P Sapphire அல்லது Silicon Template இல் GaN என தட்டச்சு செய்க

விளக்கம்

1. சபையர் டெம்ப்ளேட்டில் GaN இன் விவரக்குறிப்புகள்

1.1 4 அங்குல Mg-டோப் செய்யப்பட்ட GaN/சபைர் அடி மூலக்கூறுகள்

பொருள்	PAM-T-GaN-100-P
பரிமாணம்	100 ± 0.1 மிமீ
தடிமன்	5 ± 1 μm
GaN இன் நோக்குநிலை	C விமானம் (0001) A-அச்சு 0.2 ±0.1° நோக்கிய கோணம்
GaN இன் ஓரியண்டேஷன் பிளாட்	(1-100) 0 ± 0.2°, 16 ±1 மிமீ
கடத்தல் வகை	பி-வகை
எதிர்ப்பாற்றல் (300K)	~ 10 Ω·cm
கேரியர் செறிவு	>6X1016CM-3(ஊக்கமருந்து செறிவு≥10x1020cm-3
இயக்கம்	~ 10cm2 / V·s
இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி	< 5x108cm-2(XRD இன் FWHMகளால் மதிப்பிடப்பட்டது)
கட்டமைப்பு	2~2.5 μm pGaN/2~2.5 μm pGaN uGaN/50nm uGaN இடையக அடுக்கு/430±25μm
சபையரின் நோக்குநிலை	M-அச்சு 0.2 ±0.1° நோக்கி சி விமானம் (0001) கோணம்
சபையர் திசையமைப்பு பிளாட்	(11-20) 0 ± 0.2°, 16 ±1 மிமீ
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை:	முன் பக்கம்: ரா<0.5nm, எபி-ரெடி;
	பின்புறம்: பொறிக்கப்பட்ட அல்லது மெருகூட்டப்பட்ட.
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	> 90% (விளிம்பு மற்றும் மேக்ரோ குறைபாடுகள் விலக்கு)
தொகுப்பு	நைட்ரஜன் வளிமண்டலத்தின் கீழ், ஒற்றை செதில் கொள்கலனில் ஒவ்வொன்றும், 100 ஆம் வகுப்பு சுத்தமான அறையில் நிரம்பியுள்ளது

 

1.2 2 அங்குல Mg-டோப் செய்யப்பட்ட GaN/Sapphire அடி மூலக்கூறுகள்

பொருள்	PAM-T-GaN-50-P
பரிமாணம்	50.8 ± 0.1 மிமீ
தடிமன்	5 ± 1 μm
GaN இன் நோக்குநிலை	C விமானம் (0001) A-அச்சு 0.2 ±0.1° நோக்கிய கோணம்
GaN இன் ஓரியண்டேஷன் பிளாட்	(1-100) 0 ± 0.2°, 16 ±1 மிமீ
கடத்தல் வகை	பி-வகை
எதிர்ப்பாற்றல் (300K)	~ 10 Ω·cm
கேரியர் செறிவு	>6X1016CM-3(ஊக்கமருந்து செறிவு≥10x1020cm-3
இயக்கம்	~ 10cm2 / V·s
இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி	< 5x108cm-2(XRD இன் FWHMகளால் மதிப்பிடப்பட்டது)
கட்டமைப்பு	2~2.5 μm pGaN/2~2.5 μm pGaN uGaN/50nm uGaN இடையக அடுக்கு/430±25μm
சபையரின் நோக்குநிலை	M-அச்சு 0.2 ±0.1° நோக்கி சி விமானம் (0001) கோணம்
சபையர் திசையமைப்பு பிளாட்	(11-20) 0 ± 0.2°, 16 ±1 மிமீ
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை:	முன் பக்கம்: ரா<0.5nm, எபி-ரெடி;
	பின்புறம்: பொறிக்கப்பட்ட அல்லது மெருகூட்டப்பட்ட.
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	> 90% (விளிம்பு மற்றும் மேக்ரோ குறைபாடுகள் விலக்கு)

 

2. சிலிக்கான் டெம்ப்ளேட்டில் P வகை GaN இன் விவரக்குறிப்பு

விளக்கம்	வகை	டோபண்ட்	அடி மூலக்கூறு	அளவு	GaN தடிமன்	மேற்பரப்பு
4″ சிலிக்கான் வேஃபர், GaN திரைப்படத்தில் GaN டெம்ப்ளேட்	பி வகை	Mg ஊக்கமருந்து	Si (111) அடி மூலக்கூறுகள்	4″	2um	ஒற்றை பக்கம் மெருகூட்டப்பட்டது
2″ சிலிக்கான் வேஃபர், GaN திரைப்படத்தில் GaN டெம்ப்ளேட்	பி வகை	Mg ஊக்கமருந்து	Si (111) அடி மூலக்கூறுகள்	2″	2um	ஒற்றை பக்கம் மெருகூட்டப்பட்டது

 

3. 2″ Dia, P வகை GaN சிலிக்கான் மீது

2 dia, சிலிக்கான் மீது GaN

GaN அடுக்கு தடிமன் : 2um

GaN அடுக்கு: P வகை, Mg டோபட்.

அமைப்பு:GaN on Silicon(111).

அடி மூலக்கூறு: சிலிக்கான்(111), ப வகை, 430+/-25um

XRD(102)<700arc.sec

XRD(002)<500arc.sec

ஒற்றைப் பக்க பாலிஷ், எபி-ரெடி, ரா<0.5nm

கேரியர் செறிவு:5E17~5E18