Safir/Silikon üzerinde AlGaN

Safir/Silikon üzerinde AlGaN

AlGaN (alüminyum galyum nitrür) şablonu, alüminyum nitrür ve galyum nitrürden oluşan bir yarı iletken levhadır ve AlxGa1−xN bant aralığı 3.4eV (xAl=0) ila 6.2eV (xAl=1) arasında ayarlanabilir. AlGaN bileşiminin % Al'i 0.1-0.5 olabilir. GaN ile karşılaştırıldığında, AlGaN daha geniş bir bant aralığına ve daha yüksek dielektrik kırılma mukavemetine sahiptir ve GaN'den daha düşük kayıplı güç cihazları üretmesi beklenmektedir.

AlGaN yarı iletken uygulaması LED, LD ve HEMT yapısı içindir. Ve şimdi lütfen aşağıdaki özelliklere bakın:

Tanım

Ganwafer offers AlGaN template, which AlGaN layers are commonly grown on sapphire or (111) Si substrate. Our AlGaN epitaxial wafer fab can also make aluminum gallium nitride semiconductor wafer with additional GaN layers. Sapphire is one of the most commonly material used for growing AlGaN template. Due to the large lattice mismatch and thermal mismatch between AlGaN-based material and sapphire substrate, AlGaN-based materials are usually grown on AIN/sapphire templates.

1. AlGaN Şablonunun Özellikleri

Sapphire Template üzerinde 1.1 2" (50.8mm) AlGaN Epi

madde GANW-AlGaNT-SA-50
Çap 50,8 mm ± 0,4 mm
Oryantasyon : C(0001), eksen üzerinde
iletim tipi -
Epi Katman Kalınlığı: 200nm-1000nm
Epi Katman Malzemesi AlGaN(ex.Al(0.1)Ga(0.9)N)
yapı AlGaN/AlN tamponu/Safir Substrat
substrat: safir
Oryantasyon Düz Bir uçak
XRD FWHM (0002) <200 arcsec.
Kullanılabilir Yüzölçümü ≥90%
Yüzey: Tek tarafı cilalı, Epi-hazır

 

Safir Şablonda 1.2 4" (100mm) Alüminyum Galyum Nitrür Filmler

madde GANW-AlGaNT-SA-100
Çap 100mm ± 0.4mm
Oryantasyon : C(0001), eksen üzerinde
iletim tipi -
Epi Katman Kalınlığı: 2um,3um
Epi Katman Malzemesi AlGaN(ex.Al(0.2)Ga(0.8)N)
yapı AlGaN/AlN tamponu/Safir Substrat
substrat: safir
Oryantasyon Düz Bir uçak
XRD FWHM (0002) <200 arcsec.
Kullanılabilir Yüzölçümü ≥90%
Yüzey: Tek tarafı cilalı, Epi-hazır

 

1,3 6″ (150mm) Silikon Üzerinde AlGaN Yarı İletken Şablonu

madde GANW-AlGaNT-Silicon-150
Çap 150mm ± 0.4mm
Oryantasyon : C(0001), eksen üzerinde
iletim tipi -
Epi Katman Kalınlığı: 200nm-3000nm
Epi Katman Malzemesi AlGaN(ex.Al(0.2)Ga(0.8)N)
yapı AlGaN/AlN tamponu/Safir Substrat
substrat: 6”,Silikon, p tipi, (111), 1000um kalınlığında
Oryantasyon Düz -
XRD FWHM (0002) -arcs.
Kullanılabilir Yüzölçümü ≥90%
Yüzey: Tek tarafı cilalı, Epi-hazır

 

2. AlGaN Yarı İletken Malzemesi Hakkında

Önemli bir üçüncü nesil doğrudan bant aralıklı yarı iletken malzeme olan Al-Ga-N üçlü alaşımı, ultraviyole rehberlik, ultraviyole uyarı ve harici iletişim alanlarında potansiyel uygulamalara sahiptir. Doğal AlGaN alaşımı olmadığından, metal organik bileşik buhar biriktirme (MOCVD) veya moleküler ışın epitaksi (MBE) genellikle safir levha üzerinde 2~3um AlGaN yarı iletken malzemeleri büyütmek için kullanılır. Alüminyum galyum nitrürde, alüminyum içeriği, uygulama aralığını doğrudan belirleyen malzeme yasaklı bant genişliği ile yakından ilişkilidir. Bu nedenle AlGaN'deki Al içeriğinin doğru bir şekilde belirlenmesi büyük önem taşımaktadır. Şu anda, AlGaN epitaksiyel katmanındaki Al içeriğinin belirlenmesi, genellikle Rutherf geri saçılma yöntemi (RBS), ultraviyole görünür ışık iletim yöntemi (UV-VIS), yüksek çözünürlüklü X-ışını kırınım yöntemi (HRXRD) gibi tahribatsız fiziksel yöntemleri benimser. ) ve elektron Probu Mikro Alan Analizi (EPMA) vb.

3. AlGaN Yarı İletken Optik Özellikleri

AlGaN ince film, MOCVD teknolojisi kullanılarak çift cilalı bir c-düzlem safir substrat üzerinde büyütülür. Optik filmin kalitesini ve lineer optik özelliklerini daha fazla incelemek için filmin temel optik karakterizasyonu yapıldı. Oda sıcaklığında, Al bakımından zengin AlGaN yarı iletken malzemesinin yakın ultraviyole bölgesinde keskin bir absorpsiyon sınırına sahip olduğunu ve absorpsiyon sınırının konumunun Al içeriği ile önemli ölçüde değiştiğini ölçmek için görünür-ultraviyole spektrometresi kullanılır. Ayrıca, Al'in dahil edilmesinin galyum nitrür malzemesi optik bant aralığını etkin bir şekilde modüle ettiğini gösterir.

    sepetinize eklendi:
    Çıkış