Chất nền GaN bán cách điện

Chất nền GaN bán cách điện

Semi-insulating Freestanding GaN (Gallium Nitride) Substrate is mainly for RF device based on HEMT structure. Ganwafer, a semi-insulating freestanding GaN substrate manufacturer, has formed the manufacturing technology for freestanding GaN semi-insulating substrate wafer. The substrate wafer is for UHB-LED and LD. Our GaN substrate grown by hydride vapor phase epitaxy (HVPE) has low defect density and less or free macro defect density. More specification of GaN semi-insulating substrate, please see below:

Miêu tả

1. Đặc điểm kỹ thuật của chất nền GaN bán cách nhiệt

1.1 Lớp nền GaN Wafer bán cách điện 4 inch

Mục GANW-FS-GaN100-SI
Loại dẫn Bán cách điện
Kích thước 4 "(100) +/- 1mm
Độ dày 480 +/- 50um
Sự định hướng C-trục (0001) +/- 0,5 °
Tiểu Flat Location (10-10) +/- 0,5 °
Tiểu Chiều dài phẳng 32 +/- 1mm
Secondary Flat Location (1-210) +/- 3 °
Chiều dài phẳng THCS 16 +/- 1mm
Điện trở suất (300K) > 10 ^ 6Ω · cm
Mật độ xáo trộn <5 × 106cm-2
FWHM <= 100arc.sec
TTV <= 30um
CÂY CUNG <= + / - 30um
Kết thúc bề mặt Bề mặt trước: Ra <= 0,3nm.Epi-sẳn sàng được đánh bóng
- Mặt sau: 1. Mặt đất mịn
- 2. Đánh bóng
Diện tích sử dụng được ≥ 90%

 

1,2 2 inch GaN bán cách nhiệt Chất nền cố định

Mục GANW-FS-GaN50-SI
Loại dẫn Bán cách điện
Kích thước 2 "(50,8) +/- 1mm
Độ dày 400 +/- 50um
Sự định hướng Góc lệch trục C (0001) về phía trục A 0,35 ° +/- 0,15 °
Tiểu Flat Location (10-10) +/- 0,5 °
Tiểu Chiều dài phẳng 16 +/- 1mm
Secondary Flat Location (1-210) +/- 3 °
Chiều dài phẳng THCS 8 +/- 1mm
Điện trở suất (300K) > 10 ^ 6Ω · cm
Mật độ xáo trộn <5 × 106cm-2
FWHM <= 100arc.sec
TTV <= 15um
CÂY CUNG <= + / - 20um
Kết thúc bề mặt Bề mặt trước: Ra <= 0,3nm. Đánh bóng sẵn sàng epi
- Mặt sau: 1. Mặt đất mịn
- 2. Đánh bóng.
Diện tích sử dụng được ≥ 90%

 

2. BÁO CÁO THỬ NGHIỆM về đường cong XRD Rocking Curves-GaN

Báo cáo thử nghiệm có thể cho thấy chất lượng tấm wafer và sự phù hợp giữa mô tả và dữ liệu của tấm wafer. Sau quá trình sản xuất, chúng tôi sẽ kiểm tra đặc tính của tấm wafer:

* Kiểm tra độ nhám bề mặt wafer bằng kính hiển vi lực nguyên tử;

* Kiểm tra loại độ dẫn điện bằng dụng cụ quang phổ La Mã;

* Kiểm tra điện trở suất tấm bằng thiết bị kiểm tra điện trở suất không tiếp xúc;

* Kiểm tra mật độ vi hạt của wafer bằng kính hiển vi phân cực.

Chúng tôi sẽ làm sạch và đóng gói các tấm wafer trong môi trường sạch sẽ 100 lớp sau khi thử nghiệm. Nếu chất lượng của tấm wafer không đáp ứng thông số kỹ thuật tùy chỉnh, chúng tôi sẽ loại bỏ nó sau khi thử nghiệm.

Chiều rộng toàn phần nửa chiều cao (FWHM) là chiều rộng đường cong quang phổ được đo giữa các điểm đó trên trục Y. Biểu đồ sau đây cho thấy các đường cong XRD Rocking của vật liệu GaN được thử nghiệm:

XRD Rocking Curves of GaN Material

    Đã được thêm vào giỏ hàng của bạn:
    Thanh toán