Les substrats monocristallins d'arséniures d'indium peuvent également être utilisés pour faire croître par épitaxie des matériaux à structure de super-réseau InAsPSb afin de produire des lasers à cascade quantique dans l'infrarouge moyen. Ces dispositifs infrarouges ont de bonnes perspectives d'application dans les domaines de la détection de gaz et de la communication par fibre optique à faibles pertes.
4. Influence du processus de recuit sur les couches d'accumulation d'électrons de surface de la plaquette InAs
Utilisez la spectroscopie Raman pour étudier l'effet de la température de recuit sur les propriétés optiques des couches d'accumulation d'électrons de surface de tranche d'arséniure d'indium de type n (100). Le résultat montre que les pics Raman causés par les phonons LO non blindés disparaîtront lorsque la température augmentera. Nous pouvons également voir que la couche d'accumulation d'électrons sur la surface de l'arséniure d'indium est éliminée par recuit. Le mécanisme analysé par diffraction des rayons X, spectroscopie photoélectronique des rayons X et microcopie électronique à transmission haute résolution montre des phases amorphes In2O3 et As2O3 accumulées sur le substrat de la plaquette InAs pendant le processus de recuit ; un mince film mince d'As cristallin formé à l'interface entre la couche d'oxyde et le substrat de tranche, entraînant une diminution de l'épaisseur de la couche d'électrons de surface.
