சிவப்பு LED தின் ஃபிலிம் வேஃபர்

LED epitaxial wafers are located in the upstream link of the LED industry chain, which is the link with the highest technical content in the semiconductor lighting industry and the greatest impact on the quality and cost control of the final product. Ganwafer can supply red LED எபிடாக்சியல் செதில்கள்GaAs அடி மூலக்கூறில் வளர்க்கப்படுகிறது. பின்வருவனவற்றைக் குறிப்பிடுவதற்கு LED மெல்லிய படச் செதில்களின் ஒரு எபி கட்டமைப்பை வழங்கவும்:

1. சிவப்பு LED வேஃபரின் எபிடாக்சியல் அமைப்பு

GANWP19116-RLED

2. எட்ச்சிங்கில் GaAs LED தின் ஃபிலிம் எபிடாக்ஸிக்கான தொழில்நுட்ப ஆதரவு

எங்கள் வாடிக்கையாளர்களில் ஒருவர் ஒளி உமிழும் சாதனங்களை உருவாக்க இந்த கட்டமைப்பை வாங்குகிறார். LED மெல்லிய திரைப்பட சாதனம் புனையமைப்பு செயல்முறைகளின் போது, ​​அவர்கள் GaAs பொறித்தல் கட்டத்தில் பின்வரும் சிக்கல்களைச் சந்தித்துள்ளனர், படம் 1 காட்டுகிறது:

1) LED அடுக்கு சேதமடைந்துள்ளது. தாங்கல் அடுக்குக்கு கீழே LED அடுக்குகள் பொறிக்கப்பட்டுள்ளன;

2) அதே எல்இடி செதில்களில் எல்இடி சிப்களின் சீரான பொறித்தல்

- ஒரு செதில், LED சில்லுகள் வெவ்வேறு உயரம் உள்ளது;

- குரூப் A LED கள் p-GaP க்கும், குழு B LED கள் DBR லேயருக்கும், குழு C LED கள் GaAs அடி மூலக்கூறுக்கும் கீழே காட்டப்பட்டுள்ளது.

3) LED அடுக்கு மிகவும் தடிமனாக உள்ளது; எனவே, LED லேயர் தடிமன் 3 um ஆக இருக்க வேண்டும் என்று அவர்கள் விரும்புகிறார்கள்.

Fig.1 Etching of Group A, B, C LEDs

இது ஃபிளிப்-சிப் போல் தெரிகிறது என்று எங்கள் தொழில்நுட்ப வல்லுநர்கள் விளக்குகிறார்கள். கட்டமைப்பு ரீதியாக, இது நேர்மறை சப்பெட்டாக்ஸி எச்சிங் ஆகும். ஆனால் சிப் உயரம் பொருத்தமின்மைக்கு வரும்போது, ​​அது உங்கள் சீரற்ற பொறிப்பினால் தான் என்று தோன்றுகிறது. எபிடாக்ஸி லேயரின் சேதத்திற்கு, சிப் வெட்டப்பட்ட பிறகு கரடுமுரடான அல்லது பிற செயல்முறை செயல்பாட்டால் இது ஏற்படுகிறது என்பது எங்களுக்குத் தெரியவில்லை. எங்கள் அறிவின் படி, இதேபோன்ற முரட்டுத்தனமான செயல்முறையை சில்லுகளாக வெட்ட வேண்டும். எபிடாக்ஸி லேயரைப் பாதுகாக்க, இடையக அடுக்கைத் தடித்தல், ஆனால் விளைவு நன்றாக இருக்கும் என்று நாங்கள் நினைக்கவில்லை.

குறிப்பிட்ட சிப் தொழில்நுட்பம் தெரியாததால், குறிப்பிட்ட காரணங்களைப் பற்றி நாங்கள் ஊகிக்கிறோம்:

1) அதிக சீரற்ற தன்மையானது கீழே உள்ள பிரச்சனையாகவோ அல்லது சீரற்ற மேற்பரப்பு பொறிப்பதாகவோ இருக்கக்கூடாது.

2) தாங்கல் அடுக்கு அரிக்கப்பட்டால், அது பக்க அரிப்பாக இருக்க வேண்டும். தீர்வு GaAs ஐ சிதைத்தால், பக்க அரிப்பின் தடிமன் அவசியம் குறையாது.

GaAs இடையகத்தை வைத்திருப்பது வேண்டுமென்றே இல்லை என்றால், உலர் பொறித்தல் பிரச்சனை இல்லை, மேலும் ஈரமான பொறிப்பதில் சிக்கல் இருக்கும், அதனால் சீரான பொறித்தல் சிக்கலைத் தீர்க்க, ஏன் அரிப்பு நிறுத்த அடுக்கைச் சேர்க்கக்கூடாது (எட்ச் ஸ்டாப் லேயர்) , GaInP போன்றதா? GaInP பொதுவாக எட்ச் ஸ்டாப் லேயராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது n-GaAs இடையக அடுக்கு மற்றும் அல்டா மெல்லிய சிவப்பு லெட் மெல்லிய ஃபிலிம் வேஃபரின் DBR அடுக்குக்கு இடையில் சேர்க்கப்படலாம். பொதுவாக, ஸ்டாப் லேயர், GaAs ஈரமான பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது GaAs echant (சிட்ரிக் அமிலம் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு ஆகியவற்றின் கலவை) LED அடுக்குகளை பாதுகாக்கும் என்பதில் எந்த பிரச்சனையும் இல்லை. மீதமுள்ள GaInP முன்னோக்கி மின்னழுத்தத்தை பாதிக்கும், ஆனால் அதிகமாக இல்லை, மேலும் GaAs ஈரமான பொறித்தல் செயல்முறைக்குப் பிறகு LED சிப்பின் ஆப்டிகல் சக்தி குறையும்.

3. தின் ஃபிலிம் LED எபி வேஃபரின் வெட் எட்ச்சிங்கின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கான நடவடிக்கைகள்

பொறித்தல் சீரானது ஈரமான பொறித்தல் செயல்முறையின் அளவை அளவிடும் ஒரு பொறித்தல் அளவுரு ஆகும். எல்இடி மெல்லிய படப் பொருட்கள் உட்பட குறைக்கடத்தி செதில்களின் தரத்தில் பொறித்தல் சீரான தன்மை பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. முழுமையடையாத பொறித்தல் அல்லது அதிக பொறித்தல் GaAs சிவப்பு LED மெல்லிய பட குறைக்கடத்தியின் தரத்தை குறைக்கும், மேலும் பொறிக்கப்பட்ட சாதனங்களின் ஸ்கிராப்பிங்கிற்கும் வழிவகுக்கும். எனவே, பொறிக்கப்பட்ட செதில்களின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்காக ஈரமான பொறிப்பு வேலையில் பொறித்தல் சீரான தன்மையை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்துவது அவசியம். நடவடிக்கைகள் பின்வருமாறு முன்மொழியப்பட்டுள்ளன:

1) முறையான கலவை: பொறித்தல் தொட்டியில் ஒரு கிளறி சாதனத்தை நிறுவுவதன் மூலம், GaAs LED செதில் பொறித்தல் செயல்முறையின் போது தொடர்ச்சியான கிளறல் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, இதனால் இரசாயன முகவர்களின் வெப்பநிலை மற்றும் செறிவு சமமாக விநியோகிக்கப்படுவதை உறுதிசெய்து, அதன் மூலம் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. ஈரமான பொறித்தல்.

2) இரசாயன எட்சாண்டின் வழிதல் சுழற்சி: இரசாயனக் கரைசலின் வெப்பநிலை, செறிவு மற்றும் ஓட்டப் புலம் ஆகியவை ஓவர்ஃப்ளோ புழக்கத்தின் மூலம் ஒரே மாதிரியாக விநியோகிக்கப்படலாம், இதனால் ஈரமான செதுக்கலின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

3) பொறிக்கும் போது சுழலும் செதில்: எல்இடி எபிடாக்ஸி செதில்களின் இரசாயன தீர்வு சிகிச்சை செயல்பாட்டில், செதில்களை சுழற்றுவதன் மூலம், செதில்களின் ஒரு பகுதி எப்போதும் செதில் பெட்டியின் ஸ்லாட்டில் இருப்பது தடுக்கப்படுகிறது, இதனால் இரசாயன கரைசல் அரிப்பின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது. செதில் மீது.

மேலும் தகவலுக்கு, தயவுசெய்து எங்களை மின்னஞ்சல் முகவரியில் தொடர்பு கொள்ளவும்sales@ganwafer.com மற்றும் tech@ganwafer.com.