Plaquette InP

Plaquette InP

Indium phosphide (InP) is one of the important III-V compound semiconductors. It has the advantages of high electron mobility, good radiation resistance, and high band gap, which means that this material can amplify higher frequencies or signals with shorter wavelengths. Therefore, satellite receivers and amplifiers made of indium phosphide chips can work at extremely high frequencies above 100 GHz with high stability. Compared with gallium arsenide semiconductor materials, single crystal indium phosphide for sale from Ganwafer has a higher breakdown electric field and thermal conductivity, and higher electron mobility. More about our InP semiconductor wafer please see as follows:

Description

À l'heure actuelle, les principales tailles de substrats monocristallins InP sont de 2 à 4 pouces. Des matières premières aux lingots, le phosphure d'indium est découpé en une plaquette de 2 ou 4 pouces. Le taux de rendement est généralement de l'ordre de 28 %, et le seuil technique n'est généralement pas élevé. Plus la taille de la tranche de phosphure d'indium est grande, plus la valeur est élevée.

1. Spécifications détaillées de la plaquette de phosphure d'indium

1.1. Spécification de la plaquette monocristalline InP (phosphure d'indium) 4″

Article Caractéristiques
dopant De type N De type N De type P, SI type
Type de Conduction faiblement dopé Soufre Zinc lron
Diamètre wafer 4 "
Orientation wafer (100) ± 0,5 °
Epaisseur wafer 600 ± 25um
Plat Longueur primaire 16 ± 2 mm
Plat Longueur secondaire 8 ± 1mm
Concentration porteuse ≤3x1016cm-3 (0.8-6)x1018cm-3 (0,6 à 6) x1018cm-3 N / A
Mobilité (3.5-4)x103cm2/Vs (1.5-3.5)x103cm2/Vs 50-70x103cm2/Vs >1000cm2/Vs
Résistivité N / A N / A N / A N / A
EPD <1000cm-2 <500cm-2 <1x103cm-2 <5x103cm-2
TTV <15UM
ARC <15UM
CHAÎNE <15UM
marquage laser à la demande
finition Suface P / E, P / P
Epi prêt oui
Paquet Récipient ou cassette de wafer unique

 

1.2. Spécification du substrat de plaquette de phosphure d'indium 3″

Article Caractéristiques
dopant De type N De type N De type P, SI type
Type de Conduction faiblement dopé Soufre Zinc lron
Diamètre wafer 3 "
Orientation wafer (100) ± 0,5 °
Epaisseur wafer 600 ± 25um
Plat Longueur primaire 16 ± 2 mm
Plat Longueur secondaire 8 ± 1mm
Concentration porteuse ≤3x1016cm-3 (0.8-6)x1018cm-3 (0,6 à 6) x1018cm-3 N / A
Mobilité (3.5-4)x103cm2/Vs (1.5-3.5)x103cm2/Vs 50-70x103cm2/Vs >1000cm2/Vs
Résistivité N / A N / A N / A N / A
EPD <1000cm-2 <500cm-2 <1x103cm-2 <5x103cm-2
TTV <12um
ARC <12um
CHAÎNE <15UM
marquage laser à la demande
finition Suface P / E, P / P
Epi prêt oui
Paquet Récipient ou cassette de wafer unique

1.3. Spécification du substrat de plaquette InP 2″

Article Caractéristiques
dopant De type N De type N De type P, SI type
Type de Conduction faiblement dopé Soufre Zinc lron
Diamètre wafer 2 "
Orientation wafer (100) ± 0,5 °
Epaisseur wafer 350 ± 25um
Plat Longueur primaire 16 ± 2 mm
Plat Longueur secondaire 8 ± 1mm
Concentration porteuse 3x1016cm-3 (0.8-6)x1018cm-3 (0,6 à 6) x1018cm-3 N / A
Mobilité (3.5-4)x103cm2/Vs (1.5-3.5)x103cm2/Vs 50-70x103cm2/Vs >1000cm2/Vs
Résistivité N / A N / A N / A N / A
EPD <1000cm-2 <500cm-2 <1x103cm-2 <5x103cm-2
TTV <10um
ARC <10um
CHAÎNE <12um
marquage laser à la demande
finition Suface P / E, P / P
Epi prêt oui
Paquet Récipient ou cassette de wafer unique

 

2. Classification et application du phosphure d'indium

Selon les performances de conductivité, les substrats InP sont principalement divisés en substrats semi-conducteurs et semi-isolants.
Les substrats semi-conducteurs sont classés en substrats semi-conducteurs de type N et de type P. Habituellement, In2S3 et Sn sont utilisés comme dopants pour les substrats de type N, et ZnP2 est utilisé comme dopants pour les substrats de type p. Le but de l'utilisation de divers dopants est de fournir des substrats de différents types de conductivité pour la fabrication de dispositifs, notamment comme suit :
* L'InP dopé S de type N n'est pas seulement utilisé pour les diodes laser, mais aussi pour les photodétecteurs. Afin d'éviter les courants de fuite générés par les dislocations, un semi-conducteur au phosphure d'indium sans dislocation dopé au S est nécessaire. Étant donné que le soufre a un effet de durcissement des impuretés évident dans le substrat InP, les monocristaux en vrac de phosphure d'indium sans dislocation sont faciles à développer.
* Le phosphure d'indium (InP) dopé au Zn de type P est principalement utilisé pour les diodes laser de forte puissance. Zn a également un fort effet de durcissement des impuretés, de sorte qu'il peut également réduire le rapport de dislocation. Une faible dislocation est très importante pour améliorer la durée de vie du laser.
* Les substrats InP semi-isolants sont classés en substrats semi-isolants dopés et substrats semi-isolants non dopés selon qu'ils sont dopés ou non. Les substrats semi-isolants dopés utilisent généralement Fe2P comme dopant. Le substrat semi-isolant non dopé est constitué d'un substrat monocristallin InP de haute pureté par recuit à haute température. Les substrats semi-conducteurs semi-isolants en phosphure d'indium sont principalement utilisés pour fabriquer des dispositifs radiofréquence.

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