புகைப்பட முகமூடி

விளக்கம்

ஃபோட்டோமாஸ்க்குகளை குவார்ட்ஸ் முகமூடிகள், சோடா முகமூடிகள் மற்றும் பிற (நிவாரண தட்டுகள் மற்றும் படம் உட்பட) வெவ்வேறு அடி மூலக்கூறு பொருட்களின் படி பிரிக்கலாம். குறிப்பாக பின்வருமாறு:

குவார்ட்ஸ் ஃபோட்டோமாஸ்க் குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ் கண்ணாடியை அடி மூலக்கூறு பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது, இது அதிக ஆப்டிகல் டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸ் மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க வீதத்தைக் கொண்டுள்ளது. சோடா கண்ணாடியுடன் ஒப்பிடுகையில், இது மிகவும் தட்டையானது மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை கொண்டது. குவார்ட்ஸ் போட்டோமாஸ்க் முக்கியமாக உயர் துல்லிய முகமூடிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது;

சோடா மாஸ்க் சோடா கிளாஸை அடி மூலக்கூறு பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது, இது அதிக ஆப்டிகல் டிரான்ஸ்மிட்டன்ஸ், குவார்ட்ஸ் கண்ணாடியை விட ஒப்பீட்டளவில் அதிக வெப்ப விரிவாக்க வீதம் மற்றும் குவார்ட்ஸ் கண்ணாடியை விட ஒப்பீட்டளவில் பலவீனமான தட்டையானது மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. இது முக்கியமாக நடுத்தர மற்றும் குறைந்த துல்லியமான முகமூடிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது;

ரிலீஃப் போட்டோமாஸ்க் வடிவமைப்பு, திரவ படிகக் காட்சிகளின் (எல்சிடி) உற்பத்தி செயல்முறையில் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருள் திண்டு அச்சிடுவதற்கு முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படும், நிறைவுறா பாலிபுடடைன் பிசினை அடி மூலக்கூறுப் பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது;

குறைக்கடத்தி முகமூடி வடிவமைப்பு PET ஐ அடி மூலக்கூறு பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது, இது முக்கியமாக சர்க்யூட் போர்டு முகமூடிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

1. செமிகண்டக்டர் போட்டோமாஸ்க் தீர்வுகள்

1.1 குவார்ட்ஸ் அடி மூலக்கூறு மீது போட்டோமாஸ்க்

வாடிக்கையாளர் தகவல் உறுதிப்படுத்தல் படிவம்
1	வாடிக்கையாளர் பெயர்	—
2	முகமூடி அளவு	5009
3	CD SPEC(முகமூடியில்)	—
4	முகமூடி அளவுகோல்	5:01
5	முகமூடி தரம்	எஸ்
6	முகமூடி பொருள்	குவார்ட்ஸ்
7	பெல்லிகல்	எதுவும்
8	பெல்லிகல் வகை	ஐ-லைன்
9	தரவு அனுப்புதல்	FTP
10	JDV(வேலை பார்வை சரிபார்ப்பு)	ஆம்
11	லித்தோகிராபி இயந்திர வகை	—
12	குறுவட்டு (சிடி பொருத்தம்)	ஆம்
13	பதிவு பொருத்தம்	ஆம்
14	குறைபாடு ஆய்வு	டை டு டை/ டை டு டேட்டாபேஸ்
15	விளிம்பில் 5 மிமீக்குள் கீறலை அனுமதிக்கவும்	ஆம்
	முகமூடி ஆனால் தரவு இல்லை
16	சிறப்பு வேண்டுகோள்	—

 

குவார்ட்ஸில் போட்டோமாஸ்க்கிற்கான தரங்கள்

தரம்	டி	சி	பி	ஏ	எஸ்
சகிப்புத்தன்மை	± 0.3	± 0.3	± 0.2	± 0.15	± 0.1
இலக்கு என்று பொருள்	± 0.3	± 0.3	± 0.2	± 0.15	± 0.1
சீரான தன்மை	0.2	0.2	0.2	0.15	0.1
பதிவு	± 0.4	± 0.3	± 0.2	± 0.15	± 0.1
குறைபாடு அளவு	1.5	1.5	1	0.8	0.6
குறைபாடு அடர்த்தி	0	0	0	0	0

 

குவார்ட்ஸ் அல்லது சோடா சுண்ணாம்பு மீது 1.2 1X மாஸ்டர் செமிகண்டக்டர் போட்டோமாஸ்க்

தயாரிப்பு	பரிமாணங்கள்	அடி மூலக்கூறு பொருட்கள்
1X மாஸ்டர்	4” X4” X0.060” அல்லது 0.090”	குவார்ட்ஸ் மற்றும் சோடா சுண்ணாம்பு
	5” X5” X0.090”	குவார்ட்ஸ் மற்றும் சோடா சுண்ணாம்பு
	6” X6” X0.120” அல்லது 0.250”	குவார்ட்ஸ் மற்றும் சோடா சுண்ணாம்பு
	7” X7” X0.120” அல்லது 0.150”	குவார்ட்ஸ் மற்றும் சோடா சுண்ணாம்பு
	7.25” சுற்று X 0.150”	குவார்ட்ஸ்
	9”X9”X0.120” அல்லது 0.190”	குவார்ட்ஸ் மற்றும் சோடா சுண்ணாம்பு

 

1.2.1 1X மாஸ்டர் முகமூடிகளுக்கான பொதுவான விவரக்குறிப்புகள் (குவார்ட்ஸ் பொருள்)

குறுவட்டு அளவு	குறுவட்டு சராசரி முதல் பெயரளவு	குறுவட்டு சீரான தன்மை	பதிவு	குறைபாடு அளவு
2.0 உம்	≤0.25 உம்	≤0.25 உம்	≤0.25 உம்	≥2.0 உம்
4.0 உம்	≤0.30 உம்	≤0.30 உம்	≤0.30 உம்	≥3.5 உம்

 

1.2.2 1X மாஸ்டர் மாஸ்க்குகளுக்கான பொதுவான விவரக்குறிப்பு (சோடா லைம் மெட்டீரியல்)

குறுவட்டு அளவு	குறுவட்டு சராசரி முதல் பெயரளவு	குறுவட்டு சீரான தன்மை	பதிவு	குறைபாடு அளவு
≤4 உம்	≤0.25 உம்	————	≤0.25 உம்	≥3.0 உம்
≤4 உம்	≤0.30 உம்	————	≤0.45 உம்	≥5.0 உம்

 

1.3 UT1X Mask Dimensions and Substrate Materials

தயாரிப்பு	பரிமாணங்கள்	Substrate Material
UT1X	3″ X5″ X0.090″	குவார்ட்ஸ்
	5″ X5″ X0.090″	குவார்ட்ஸ்
	6″ X6″X0.120″ or 0.250″	குவார்ட்ஸ்

 

Common Specifications for UT1X Masks

குறுவட்டு அளவு	குறுவட்டு சராசரி முதல் பெயரளவு	குறுவட்டு சீரான தன்மை	பதிவு	குறைபாடு அளவு
1.5 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≥0.50 um
3.0 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≥0.60 um
4.0 உம்	≤0.25 உம்	≤0.25 உம்	≤0.20 um	≥0.75 um

 

1.4 Standard Binary Mask

தயாரிப்பு	பரிமாணங்கள்	அடி மூலக்கூறு பொருட்கள்
2X	6″X 6″ X0.250″	குவார்ட்ஸ்
2.5X
4X
5X	5″ X5″ X0.090″	குவார்ட்ஸ்
	6″ X6″ X0.250″	குவார்ட்ஸ்

 

Common Specifications for Standard Binary Masks

குறுவட்டு அளவு	குறுவட்டு சராசரி முதல் பெயரளவு	குறுவட்டு சீரான தன்மை	பதிவு	குறைபாடு அளவு
2.0 உம்	≤0.10 um	≤0.15 um	≤0.10 um	≥0.50 um
3.0 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≤0.15 um	≥0.75 um
4.0 உம்	≤0.20 um	≤0.20 um	≤0.20 um	≥1.00 um

 

1.5 Medium Area Masks

தயாரிப்பு	பரிமாணங்கள்	அடி மூலக்கூறு பொருட்கள்
1X	9″ X9″ 0.120″	Quartz Soda Lime(both Chrome and Iron Oxide absorbers available)
	9″ X9″ 0.190″	குவார்ட்ஸ்

 

1.5.1 Common Specifications for Medium Area Masks (Quartz Material)

குறுவட்டு அளவு	குறுவட்டு சராசரி முதல் பெயரளவு	குறுவட்டு சீரான தன்மை	பதிவு	குறைபாடு அளவு
0.50 um	≤0.20 um	————	≤0.15 um	≥1.50 um

 

1.5.2 Common Specifications for Medium Area Masks (Soda Lime Material)

குறுவட்டு அளவு	குறுவட்டு சராசரி முதல் பெயரளவு	குறுவட்டு சீரான தன்மை	பதிவு	குறைபாடு அளவு
10 um	≤4.0 um	————	≤4.0 um	≥10 um
4 um	≤2.0 um	————	≤1.0 um	≥5 um
2.5 um	≤0.5 um	————	≤0.75 um	≥3 um