Máscara de fotos

Descripción

Las fotomáscaras se pueden dividir en máscaras de cuarzo, máscaras de soda y otras (incluidas las placas y películas en relieve) según los diferentes materiales del sustrato. Específicamente de la siguiente manera:

El semiconductor de fotomáscara de cuarzo utiliza vidrio de cuarzo como material de sustrato, que tiene una alta transmitancia óptica y una baja tasa de expansión térmica. En comparación con el vidrio de soda, es más plano y resistente al desgaste y tiene una larga vida útil. La fotomáscara de cuarzo se utiliza principalmente para máscaras de alta precisión;

La máscara de soda utiliza vidrio de soda como material de sustrato, que tiene una transmisión óptica más alta, una tasa de expansión térmica relativamente más alta que el vidrio de cuarzo y una planitud y una resistencia al desgaste relativamente más débiles que el vidrio de cuarzo. Se utiliza principalmente para máscaras de media y baja precisión;

El diseño de la fotomáscara en relieve se utiliza con resina de polibutadieno insaturado como material de sustrato, que se utiliza principalmente para la tampografía de material orientado en el proceso de fabricación de pantallas de cristal líquido (LCD);

El diseño de máscara de semiconductor utiliza PET como material de sustrato, que se aplica principalmente para máscaras de placa de circuito.

1. Soluciones de fotomáscara de semiconductores

1.1 Fotomáscara sobre sustrato de cuarzo

Formulario de confirmación de información del cliente
1	Nombre del cliente	-
2	Tamaño de la máscara	5009
3	CD SPEC (en máscara)	-
4	Escala de máscara	05:01
5	Grado de máscara	S
6	Material de la máscara	Cuarzo
7	Película	Ninguno
8	tipo de película	Yo alineo
9	Envío de datos	FTP
10	JDV (comprobación de vista de trabajo)	SÍ
11	Tipo de máquina de litografía	-
12	CD (partido de CD)	SÍ
13	partido de registro	SÍ
14	Inspección de defectos	Morir para morir/Morir para la base de datos
15	Permitir arañazos dentro de los 5 mm en el borde de	SÍ
	la máscara pero fuera de los datos
16	Solicitud especial	-

 

Grados para Photomask en Cuarzo

Grado	re	C	si	UNA	S
Tolerancia	±0,3	±0,3	± 0,2	±0,15	± 0,1
Media para apuntar	±0,3	±0,3	± 0,2	±0,15	± 0,1
Uniformidad	0.2	0.2	0.2	0.15	0.1
Registro	±0,4	±0,3	± 0,2	±0,15	± 0,1
Tamaño del defecto	1.5	1.5	1	0.8	0.6
Densidad de defectos	0	0	0	0	0

 

1.2 1X Master Semiconductor Photomask en cuarzo o cal sodada

Producto	Dimensiones	Materiales de sustrato
1X Maestro	4” X4” X0.060” o 0,090”	Cuarzo y Soda Lime
	5” X5” X0.090”	Cuarzo y Soda Lime
	6” X6” X0.120” o 0,250”	Cuarzo y Soda Lime
	7” X7” X0.120” o 0,150”	Cuarzo y Soda Lime
	7.25” X Ronda de 0,150”	Cuarzo
	9” X9” X0.120” o 0,190”	Cuarzo y Soda Lime

 

1.2.1 Especificaciones comunes para máscaras maestras 1X (material de cuarzo)

Tamaño de CD	CD-Mean-a Nominal	La uniformidad de CD	Registro	Tamaño defecto
2,0 um	≤0.25 um	≤0.25 um	≤0.25 um	≥2.0 um
4.0 um	≤0.30 um	≤0.30 um	≤0.30 um	≥3.5 um

 

1.2.2 Especificación común para máscaras maestras 1X (material de cal sodada)

Tamaño de CD	CD-Mean-a Nominal	La uniformidad de CD	Registro	Tamaño defecto
≤4 um	≤0.25 um	----	≤0.25 um	≥3.0 um
≤4 um	≤0.30 um	----	≤0.45 um	≥5.0 um

 

1.3 Dimensiones de la máscara UT1X y materiales del sustrato

Producto	Dimensiones	material del sustrato
UT1X	3 "X5" X0.090 "	Cuarzo
	5 "X5" X0.090 "	Cuarzo
	6 "X6" X0.120 "o 0,250"	Cuarzo

 

Especificaciones comunes para máscaras UT1X

Tamaño de CD	CD-Mean-a Nominal	La uniformidad de CD	Registro	Tamaño defecto
1,5 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≥0.50 um
3.0 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≥0.60 um
4.0 um	≤0.25 um	≤0.25 um	≤0.20 um	≥0.75 um

 

1.4 Máscara binaria estándar

Producto	Dimensiones	Materiales de sustrato
2X	6 "x 6" X0.250 "	Cuarzo
2,5X
4X
5X	5 "X5" X0.090 "	Cuarzo
	6 "X6" X0.250 "	Cuarzo

 

Especificaciones comunes para máscaras binarias estándar

Tamaño de CD	CD-Mean-a Nominal	La uniformidad de CD	Registro	Tamaño defecto
2,0 um	≤0.10 um	≤0.15 um	≤0.10 um	≥0.50 um
3.0 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≥0.75 um
4.0 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≥1.00 um

 

1.5 Máscaras de área media

Producto	Dimensiones	Materiales de sustrato
1X	9 "X9" 0,120 "	Cal sodada de cuarzo (disponibles absorbentes de cromo y óxido de hierro)
	9 "X9" 0,190 "	Cuarzo

 

1.5.1 Especificaciones comunes para máscaras de área media (material de cuarzo)

Tamaño de CD	CD-Mean-a Nominal	La uniformidad de CD	Registro	Tamaño defecto
0,50 um	≤0.20 um	----	≤0.15 um	≥1.50 um

 

1.5.2 Especificaciones comunes para máscaras de área media (material de cal sodada)

Tamaño de CD	CD-Mean-a Nominal	La uniformidad de CD	Registro	Tamaño defecto
10 um	≤4.0 um	----	≤4.0 um	≥10 um
4 um	≤2.0 um	----	≤1.0 um	≥5 um
2,5 um	≤0.5 um	----	≤0.75 um	≥3 um