Fotoğraf Maskesi
Yarı iletken fotomaske, fotolitografi işlemine dayanan bir filmdir. Yarı iletkendeki fotomaske, mikroelektronik üretim sürecinde bir grafik aktarım aracı veya ustasıdır ve grafik tasarım ve süreç teknolojisi gibi fikri mülkiyet bilgilerinin bir taşıyıcısıdır. Yarı iletken fotomask, kullanımlarına göre krom plakalar, kuru plakalar, sıvı kabartma plakalar ve film olarak sınıflandırılabilir.
Fotomaske üretim süreci aşağıdaki gibidir: Müşterinin talep ettiği desene göre, önde gelen yarı iletken fotomaske üreticilerinden biri olarak, maske üzerine mikron ve nano seviyedeki ince desenleri kazımak için fotolitografi işlemini kullanıyoruz. Maskenin hammaddesi, ince fotomaske desenleri yapmak için ışığa duyarlı fotomaske boşluklarıdır ve daha sonra yarı iletken maskeleme plakasını elde etmek için gereksiz metal tabaka ve tutkal tabakası yıkanır.
- Açıklama
- Sorgu
Tanım
Fotomaskeler, farklı alt tabaka malzemelerine göre kuvars maskeleri, soda maskeleri ve diğerlerine (kabartma levhaları ve film dahil) ayrılabilir. Spesifik olarak aşağıdaki gibidir:
Kuvars fotomask yarı iletkeni, yüksek optik geçirgenliğe ve düşük termal genleşme oranına sahip alt tabaka malzemesi olarak kuvars camı kullanır. Soda camı ile karşılaştırıldığında, daha düz ve aşınmaya dayanıklıdır ve uzun ömürlüdür. Kuvars fotomask esas olarak yüksek hassasiyetli maskeler için kullanılır;
Soda maskesi, daha yüksek optik geçirgenliğe, kuvars camdan nispeten daha yüksek termal genleşme oranına ve kuvars camdan nispeten daha zayıf düzlüğe ve aşınma direncine sahip olan substrat malzemesi olarak soda camı kullanır. Esas olarak orta ve düşük hassasiyetli maskeler için kullanılır;
Rölyef fotoğraf maskesi tasarımı, esas olarak sıvı kristal ekranların (LCD) üretim sürecinde yönlendirilmiş malzeme tampon baskısı için kullanılan substrat malzemesi olarak doymamış polibütadien reçinesi ile birlikte kullanılır;
Yarı iletken maske tasarımı, esas olarak devre kartı maskeleri için uygulanan alt tabaka malzemesi olarak PET kullanır.
1. Yarı İletken Fotomask Çözümleri
1.1 Kuvars Yüzeyde Fotomaske
| Müşteri Bilgileri Onay Formu | ||
| 1 | Müşteri adı | - |
| 2 | maske boyutu | 5009 |
| 3 | CD SPEC(Maske üzerinde) | - |
| 4 | Maske Ölçeği | 5:01 |
| 5 | Maske Sınıfı | S |
| 6 | Maske Malzemesi | Kuvars |
| 7 | pelikül | Hiçbiri |
| 8 | pelikül tipi | I-Line |
| 9 | Veri gönderme | FTP |
| 10 | JDV(İş görünümü kontrolü) | EVET |
| 11 | Litografi makine tipi | - |
| 12 | CD (CD eşleşmesi) | EVET |
| 13 | Kayıt maçı | EVET |
| 14 | Kusur Muayenesi | Ölmek İçin Ölmek/Veritabanına Ölmek |
| 15 | kenarında 5 mm içinde Çizilmeye izin verin. | EVET |
| maske ama veri dışında | ||
| 16 | Özel istek | - |
Kuvars üzerinde Photomask için Notlar
| sınıf | NS | C | B | A | S |
| Hoşgörü | ±0.3 | ±0.3 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.1 |
| hedef demek | ±0.3 | ±0.3 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.1 |
| tekdüzelik | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.15 | 0.1 |
| Kayıt | ±0.4 | ±0.3 | ±0.2 | ±0.15 | ±0.1 |
| kusur boyutu | 1.5 | 1.5 | 1 | 0.8 | 0.6 |
| kusur yoğunluğu | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
1.2 Kuvars veya Soda Kireç üzerinde 1X Ana Yarı İletken Fotomaske
| Ürün | Boyutlar | substrat Malzemeleri |
| 1X Usta | 4” X4” X0.060” ya da 0.090” | Kuvars ve Soda Kireç |
| 5” X5” X0.090” | Kuvars ve Soda Kireç | |
| 6” X6” X0.120” veya 0.250” | Kuvars ve Soda Kireç | |
| 7” X7” X0.120” veya 0.150” | Kuvars ve Soda Kireç | |
| 7,25” Yuvarlak X 0.150” | Kuvars | |
| 9” X9” X0.120” veya 0.190” | Kuvars ve Soda Kireç |
1.2.1 1X Ana Maskeler için Ortak Özellikler (Kuvars Malzeme)
| CD Boyut | CD Mean-to-Nominal | CD tekdüzeliği | Kayıt | kusur Boyut |
| 2.0 um | ≤0.25 um | ≤0.25 um | ≤0.25 um | ≥2.0 um |
| 4,0 um | ≤0.30 um | ≤0.30 um | ≤0.30 um | ≥3.5 um |
1.2.2 1X Ana Maskeler için Ortak Spesifikasyon (Soda Kireç Malzemesi)
| CD Boyut | CD Mean-to-Nominal | CD tekdüzeliği | Kayıt | kusur Boyut |
| ≤4 um | ≤0.25 um | ---- | ≤0.25 um | ≥3.0 um |
| ≤4 um | ≤0.30 um | ---- | ≤0.45 um | ≥5.0 um |
1.3 UT1X Maske Boyutları ve Yüzey Malzemeleri
| Ürün | Boyutlar | Alt Malzemesi |
| UT1X | 3 "X5" X0.090 " | Kuvars |
| 5 "X5" X0.090 " | Kuvars | |
| 6 "X6" X0.120 "veya 0.250" | Kuvars |
UT1X maskeler Ortak Özellikleri
| CD Boyut | CD Mean-to-Nominal | CD tekdüzeliği | Kayıt | kusur Boyut |
| 1.5 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≥0.50 um |
| 3,0 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≥0.60 um |
| 4,0 um | ≤0.25 um | ≤0.25 um | ≤0.20 um | ≥0.75 um |
1.4 Standart İkili Maske
| Ürün | Boyutlar | substrat Malzemeleri |
| 2 KERE | 6 "x 6" X0.250 " | Kuvars |
| 2.5X | ||
| 4X | ||
| 5X | 5 "X5" X0.090 " | Kuvars |
| 6 "X6" X0.250 " | Kuvars |
Standart İkili maskeler Ortak Özellikleri
| CD Boyut | CD Mean-to-Nominal | CD tekdüzeliği | Kayıt | kusur Boyut |
| 2.0 um | ≤0.10 um | ≤0.15 um | ≤0.10 um | ≥0.50 um |
| 3,0 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≤0.15 um | ≥0.75 um |
| 4,0 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≤0.20 um | ≥1.00 um |
1.5 Orta Alan Maskeleri
| Ürün | Boyutlar | substrat Malzemeleri |
| 1X | 9 "X9" 0.120 " | Kuvars Soda Kireç (hem Krom hem de Demir Oksit emiciler mevcuttur) |
| 9 "X9" 0.190 " | Kuvars |
1.5.1 Orta Alan Maskeleri için Ortak Özellikler (Kuvars Malzeme)
| CD Boyut | CD Mean-to-Nominal | CD tekdüzeliği | Kayıt | kusur Boyut |
| 0.50 um | ≤0.20 um | ---- | ≤0.15 um | ≥1.50 um |
1.5.2 Orta Alan Maskeleri için Ortak Özellikler (Soda Kireç Malzemesi)
| CD Boyut | CD Mean-to-Nominal | CD tekdüzeliği | Kayıt | kusur Boyut |
| 10 um | ≤4.0 um | ---- | ≤4.0 um | ≥10 um |
| 4 um | ≤2.0 um | ---- | ≤1.0 um | ≥5 um |
| 2.5 um | ≤0.5 um | ---- | ≤0.75 um | ≥3 um |
