FZ Silikon Gofret

FZ Silikon Gofret

Satılık yüzer bölge (FZ) silikon (Si) gofretlerin boyutu esas olarak 8 inç ve 6 inçtir. Float zone gofretin en büyük özelliği Czochralski (CZ) yöntemi ile yapılan silikon gofretlerle karşılaştırıldığında direncinin nispeten yüksek olması, saflığının daha yüksek olması ve yüksek voltaja dayanabilmesidir. Bununla birlikte, büyük boyutlu FZ silikon levhaların üretilmesi zordur ve mekanik özellikler zayıftır. Bu nedenle, entegre devrelerde kullanılan az sayıda yüzer bölge büyütülmüş silikon levha vardır. FZ Gofret, yüzdürme bölgesi işlemi ile hazırlanır. Şamandıra bölgesi silikon kristal büyümesi sırasında pota olmadığından, potadan kaynaklanan kirlilik önlenir ve süspansiyon bölgesi erimesi birden fazla saflaştırma için kullanılabilir, bu nedenle FZ silikon külçesinin saflığı yüksektir ve FZ-Silikon substratın iletkenliği olabilir. 1000 Ω-cm veya daha fazlasına ulaşın.

Tanım

FZ gofret tedarikçileri tarafından üretilen FZ Si gofretler, güç elektroniği cihazları, fotodiyotlar, ışın dedektörleri, kızılötesi dedektörler, vb. üretmek için kullanılır. FZ silikon gofretinin oksijen içeriği, CZ silikonunkinden 2~3 kat daha düşüktür. Oksijenin oluşturduğu çökelme olmadığından, yüzdürme bölgesi silikon gofretinin mekanik mukavemeti, yetiştirilen silikon gofret CZ kadar iyi değildir. Ek olarak, üretim sürecinde çarpıklık ve kusurların oluşması kolaydır. Nitrojen eklemek, yüzer bölge silikon kristal büyümesi sırasında gofret gücünü artırmak için bir çözümdür. Daha fazla FZ monokristal silikon spesifikasyonu aşağıdaki gibidir:

1. SSP veya DSP ile 8 inç Yüksek Dirençli Float Zone Silikon Gofret

SSP veya DSP ve Yüksek Dirençli 8 inç FZ Silikon Gofret
madde Parametreler
Malzeme Monokristal Silikon
sınıf birinci sınıf
Büyüme Yöntemi FZ
Çap 8"(200.0±0.2mm)
İletkenlik tipi N Tipi N Tipi P Tipi
takviyenin Fosfor Fosfor Bor
Oryantasyon [100]±0.5°
Kalınlığı 625+/- 5µm 725±25μm 725±25μm
özdirenç >8,000-14.000Ωcm >10,000Ωcm 5.000-10.000Ωcm
RRV <%40 (ASTM F81 Planı C)
YARI STD Çentik YARI STD Çentik
Yüzey 1SP, SSP
Tek Taraflı-Epi-Hazır-Cilalı
Arka Tarafı Kazınmış
Kenar Yuvarlatılmış SEMI Standardına göre
Metroloji kenar hariç tutma(lpd'ler, mekanik parametreler) 3 mm
Parçacık LPD'ler >= 0,30 µm (COP'ler dahil) <=25
LPD'ler >= 0,20 µm (COP'ler dahil) <=30
LPD'ler >= 0,16 µm (COP'ler dahil) <=60
pürüzlülük <0.5nm
TTV <1.5um <10um <6um
Yay / Çözgü <35um Yay<40µm, Çarpıtma<60µm <40um
TIR <5µm
Oksijen içeriği 11-15 PPMA
Karbon İçeriği <2E16/cm3
Site Düzlüğü SFQD 20X20mm: 0.40um
MM Ömrü >1.000μs >1.000μs >1.000μs
Yüzey Metal Kirliliği
(Al,Ca,Cu,Fe,Ni,Zn,Cr,Na)
≤5E10 atom/cm2 (Al,Ca,Cu,Fe,Ni,Zn,Cr,Na) Max 5E10/cm2
Çıkığı Yoğunluk YARI STD YARI STD 500 maks/ cm2
Cipsler, çizikler, çarpmalar, pus, dokunma izleri, portakal kabuğu, çukurlar, çatlaklar, kir, kirlenme Hepsi yok
Lazer Mark YARI STD Lazer Serileştirilmiş Seçenek:
sığ lazer
Daire Boyunca
Ön Tarafta

 

2. 6 inç FZ Silikon Gofret

6 inç FZ Silikon Gofret
madde Parametreler
Malzeme Monokristal Silikon
sınıf birinci sınıf
Büyüme Yöntemi FZ
Çap 6"(150 ± 0,5mm)
İletkenlik tipi İçsel N Tipi P Tipi
takviyenin katkısız Fosfor Bor
Oryantasyon <100>±0.5° [100]±0.5° (111)±0.5°
Kalınlığı 625±15μm 675±10μm
1.000±25µm
875±25μm
1.000±25µm
özdirenç >20.000Ωcm 6,000-10,000 5.000-10.000Ωcm
RRV <%40 (ASTM F81 Planı C)
Birincil Daire Bir YARI Düz (57,5 mm) YARI STD YARI Çentik @ 110 ± 1°
İkincil Düz N / A YARI STD N / A
Yüzey Ön yan kaplama Ayna Cilası
Arka taraf kaplama Ayna Cilası
Ön yan kaplama Ayna Cilası
Arka taraf kaplama Ayna Cilası
Bir Tarafı Cilalı
Arka Taraf Asitle Kazınmış
Kenar Yuvarlatılmış SEMI Standardına göre
Parçacık <20 sayım @0.3μm
pürüzlülük <0.5nm
TTV <10um <10um <12um
Yay / Çözgü <30um <40um <60um
TIR <5µm
Oksijen içeriği <2E16/cm3
Karbon İçeriği <2E16/cm3
OISF <50/cm²
STIR (15x15mm) <1.5µm
MM Ömrü >1.000μs
Yüzey Metal Kirliliği
Na, Al, K, Fe, Ni, Cu, Zn
≤5E10 atom/cm2
Çıkığı Yoğunluk 500 maks/ cm2
Cipsler, çizikler, çarpmalar, pus, dokunma izleri, portakal kabuğu, çukurlar, çatlaklar, kir, kirlenme Arka tarafta kararma, portakal kabuğu, kirlilik, pus, mikro çizik, talaşlar, kenar talaşları, çatlak, kaz ayağı, iğne deliği, çukurlar, göçük, dalgalılık, leke ve iz: hepsi yok
Lazer Mark Daire Boyunca
Ön Tarafta, Opsiyon Lazer Serileştirilmiş:
sığ lazer

 

3. Azınlık Taşıyıcı Ömrü 300μs ile 6 inç FZ+NTD Silikon Gofret

Azınlık Taşıyıcı Ömrü 300μs ile 6 inç FZ+NTD Silikon Gofret
Tanım Gereksinimler
Genel özellikleri
yetiştirme yöntemi Nötronlar FZ+NTD ile katkısız Float Zone silikonun ışınlanmasıyla büyütüldü
Oryantasyon <111> +/- 1 derece
İletkenlik türü n
kirlilik maddesi P
Kontrol alanı Bir gofretin sınırından 3 mm uzakta denetlenmez
elektriksel özellikler
özdirenç sabiti 100 Ohm.cm ±%8
Radyal dağılım
özdirenç sabiti
%4'ten fazla değil
azınlık taşıyıcı
ömür boyu dk
300 mc
kimyasal özellikler
Oksijen içeriği 0,2 ppma
karbon içeriği 0,2 ppma
Yapının mükemmelliği
Dislokasyon içeriği ücretsiz
Paketin kusur yoğunluğu 1*102 1/cm2'den fazla değil
mikro kusur yoğunluğu 1*104 1/cm2'den fazla değil
girdaplar ücretsiz
Gofret hazırlamanın özellikleri
Arka tarafı Alıştırma ve dağlama
geometri
Çap 152,4+1 mm
Birincil kesimin gerilmesi 30-35 mm
Faset genişliği 0,1-0,25 mm üretim "eski"
Kalınlığı 625 um
Polikalınlık (TTV) 5 um'den fazla değil
çarpıtma 35 um'den fazla değil
düzlemde varyasyon 5 um'den fazla değil
Çalışma koşulunun yüzeyi cilalı
çizikler Eksiklik
Mikro çizik (risk) Toplam uzunluk, bir gofretin 0,5 çapından fazla değil
Bulaşma Eksiklik
donuk HAZE≤5 ppm
kabuklanmalar Eksiklik
portakal kabuğu Eksiklik
Testere bıçağı hatası Eksiklik
Çalışmama durumu yüzeyi Zemin, Kazınmış
kabuklanma sınırı Eksiklik
Böyle bir "karga pençesi" kır Eksiklik
Bulaşma Eksiklik
Testere bıçağı hatası Eksiklik
çizikler Toplam uzunluk, bir gofretin 0,5 çapından fazla değil
Düzgün olmayan dağlamadan leke Eksiklik

 

4. Oryantasyon (111) ve Kalınlık 625μm ile 6 inç FZ+NTD Silikon Gofret

Oryantasyon (111) ve Kalınlık 625μm ile 6 inç FZ+NTD Silikon Gofret
Tanım birim Değer Kontrol Yöntemi Standardı
Yöntem FZ+NTD
Tür n
takviyenin P ( Fosfor)
Oryantasyon - <111> +/- 1 derece ASTM F26
Çap mm 152,4±1 kalibre
Kalınlık, min um 625 -
özdirenç Ohm*cm 100 4 noktalı prob ASTM F 84
Radyal Direnç Varyasyonu, maks % 8 ASTM F 81 C Planı
Azınlık Taşıyıcı Ömrü, min mcs 300 ASTM F1535-94
Karbon İçeriği, maks ppma 0.2 ASTM F 1391-93
Oksijen içeriği/ ppma 0.2 ASTM F 1188-93a
Ön taraf cilalı
Arka tarafı Zemin, Kazınmış
girdaplar - Yok F47
çıkıklar - Yok F47

 

5. 300μm Kalınlıklı 6 inç FZ+NTD Silikon Gofret

300μm Kalınlıklı 6 inç FZ+NTD Silikon Gofret
Tanım Gereksinimler
Çap 150mm±0.5mm
Kalınlığı 300um
Büyüme yöntemi FZ+NTD
Oryantasyon (100)
Tür: N n
takviyenin P
özdirenç 85 Ohm*cm ±4%
Yüzey Tek taraflı cilalı
Flats 1, YARI-Std, uzunluk 30-35mm
TTV ≤5um
eğrilik ≤35um
pruva ≤5um
Oksijen içeriği ≤1.0*10^18cm-3
karbon içeriği ≤5.0*10^16cm-3
çıkıklar Hiçbiri
kayma Hiçbiri
pus Hiçbiri
çizikler Hiçbiri
kenar Cips Hiçbiri
gamzeler Hiçbiri
Portakal kabuğu Hiçbiri
Çatlaklar/Kırıklar Hiçbiri

 

6. 6 inç FZ+NTD Silikon Zemin Külçesi

6 inç FZ+NTD Silikon Zemin Külçe
Parametre birim Değer Kontrol Yöntemi Standardı
Yöntem FZ+NTD
Tür n
takviyenin P ( Fosfor)
Oryantasyon - <111> +/- 1 derece ASTM F26
Çap mm 150.0+0.5 kalibre
özdirenç Ohm*cm 170 4 noktalı prob ASTM F 84
Radyal Direnç Varyasyonu, maks % 8 ASTM F 81 C Planı
Azınlık Taşıyıcı Ömrü, min mcs 300 ASTM F1535-94
Karbon İçeriği, maks ppma 0.2 ASTM F 1391-93
Oksijen içeriği ppma 22 ASTM F 1188-93a
girdaplar - Yok F47
çıkıklar - Yok F47

 

7. 4 inç FZ Silikon Gofret

4 inç FZ Silikon Gofret
madde Parametreler
Malzeme Monokristal Silikon
sınıf birinci sınıf
Büyüme Yöntemi FZ
Çap 4"(100±0.4mm)
İletkenlik tipi İçsel N Tipi P Tipi
takviyenin katkısız Fosfor Bor
Oryantasyon <111>±0.5° [110]±0.5° (100)±1°
Kalınlığı 500±25μm
özdirenç >10,000Ωcm >5.000Ωcm 5.000-10.000Ωcm
RRV <%40 (ASTM F81 Planı C)
Birincil Daire YARI STD Daireler
İkincil Düz YARI STD Daireler
Yüzey Tek Yüz Epil Hazır Cilalı,
Arka Tarafı Kazınmış
Kenar Yuvarlatılmış SEMI Standardına göre
Parçacık <20 sayım @0.3μm
pürüzlülük <0.5nm
TTV <10um
Yay / Çözgü <40um
TIR <5µm
Oksijen içeriği <2E16/cm3
Karbon İçeriği <2E16/cm3
OISF <50/cm²
STIR (15x15mm) <1.5µm
MM Ömrü >1.000μs
Yüzey Metal Kirliliği Fe,Zn, Cu,Ni, K,Cr ≤5E10 atom/cm2
Çıkığı Yoğunluk 500 maks/ cm2
Cipsler, çizikler, çarpmalar, pus, dokunma izleri, portakal kabuğu, çukurlar, çatlaklar, kir, kirlenme Hepsi yok
Lazer Mark Along The Flat

Ön Tarafta,

Lazer Serileştirilmiş Seçenek:

sığ lazer

    sepetinize eklendi:
    Çıkış