உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) தொழில்நுட்பம்

உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) என்பது நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸியின் (VPE) அடிப்படையில் உருவாக்கப்பட்ட ஒரு புதிய நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸி வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும். MOCVD குழு III மற்றும் குழு II தனிமங்களின் கரிம சேர்மங்கள் மற்றும் குழு V மற்றும் குழு VI தனிமங்களின் ஹைட்ரைடுகளை படிக வளர்ச்சி மூலமாகப் பயன்படுத்துகிறது, மேலும் பல்வேறு III-V முக்கிய குழுக்களான II-VI துணைக்குழுவை வளர்க்க வெப்ப சிதைவு எதிர்வினை மூலம் அடி மூலக்கூறு மீது நீராவி கட்ட எபிடாக்ஸியை நடத்துகிறது. கலவை குறைக்கடத்திகள் மற்றும் மெல்லிய அடுக்கு ஒற்றை-படிக பொருட்கள் அவற்றின் மல்டிகம்பொனென்ட் திட தீர்வுகள்.Ganwafer can grow epiwafers, like III-V epiwafer, GaN epiwafer, SiC epi wafer and etc, by MOCVD technique.

1. MOCVD இன் செயல்பாட்டுக் கொள்கை

பொதுவாக MOCVD வளர்ச்சி செயல்முறை பின்வருமாறு: அதன் ஓட்டம் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படும் எதிர்வினை மூலப் பொருள் குவார்ட்ஸ் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு ஆகியவற்றின் எதிர்வினை அறைக்குள் கேரியர் வாயுவின் கீழ் அனுப்பப்படுகிறது (பொதுவாக H2, சில அமைப்புகள் N2 ஐப் பயன்படுத்துகின்றன), மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கு பின்னர் வளர்க்கப்படுகிறது. மேற்பரப்பு எதிர்வினை அடி மூலக்கூறில் ஏற்படுகிறது. அடி மூலக்கூறு ஒரு சூடான அடித்தளத்தில் வைக்கப்படுகிறது. எதிர்வினைக்குப் பிறகு மீதமுள்ள வால் வாயு, துகள்கள் மற்றும் நச்சுத்தன்மையை அகற்றும் ஒரு வால் வாயு சுத்திகரிப்பு சாதனத்தின் வழியாகச் சென்ற பிறகு, எதிர்வினை அறையிலிருந்து வெளியேற்றப்பட்டு, அமைப்பிலிருந்து வெளியேற்றப்படுகிறது. MOCVD இன் செயல்பாட்டுக் கொள்கை படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

MOCVD அமைப்பின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை

2. MOCVD தொழில்நுட்ப மேன்மை

மற்ற எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி நுட்பங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​MOCVD தொழில்நுட்பம் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

1) கலவை குறைக்கடத்தி பொருட்களின் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் கூறுகள் மற்றும் டோபண்டுகள் வாயு முறையில் எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. எனவே, கலவை, ஊக்கமருந்து செறிவு, தடிமன் மற்றும் பலவற்றை மெல்லிய மற்றும் மிக மெல்லிய அடுக்கு பொருட்களை வளர்ப்பதற்கு வாயு மூலத்தின் ஓட்டம் மற்றும் ஆன்-ஆஃப் நேரத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் கட்டுப்படுத்தலாம்.

2) எதிர்வினை அறையில் வாயு ஓட்ட விகிதம் வேகமானது, ஹீட்டோரோஸ்ட்ரக்சர்கள் மற்றும் சூப்பர்லட்டீஸ் மற்றும் குவாண்டம் கிணறு பொருட்களின் வளர்ச்சிக்கு ஏற்றது.

3) படிக வளர்ச்சியானது பைரோலிசிஸ் இரசாயன எதிர்வினை வடிவத்தில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, இது ஒற்றை வெப்பநிலை மண்டலத்தில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியாகும். எதிர்வினை மூல வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்பநிலை விநியோகத்தின் சீரான தன்மை நன்கு கட்டுப்படுத்தப்படும் வரை, எபிடாக்சியல் பொருளின் சீரான தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்க முடியும். எனவே, இது பல தாள்கள் மற்றும் பெரிய தாள்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு ஏற்றது, மேலும் தொழில்மயமான வெகுஜன உற்பத்திக்கு வசதியானது.

4) வழக்கமாக, படிக வளர்ச்சி விகிதம் III மூலத்தின் ஓட்ட விகிதத்திற்கு விகிதாசாரமாக இருக்கும், எனவே வளர்ச்சி விகிதத்தை பரந்த அளவில் சரிசெய்யலாம். வேகமான வளர்ச்சி விகிதம் தொகுதி வளர்ச்சிக்கு ஏற்றது.

5) வெற்றிட பட்டத்திற்கான குறைந்த தேவை காரணமாக எதிர்வினை அறையின் அமைப்பு ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது.

உண்மையில், MOCVD தொழில்நுட்பத்தின் மிகவும் கவர்ச்சிகரமான பகுதி அதன் பல்துறை திறன் ஆகும். பொருத்தமான உலோக கரிம மூலத்தைத் தேர்ந்தெடுக்கும் வரை, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை மேற்கொள்ள முடியும். மேலும், காற்று ஓட்டம் மற்றும் வெப்பநிலையின் சீரான விநியோகம் உறுதி செய்யப்படும் வரை, பெரிய அளவிலான தொழில்துறை உற்பத்திக்கு ஏற்ற சீரான பொருள் ஒரு பெரிய பகுதியைப் பெறலாம்.

3. உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவுக்கான குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள்

ஏறக்குறைய 20 வருட விரைவான வளர்ச்சிக்குப் பிறகு, குறைக்கடத்தி கலவைப் பொருட்களைத் தயாரிப்பதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்றாக MOCVD மாறியுள்ளது. மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, GaAlAs/GaAs, GaInP/GaAs, InAs/InSb, InGaN/GaN, AlGaN/GaN, GaINAsP/InP, AlGaINAs/GaAs மற்றும் பிற மெல்லிய படங்கள் தயாரிக்கப்படுகின்றன. .

MOCVD தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சியானது கலவை குறைக்கடத்தி பொருள் ஆராய்ச்சி மற்றும் சாதனத் தயாரிப்பிற்கான தேவையுடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையது, இது புதிய சாதனங்களின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிக்கிறது. தற்சமயம், MOCVD தொழில்நுட்பம் பல்வேறு முக்கிய வகையான கலவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது: HEMT, PHEMT, HFET, HBT, குவாண்டம் வெல் லேசர், செங்குத்து குழி மேற்பரப்பு லேசர், எல்இடிகள் மற்றும் பல.

மேலும் தகவலுக்கு, தயவுசெய்து எங்களை மின்னஞ்சல் முகவரியில் தொடர்பு கொள்ளவும்sales@ganwafer.com மற்றும் tech@ganwafer.com.