ஈரமான அல்லது உலர் வெப்ப ஆக்சைடு சிலிக்கான் செதில்கள்
சிலிக்கான் செதில்களில் உள்ள ஈரமான அல்லது உலர் வெப்ப ஆக்சைடு (SiO2) 4”, 6” மற்றும் 12” அளவுகளில் கிடைக்கிறது. தெர்மல் ஆக்சைடு சிலிக்கான் செதில் என்பது உலர்ந்த அல்லது ஈரமான வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறையால் வளர்க்கப்படும் சிலிக்கான் ஆக்சைடு அடுக்கு கொண்ட வெற்று சிலிக்கான் செதில் ஆகும். தொழில்துறையில் ஆக்சிஜனேற்றம் முக்கியமாக உலர் ஆக்ஸிஜன் (தூய ஆக்ஸிஜன் ஆக்சிஜனேற்றம்) மற்றும் ஈரமான ஆக்ஸிஜன் (ஆக்ஸிஜனேற்றமாக நீராவியைப் பயன்படுத்துதல்) என பிரிக்கப்பட்டுள்ளது. இந்த இரண்டு ஆக்சிஜனேற்றங்களும் அமைப்பு மற்றும் செயல்திறனில் மிகவும் ஒத்தவை. சிலிக்கான் செதில்களின் மேற்பரப்பில் உள்ள உயர்தர ஆக்சைடு அடுக்கு முழு குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி செயல்முறைக்கு மிகவும் முக்கியமானது. சிலிக்கான் ஆக்சைட்டின் வெப்ப வளர்ச்சியானது, அயனி பொருத்துதல் அல்லது வெப்பப் பரவலுக்கான முகமூடி அடுக்காக மட்டுமல்லாமல், சாதனத்தின் மேற்பரப்பு சுற்றியுள்ள வளிமண்டலத்தால் பாதிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதிசெய்யும் ஒரு செயலற்ற அடுக்காகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
- விளக்கம்
- விசாரணை
விளக்கம்
சிலிக்கானின் வெப்ப ஆக்சிஜனேற்ற செயல்முறை இரண்டு நிலைகளாக பிரிக்கப்பட்டுள்ளது: நேரியல் வளர்ச்சியிலிருந்து பரவளைய வளர்ச்சி வரை. நேரியல் வளர்ச்சி நிலையில், ஆக்சிஜன் அணுக்கள் நேரடியாக சிலிக்கானுடன் தொடர்பு கொண்டு நேரியல் வளர்ச்சி தடிமன் 0.01um ஐ உறுதி செய்ய முடியும். சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO2) சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் ஒட்டிக்கொண்டிருக்கும் போது, ஆக்சிஜனேற்றத்தின் மீதமுள்ள பகுதியானது கார்பன் டை ஆக்சைடை உருவாக்க சிலிக்கான் அணுக்கள் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் அணுக்களுக்கு இடையேயான தொடர்பை உறுதிப்படுத்த பரவல் தேவைப்படுகிறது. இந்த நேரத்தில், அது ஒரு பரவளைய வளர்ச்சியில் நுழைகிறது. பரவளைய வளர்ச்சியானது ஆக்சைடு அடுக்கின் உற்பத்தி விகிதத்தைக் குறைக்கும், ஏனெனில் சில நேரங்களில் சிலிக்கான் ஆக்சைட்டின் வெப்ப வளர்ச்சி விகிதம் நீராவியை அதிகரிப்பதன் மூலம் துரிதப்படுத்தப்படுகிறது.
வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றத்துடன் கூடிய எங்கள் சிலிக்கான் வேஃபர் பற்றி மேலும் கீழே பார்க்கவும்:
1. 12 இன்ச் பிரைம் எஸ்ஐ வேஃபர் மற்றும் தெர்மல் ஆக்சைடு பிலிம்
| 12 இன்ச் பிரைம் எஸ்ஐ வேஃபர் மற்றும் தெர்மல் ஆக்சைடு பிலிம் | |||
| பொருள் | துப்புகள் | ||
| பொருள் | மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் | ||
| தரம் | முதன்மை தரம் | ||
| வளர்ச்சி முறை | CZ | ||
| விட்டம் | 12″(300.0±0.3மிமீ) | ||
| கடத்துத்திறன் வகை | பி வகை | ||
| டோபண்ட் | பழுப்பம் | ||
| நோக்குநிலை | <100>±0.5° | ||
| தடிமன் | 775±25μm | 775 ± 25um | 650±25μm |
| எதிர்ப்பாற்றல் | 1-100 செ.மீ | 1-100 செ.மீ | >10 செ.மீ |
| ஆர்.ஆர்.வி | N/A | ||
| SEMI STD நாட்ச் | SEMI STD நாட்ச் | ||
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | முன் பக்க பூச்சு மிரர் பாலிஷ் பின் பக்க ஃபினிஷ் மிரர் பாலிஷ் |
||
| விளிம்பு வட்டமானது | விளிம்பு வட்டமானது செமி தரநிலைக்கு |
||
| இன்சுலேடிங் தெர்மல் ஆக்சிடேஷன் ஃபிலிம் தடிமன் | இரட்டை பக்கங்களில் ஆக்சைடு அடுக்கு தடிமன் 5000Å | ||
| துகள் | ≤100 எண்ணிக்கைகள் @0.2μm | ||
| முரட்டுத்தனம் | <5Å | ||
| டிடிவி | <15um | ||
| வில்/வார்ப் | வில்≤20μm, Warp≤40μm | ||
| TIR | <5µm | ||
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| OISF | <50/செமீ² | ||
| STIR (15x15 மிமீ) | <1.5µm | ||
| MCC வாழ்நாள் | N/A | ||
| மேற்பரப்பு உலோக மாசுபாடு Fe,Zn, Cu,Ni, K,Cr |
2E10 அணுக்கள்/செமீ2 | ||
| இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி | செமி எஸ்.டி.டி | ||
| சில்லுகள், கீறல்கள், புடைப்புகள், மூடுபனி, தொடு அடையாளங்கள், ஆரஞ்சு தோல், குழிகள், விரிசல்கள், அழுக்கு, மாசு | அனைத்தும் இல்லை | ||
| லேசர் குறி | லேசர் மார்க் பின்பக்கம் T7. M12 | ||
2. 6 இன்ச் பிரைம் தெர்மல் ஆக்சைடு Si வேஃபர்
| தெர்மல் ஆக்சைடு படத்துடன் கூடிய 6 இன்ச் பிரைம் எஸ்ஐ வேஃபர் | ||||
| பொருள் | துப்புகள் | |||
| பொருள் | மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் | |||
| தரம் | முதன்மை தரம் | |||
| வளர்ச்சி முறை | CZ | |||
| விட்டம் | 6″(150±0.3மிமீ) | |||
| கடத்துத்திறன் வகை | பி வகை | பி வகை | N வகை | N வகை |
| டோபண்ட் | பழுப்பம் | பழுப்பம் | பாஸ்பரஸ் | பாஸ்பரஸ் அல்லது ஆண்டிமனி |
| நோக்குநிலை | <100>±0.5° | |||
| தடிமன் | 1,500±25μm | 530 ± 15um | 700±25μm 1,000±25μm |
525±25μm 675±25μm |
| எதிர்ப்பாற்றல் | 1-100 செ.மீ | 0-100 செ.மீ | 0.01-0.2 செ.மீ | 0.01-0.2 செ.மீ |
| ஆர்.ஆர்.வி | N/A | |||
| முதன்மை பிளாட் | செமி எஸ்.டி.டி | |||
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | செமி எஸ்.டி.டி | |||
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | 1எஸ்பி, எஸ்எஸ்பி ஒரு பக்க-எபி-ரெடி-பாலீஷ், பின் பக்கம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
|||
| விளிம்பு வட்டமானது | விளிம்பு வட்டமானது செமி தரநிலைக்கு |
|||
| இன்சுலேடிங் தெர்மல் ஆக்சிடேஷன் ஃபிலிம் தடிமன் | 200A தெர்மல் ஆக்சைடு மற்றும் 1200A LPCVD நைட்ரைடு - ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் | |||
| துகள் | செமி எஸ்.டி.டி | |||
| முரட்டுத்தனம் | செமி எஸ்.டி.டி | |||
| டிடிவி | <15um | |||
| வில்/வார்ப் | <40um | |||
| TIR | <5µm | |||
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | |||
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | |||
| OISF | <50/செமீ² | |||
| STIR (15x15 மிமீ) | <1.5µm | |||
| MCC வாழ்நாள் | N/A | |||
| மேற்பரப்பு உலோக மாசுபாடு Fe,Zn, Cu,Ni, K,Cr |
செமி எஸ்.டி.டி | |||
| இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி | செமி எஸ்.டி.டி | |||
| சில்லுகள், கீறல்கள், புடைப்புகள், மூடுபனி, தொடு அடையாளங்கள், ஆரஞ்சு தோல், குழிகள், விரிசல்கள், அழுக்கு, மாசு | அனைத்தும் இல்லை | |||
| லேசர் குறி | செமி எஸ்.டி.டி | |||
3. 4 இன்ச் தெர்மல் ஆக்சைடு சிலிக்கான் வேஃபர்
| 4 அங்குல பிரைம் Si வேஃபர் வெப்ப ஆக்சைடு அடுக்கு | |||
| பொருள் | துப்புகள் | ||
| பொருள் | மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் | ||
| தரம் | முதன்மை தரம் | ||
| வளர்ச்சி முறை | CZ | ||
| விட்டம் | 50.8±0.3மிமீ, 2″ | 100 ± 0.3 மிமீ, 4″ | 76.2±0.3மிமீ, 3″ |
| கடத்துத்திறன் வகை | பி வகை | N வகை | N வகை |
| டோபண்ட் | பழுப்பம் | பாஸ்பரஸ் | பாஸ்பரஸ் |
| நோக்குநிலை | <100>±0.5° | [100]±0.5° | (100) ± 1° |
| தடிமன் | 675±20μm | 675±20μm | 380±20μm |
| எதிர்ப்பாற்றல் | ≥10 செ.மீ | ≥10 செ.மீ | 1-20 செ.மீ |
| ஆர்.ஆர்.வி | N/A | ||
| முதன்மை பிளாட் | செமி எஸ்.டி.டி | செமி எஸ்.டி.டி | 22.5±2.5மிமீ, (110)±1° |
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | செமி எஸ்.டி.டி | செமி எஸ்.டி.டி | செமி எஸ்.டி.டி |
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | 1எஸ்பி, எஸ்எஸ்பி ஒரு பக்க-எபி-ரெடி-பாலீஷ், பின் பக்கம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
1எஸ்பி, எஸ்எஸ்பி ஒரு பக்கம் பாலிஷ் பின் பக்க அமிலம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
1எஸ்பி, எஸ்எஸ்பி ஒரு பக்கம் பாலிஷ் பின் பக்க அமிலம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
| விளிம்பு வட்டமானது | எட்ஜ் ரவுண்டட் பெர் செமி ஸ்டாண்டர்டு | எட்ஜ் ரவுண்டட் பெர் செமி ஸ்டாண்டர்டு | எட்ஜ் ரவுண்டட் பெர் செமி ஸ்டாண்டர்டு |
| இன்சுலேடிங் தெர்மல் ஆக்சிடேஷன் ஃபிலிம் தடிமன் | 100nm அல்லது 300nm | ||
| துகள் | செமி எஸ்.டி.டி | ||
| முரட்டுத்தனம் | <5A | ||
| டிடிவி | <15um | ||
| வில்/வார்ப் | <40um | ||
| TIR | <5µm | ||
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| OISF | <50/செமீ² | ||
| STIR (15x15 மிமீ) | <1.5µm | ||
| MCC வாழ்நாள் | N/A | ||
| மேற்பரப்பு உலோக மாசுபாடு Fe,Zn, Cu,Ni, K,Cr |
≤5E10 அணுக்கள்/செமீ2 | ||
| இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி | 500 அதிகபட்சம்/ செமீ2 | ||
| சில்லுகள், கீறல்கள், புடைப்புகள், மூடுபனி, தொடு அடையாளங்கள், ஆரஞ்சு தோல், குழிகள், விரிசல்கள், அழுக்கு, மாசு | அனைத்தும் இல்லை | ||
| லேசர் குறி | செமி எஸ்.டி.டி | லேசர் வரிசைப்படுத்தப்பட்ட விருப்பம்: ஆழமற்ற லேசர் |
பிளாட் உடன் முன் பக்கத்தில் |
சிலிக்கான் அடிப்படையிலான சாதனங்களில் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு அடுக்கின் தடிமன் பரவலாக மாறுபடுகிறது, மேலும் வெப்ப ஆக்சைடு வளர்ச்சி சிலிக்கான் செதில்களின் முக்கிய பயன்பாடு SiO2 தடிமன் படி உள்ளது. உதாரணத்திற்கு:
தெர்மல் ஆக்சைடு சிலிக்கான் இடைமுகத்தில் சிலிக்கா தடிமன் 60~100Å ஆக இருக்கும்போது, சுரங்கப்பாதை வாயிலுக்கு வெப்ப ஆக்சைடு செதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது;
SiO2 தடிமன் 150~500Å இல் இருக்கும்போது, வெப்ப ஆக்சைடு (100) செதில் கேட் ஆக்சைடு அடுக்கு அல்லது மின்தேக்கி மின்கடத்தா அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது;
200~500Å தடிமனுக்கு, சிலிக்கான் ஆக்சைடு செதில் LOCOS ஆக்சைடு அடுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது;
தடிமன் 2000-5000Å அடையும் போது, வெப்ப ஆக்சைடு Si செதில் முகமூடி ஆக்சைடு அடுக்கு மற்றும் மேற்பரப்பு செயலற்ற அடுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது;
ஆக்சைடு அடுக்கு 3000~10000Å ஐ அடையும் போது ஈரமான / உலர் வெப்ப ஆக்சைடு சிலிக்கான் செதில்கள் புல ஆக்சைடாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
