Mặt nạ ảnh
Bình quang bán dẫn là một loại phim dựa trên quá trình quang khắc. Bình quang trong chất bán dẫn là một công cụ chuyển giao đồ họa hoặc một bậc thầy trong quy trình sản xuất vi điện tử và nó là vật mang thông tin sở hữu trí tuệ như thiết kế đồ họa và công nghệ quy trình. Bình quang bán dẫn có thể được phân loại thành các tấm crom, tấm khô, tấm giảm lỏng và phim tùy theo mục đích sử dụng của chúng.
Quy trình sản xuất bình quang như sau: Theo mẫu mà khách hàng yêu cầu, chúng tôi là một trong những nhà sản xuất bình quang bán dẫn hàng đầu sử dụng quy trình quang khắc để khắc các hoa văn nhỏ ở mức micromet và nano trên mặt nạ. Nguyên liệu thô của mặt nạ là một trống bình quang cảm quang để tạo ra các mẫu bình quang tốt, sau đó lớp kim loại không cần thiết và lớp keo được rửa sạch để thu được tấm mặt nạ bán dẫn.
- Sự miêu tả
- Cuộc điều tra
Miêu tả
Photomasks có thể được chia thành mặt nạ thạch anh, mặt nạ soda và các loại khác (bao gồm cả tấm phù điêu và phim) theo các chất liệu nền khác nhau. Cụ thể như sau:
Chất bán dẫn quang bình thạch anh sử dụng thủy tinh thạch anh làm vật liệu nền, có độ truyền quang cao và tốc độ giãn nở nhiệt thấp. So với thủy tinh soda, nó phẳng hơn và chống mài mòn và có tuổi thọ lâu dài. Bình quang thạch anh chủ yếu được sử dụng cho mặt nạ có độ chính xác cao;
Mặt nạ soda sử dụng thủy tinh soda làm vật liệu nền, có độ truyền quang cao hơn, tỷ lệ giãn nở nhiệt tương đối cao hơn thủy tinh thạch anh, đồng thời độ phẳng và khả năng chống mài mòn tương đối yếu hơn thủy tinh thạch anh. Nó chủ yếu được sử dụng cho mặt nạ có độ chính xác trung bình và thấp;
Thiết kế bình quang phù điêu sử dụng nhựa polybutadien không bão hòa làm vật liệu nền, chủ yếu được sử dụng để in đệm vật liệu định hướng trong quy trình sản xuất màn hình tinh thể lỏng (LCD);
Thiết kế mặt nạ bán dẫn sử dụng PET làm vật liệu nền, chủ yếu được áp dụng cho mặt nạ bảng mạch.
1. Giải pháp Photomask bán dẫn
1.1 Photomask trên nền thạch anh
| Mẫu xác nhận thông tin khách hàng | ||
| 1 | Tên khách hàng | - |
| 2 | Kích thước mặt nạ | 5009 |
| 3 | CD SPEC (Trên mặt nạ) | - |
| 4 | Quy mô mặt nạ | 05:01 |
| 5 | Lớp mặt nạ | S |
| 6 | Chất liệu mặt nạ | đá thạch anh |
| 7 | Pellicle | Không ai |
| 8 | Loại pellicle | I-Line |
| 9 | Gửi dữ liệu | FTP |
| 10 | JDV (Kiểm tra phỏng vấn) | VÂNG |
| 11 | Loại máy in thạch bản | - |
| 12 | CD (khớp CD) | VÂNG |
| 13 | Trận đấu đăng ký | VÂNG |
| 14 | Kiểm tra khuyết tật | Chết để chết / Chết với cơ sở dữ liệu |
| 15 | Cho phép Scratch trong vòng 5mm trên cạnh của | VÂNG |
| mặt nạ nhưng ngoài dữ liệu | ||
| 16 | Yêu cầu đặc biệt | - |
Các cấp độ cho Photomask trên thạch anh
| Cấp | D | C | B | Một | S |
| Lòng khoan dung | ± 0,3 | ± 0,3 | ± 0,2 | ± 0,15 | ± 0,1 |
| Có nghĩa là để nhắm mục tiêu | ± 0,3 | ± 0,3 | ± 0,2 | ± 0,15 | ± 0,1 |
| thống nhất | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.15 | 0.1 |
| Đăng ký | ± 0,4 | ± 0,3 | ± 0,2 | ± 0,15 | ± 0,1 |
| Kích thước khiếm khuyết | 1.5 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.6 |
| Mật độ khuyết tật | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
1.2 Bình quang bán dẫn chính 1X trên thạch anh hoặc vôi sống
| Sản phẩm | Kích thước | Vật liệu bề mặt |
| 1X Thạc sĩ | 4” X4” X0.060” hoặc 0,090” | Thạch anh và Soda chanh |
| 5” X5” X0.090” | Thạch anh và Soda chanh | |
| 6” X6” X0.120” hoặc 0,250” | Thạch anh và Soda chanh | |
| 7” X7” X0.120” hoặc 0,150” | Thạch anh và Soda chanh | |
| 7,25” Vòng X 0,150” | đá thạch anh | |
| 9” X9” X0.120” hoặc 0,190” | Thạch anh và Soda chanh |
1.2.1 Thông số kỹ thuật chung cho Mặt nạ 1X (Chất liệu thạch anh)
| Kích CD | CD Mean-to-danh nghĩa | CD đồng nhất | Đăng ký | Kích thước khuyết tật |
| 2,0 um | ≤0.25 um | ≤0.25 um | ≤0.25 um | ≥2.0 um |
| 4,0 um | ≤0.30 um | ≤0.30 um | ≤0.30 um | ≥3.5 um |
1.2.2 Thông số kỹ thuật chung cho Mặt nạ 1X Master (Chất liệu Soda Lime)
| Kích CD | CD Mean-to-danh nghĩa | CD đồng nhất | Đăng ký | Kích thước khuyết tật |
| ≤4 um | ≤0.25 um | ---- | ≤0.25 um | ≥3.0 um |
| ≤4 um | ≤0.30 um | ---- | ≤0.45 um | ≥5.0 um |
1.3 Kích thước mặt nạ UT1X và vật liệu nền
| Sản phẩm | Kích thước | bề mặt vật liệu |
| UT1X | 3 "X5" X0.090 " | đá thạch anh |
| 5 "X5" X0.090 " | đá thạch anh | |
| 6 "X6" X0.120 "hoặc 0,250" | đá thạch anh |
Thông số kỹ thuật chung cho Mặt nạ UT1X
| Kích CD | CD Mean-to-danh nghĩa | CD đồng nhất | Đăng ký | Kích thước khuyết tật |
| 1,5 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≥0.50 um |
| 3,0 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≥0.60 um |
| 4,0 um | ≤0.25 um | ≤0.25 um | ≤0.20 um | ≥0.75 um |
1.4 Mặt nạ nhị phân tiêu chuẩn
| Sản phẩm | Kích thước | Vật liệu bề mặt |
| 2X | 6 "X 6" X0.250 " | đá thạch anh |
| 2.5x | ||
| 4X | ||
| 5X | 5 "X5" X0.090 " | đá thạch anh |
| 6 "X6" X0.250 " | đá thạch anh |
Thông số kỹ thuật chung cho Mặt nạ Chuẩn Binary
| Kích CD | CD Mean-to-danh nghĩa | CD đồng nhất | Đăng ký | Kích thước khuyết tật |
| 2,0 um | ≤0.10 um | ≤0.15 um | ≤0.10 um | ≥0.50 um |
| 3,0 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≥0.75 um |
| 4,0 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≥1.00 um |
1.5 Mặt nạ khu vực trung bình
| Sản phẩm | Kích thước | Vật liệu bề mặt |
| 1X | 9 "X9" 0,120 " | Vôi thạch anh Soda (có cả chất hấp thụ Chrome và Oxit sắt) |
| 9 "X9" 0,190 " | đá thạch anh |
1.5.1 Các thông số kỹ thuật chung cho mặt nạ diện tích trung bình (chất liệu thạch anh)
| Kích CD | CD Mean-to-danh nghĩa | CD đồng nhất | Đăng ký | Kích thước khuyết tật |
| 0.50 um | ≤0.20 um | ---- | ≤0.15 um | ≥1.50 um |
1.5.2 Thông số kỹ thuật chung cho mặt nạ diện tích trung bình (chất liệu soda chanh)
| Kích CD | CD Mean-to-danh nghĩa | CD đồng nhất | Đăng ký | Kích thước khuyết tật |
| 10 um | ≤4.0 um | ---- | ≤4.0 um | ≥10 um |
| 4 um | ≤2.0 um | ---- | ≤1.0 um | ≥5 um |
| 2,5 um | ≤0.5 um | ---- | ≤0.75 um | ≥3 um |
