InSb Wafer
Indi antimonide (InSb) có độ linh động điện tử và tốc độ bão hòa cao nhất trong số tất cả các chất bán dẫn, vì vậy nó có thể được sử dụng trong các thiết bị tiêu thụ điện năng thấp và tần số cực cao. Là nhà sản xuất tấm bán dẫn hợp chất InSb wafer, Ganwafer cung cấp chất nền antimonide indium nhóm III-V được trồng LEC
Có nhiều ứng dụng tiềm năng của tấm wafer hợp chất antimonide indium do nhiệt độ kết tinh thấp, độ rộng vùng cấm hẹp, độ linh động của hạt tải điện cao, quy trình đơn tinh thể indium antimonide có độ tinh khiết cao tương đối đơn giản, cấu trúc tinh thể antimonide indium hoàn chỉnh và tính đồng nhất thông số điện tốt. Tấm wafer antimonide indium hiện đang được sử dụng trong các bóng bán dẫn hiệu ứng trường (FET), giúp thiết bị kỹ thuật số tiêu thụ điện năng thấp và phản hồi nhanh. Để biết thêm về tấm wafer antimon indium, vui lòng liên hệ với chúng tôi.
- Sự miêu tả
- Cuộc điều tra
Miêu tả
Các tấm antimonide indium sẵn sàng epi đơn tinh thể vẫn là một trong những chất bán dẫn chính được sử dụng để chế tạo các linh kiện điện tử cho các thiết bị điện tử ở trạng thái rắn. InSb wafer được sử dụng để chế tạo tế bào quang tuyến tính và mảng hoạt động ở bước sóng 3–5mm, và được sử dụng làm phần tử cảm quang trong hệ thống thị giác nhiệt.
Hơn nữa, mảng tiêu cự dựa trên màng mỏng antimonide indium được sử dụng làm thiết bị đặc biệt cho hệ thống định vị và nhắm mục tiêu chính xác trên không, đầu theo dõi hồng ngoại phòng không, máy dò hồng ngoại hàng hải, v.v.
1. Thông số kỹ thuật Wafer InSb
| Mục | Đặc tính kỹ thuật |
| wafer Đường kính | 2 "50,5 ± 0.5mm 3 ″ 76,2 ± 0,4mm 4 ″ 1000.0 ± 0.5mm |
| Định hướng tinh | 2 "(111) AorB ± 0.1 ° 3 "(111) AorB ± 0,1 ° 4 "(111) AorB ± 0,1 ° |
| Độ dày | 2 "625 ± 25um 3 "800 hoặc 900 ± 25um 4 "1000 ± 25um |
| chiều dài phẳng chính | 2 "16 ± 2mm 3 "22 ± 2mm 4 "32,5 ± 2,5 mm |
| chiều dài phẳng THCS | 2 "8 ± 1mm 3 "11 ± 1mm 4 "18 ± 1mm |
| Kết thúc bề mặt | P / E, P / P |
| gói | Epi-Ready, Độc wafer container hoặc CF băng cassette |
2. Các thông số pha tạp và điện của Wafer Antimonide Indium loại N và loại P
| Loại dẫn | n-type | n-type | n-type | n-type | p-type |
| dopant | pha tạp thấp | tên chất hóa học | tellurium thấp | tellurium cao | Genmanium |
| EPD cm-2 | 2 "3" 4 "≤50 | 2 ″ ≤100 | |||
| Tính di động cm² V-1s-1 | ≥4 * 105 | ≥ 2,5 * 104 | ≥ 2,5 * 105 | không rõ | 8000-4000 |
| Nồng độ sóng mang cm-3 | 5 * 1013-3 * 1014 | (1-7) * 1017 | 4 * 1014-2 * 1015 | ≥1 * 1018 | 5 * 1014-3 * 1015 |
3. Nghiên cứu về đánh bóng hóa học của InSb Wafer
Đánh bóng cơ học sẽ gây ra hư hỏng cơ học cho bề mặt của tấm InSb ở một mức độ nhất định, làm tăng độ nhám bề mặt của tấm wafer, và ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị cuối cùng. Đánh bóng hóa học có thể loại bỏ các vết xước bề mặt của đế InSb và giảm độ nhám bề mặt. Nền antimonide indium loại n hoặc loại p được đánh bóng cơ học và được đánh bóng thêm bằng dung dịch Br_2-MeOH nồng độ thấp. So sánh địa hình, tổng độ dày thay đổi (TTV), độ nhám, thành phần bề mặt và tạp chất của tấm lót InSb đã đánh bóng và chưa đánh bóng, kết quả cho thấy khi đánh bóng tấm InSb bằng dung dịch Br_2-MeOH nồng độ thấp, tốc độ ăn mòn ổn định, dễ dàng. kiểm soát và có thể loại bỏ hiệu quả các vết xước bề mặt và có được bề mặt gương nhẵn. Độ nhám bề mặt của tấm wafer sau khi đánh bóng hóa học là 6,443nm, TTV là 3,4μm, và tỷ lệ nguyên tử của In / Sb gần bằng 1. So với các dung dịch ăn mòn CP4-A và CP4-B truyền thống, nồng độ Br_2- thấp Dung dịch MeOH thích hợp hơn để đánh bóng tấm InSb bằng hóa chất.
