Safir HEMT Gofret üzerinde GaN

Safir HEMT Gofret üzerinde GaN

Ganwafer offers GaN on Sapphire wafers with HEMT structure and GaN template on Sapphire substrate for power or RF devices. The epitaxial layers of GaN based materials and devices are mainly grown on sapphire substrates. Why epitaxial GaN growth on Sapphire? Reasons are that sapphire substrate has many advantages: firstly, sapphire substrate has mature production technology and good device quality; secondly, sapphire has good stability and can be used in high temperature growth process; finally, sapphire has high mechanical strength and is easy to handle and clean. Therefore, most of the GaN HEMT wafer processes are based on sapphire. However, using sapphire as substrate also has some problems, such as lattice mismatch and thermal stress mismatch, which will produce a large number of defects in the GaN / Sapphire epitaxial layer and cause difficulties in the subsequent device processing.

Ve şimdi lütfen aşağıdaki GaN-on-Sapphire HEMT gofret özelliklerine bakın:

Tanım

1. Güç Uygulaması için HEMT Yapılı Safir Gofret üzerinde GaN

Gofret boyutu 2”, 3”, 4”, 6”
AlGaN / GaN HEMT yapısı 1.2 bakınız
Taşıyıcı yoğunluğu 6E12~2E13 cm2
Salon hareketliliği /
XRD(102)FWHM ~ark.sn
XRD(002)FWHM ~ark.sn
Levha Direnci /
5x5um2 AFM RMS (nm) <0.25nm
Yay (um) <=35um
kenar dışlama <2mm
SiN pasivasyon katmanı 0~30nm
Al kompozisyonu % 20-30
Kompozisyonda InAlN için %17
GaN sınırı /
AlGaN/(In)AlN bariyeri /
AlN ara katmanı /
GaN kanalı /
C katkılı GaN tamponu /
çıplaklık /
Yüzey malzemesi Safir alt-tabaka

 

2. RF Uygulaması için Safir Yüzeyde GaN HEMT Yapısı

Gofret boyutu 2”, 3”, 4”, 6”
AlGaN / GaN HEMT yapısı 1.2 bakınız
Taşıyıcı yoğunluğu 6E12~2E13 cm2
Salon hareketliliği /
XRD(102)FWHM /
XRD(002)FWHM /
Levha Direnci /
5x5um2 AFM RMS (nm) <0.25nm
Yay (um) <=35um
kenar dışlama <2mm
siN pasivasyon katmanı 0~30nm
u-GaN kapak katmanı /
Al kompozisyonu % 20-30
Kompozisyonda InAlN için %17
AlGaN bariyer tabakası 20~30nm
AlN ara parçası /
GaN arabellek katmanı(um) /
GaN kanalı /
Fe katkılı GaN tamponu /
çıplaklık /
Yüzey malzemesi Safir alt-tabaka

    sepetinize eklendi:
    Çıkış