சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு மீது LED/LD எபி

சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு மீது LED/LD எபி

சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகள் உலகளாவிய LED/LD சப்ளையர்கள் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டில் தீவிரமாக முதலீடு செய்யும் அடி மூலக்கூறு பொருட்களில் ஒன்றாக மாறியுள்ளது. SiC மற்றும் சபையர் அடி மூலக்கூறுகளுடன் ஒப்பிடுகையில், சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறுகள் இரண்டு முக்கிய நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன: முதலாவதாக, சிலிக்கான் பொருட்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் சபையரை விட மிகவும் மலிவானவை, மேலும் பெரிய அளவிலான அடி மூலக்கூறுகளைப் பெறுவது எளிது, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் செலவைக் கணிசமாகக் குறைக்கும்; இரண்டாவதாக, சிலிக்கான் LED லைட்டிங் எபிடாக்சியல் மெட்டீரியலில் உள்ள GaN அடி மூலக்கூறு ஃபிலிம் டிரான்ஸ்ஃபர் டெக்னாலஜி வழியை அகற்றுவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது, மேலும் உயர் செயல்திறன் மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மை கொண்ட செமிகண்டக்டர் லைட்டிங் சில்லுகளின் வளர்ச்சிக்கு தனித்துவமான நன்மைகள் உள்ளன.

GaN LD ஐப் பொறுத்தவரை, சிலிக்கானின் மறைமுக பேண்ட் இடைவெளி அமைப்பு ஒளியை திறமையாக வெளியிடுவது கடினம் என்பதை தீர்மானிக்கிறது, அதே நேரத்தில் GaN / Si எபிடாக்சியல் வேஃபரில் புனையப்பட்ட லேசர்கள் தகவல் சேமிப்பு, லேசர் காட்சி, வாகன ஹெட்லைட்கள் ஆகியவற்றில் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. , புலப்படும் ஒளித் தொடர்புகள், நீர்மூழ்கிக் கப்பல் தொடர்புகள் மற்றும் உயிரியல் மருத்துவப் பயன்பாடுகள். உயர்தர GaN-on-Si லேசர்களை வளர்ப்பது, பெரிய அளவிலான, குறைந்த விலை சிலிக்கான் செதில்கள் மற்றும் தானியங்கு செயல்முறைக் கோடுகளின் உதவியுடன் GaN-அடிப்படையிலான லேசர்களின் உற்பத்திச் செலவைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், அதற்கான புதிய தொழில்நுட்ப வழியையும் வழங்குகிறது. சிலிக்கான் அடிப்படையிலான மின்னணு சாதனங்களுடன் லேசர்கள் மற்றும் பிற ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் சாதனங்களின் அமைப்பு ஒருங்கிணைப்பு.

விளக்கம்

Si எல்இடி வேஃபரில் நீல GaN மற்றும் சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு மீது GaN LD Epi ஆகியவை பின்வருமாறு Si ஃபவுண்டரியில் உள்ள GaN ஆல் PAM-XIAMEN ஆல் வழங்கப்படலாம்:

1. நீல உமிழ்வுடன் கூடிய சிலிக்கானில் LED GaN இன் எபிடாக்சியல் வேஃபர்

LED எபி அளவுருக்கள்
எபி அமைப்பு: நீல LED
Si(111) அடி மூலக்கூறுகள்
(1500um)
t(nm) கலவை ஊக்கமருந்து
A1% % இல் [Si] [Mg]
AIN / / / / /
AIGaN தாங்கல் / தரப்படுத்தப்பட்டது
கீழ்
/ / /
நீக்கப்படாத GaN / / / /
N-GaN / / / 8.0E+18 /
MQW
(7 ஜோடிகள்)
lnGaN-QW / / 15% / /
GaN-QB / / / 2.0E+17 எல்
p-AlGaN / 15% / / /
பி-கான் / / / / /
P++ GaN / / / / /

 

சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறின் சிப் மின்முனைகளை எல் தொடர்பு (லேட்டரியல்-கான்டாக்ட், கிடைமட்ட தொடர்பு) மற்றும் வி காண்டாக்ட் (செங்குத்து-தொடர்பு) என இரண்டு வழிகளில் தொடர்பு கொள்ளலாம், எனவே எல்இடி சிப்பின் உள்ளே இருக்கும் மின்னோட்டம் பக்கவாட்டில் பாயலாம் அல்லது செங்குத்தாக பாயலாம். . எனவே, மின்னோட்டம் நீளவாக்கில் பாயலாம்; LED-ன் ஒளி-உமிழும் பகுதி அதிகரிக்கிறது, இதன் மூலம் LED-ன் ஒளி-உமிழும் திறனை மேம்படுத்துகிறது. Si epi wafer இல் GaN ஆனது ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்க்கு மிகவும் சாத்தியமான உயர்-செயல்திறன், குறைந்த விலை தீர்வாக மாறியுள்ளது.
கூடுதலாக, நாம் சபையர் அல்லது சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு (PAM-190909-GAN-LD) மீது 2″ InGaN/GaN குவாண்டம் வெல் ப்ளூ எல்டி வேஃபரை வழங்கலாம்:

2. Si Superlattice இல் GaN உடன் 440-460nm LD வேஃபரின் விவரக்குறிப்பு

பொருள் விளக்கங்கள் பொருட்கள் அடி மூலக்கூறு
நீல லேசர் 440-460nm InGaN 2 அங்குல சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறு***
GaN Blue LD EPI வேஃபர் ஸ்பெக்
விவரக்குறிப்பு
EPI வேஃபர் அளவு
வளர்ச்சி MOCVD
விட்டம் 50.8 ± 0.2 மிமீ
தடிமன் 430 ± 30 உம்
EPI தடிமன் உம்
EPI வேஃபர் அமைப்பு
தொடர்பு அடுக்கு p வகை GaN
சூப்பர்லட்டிஸ் கிளாடிங் லேயர் p வகை GaN
எலக்ட்ரான் தடுப்பு அடுக்கு ப வகை AlGaN
அலை வழிகாட்டி அடுக்கு அகற்றப்படாத InGaN
QW மற்றும் QB அடுக்கு InGaN மற்றும் GaN
அலை வழிகாட்டி அடுக்கு n வகை InGaN
உறைப்பூச்சு அடுக்கு n வகை AlGaN
அடி மூலக்கூறு சிலிக்கான்

 

Si எல்இடிகளில் GaN உடன் ஒப்பிடும்போது, ​​Si அடி மூலக்கூறில் GaN இல் புனையப்பட்ட லேசர்களின் வேலை தற்போதைய அடர்த்தி 2-3 ஆர்டர்கள் அதிகமாக உள்ளது, இதற்கு அதிக பொருள் தரம் தேவைப்படுகிறது. மேலும், GaN-அடிப்படையிலான இறுதி-உமிழும் லேசர்கள் ஒரு அலை வழிகாட்டி அடுக்கு மற்றும் குவாண்டம் கிணற்றுக்கு மேலேயும் கீழேயும் ஒரு ஆப்டிகல் புலம் அடைப்பு அடுக்கையும் வளர்க்க வேண்டும். ஆப்டிகல் ஃபீல்ட் கன்ஃபைன்மென்ட் லேயர் பொதுவாக குறைந்த ஒளிவிலகல் குறியீட்டு AlGaN பொருள் ஆகும், இது கூடுதல் இழுவிசை அழுத்தத்தை ஏற்படுத்துகிறது. இது Si epi wafer இல் GaN இல் வளர்க்கப்படும் லேசர் பொருட்களுக்கு அழுத்தக் கட்டுப்பாடு மற்றும் குறைபாடு கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் LED களை விட அதிக தேவைகள் உள்ளன, மேலும் GaN on Si செயல்முறைக்கான சவால்கள் அதிகம்.
Si எபிடாக்சியல் செதில்களில் எங்கள் LD GaN இன் செயல்திறன் சர்வதேச மேம்பட்ட நிலையை எட்டியுள்ளது, மேலும் 5G தகவல்தொடர்புகள், லேசர் ரேடார், லேசர் பம்பிங், லேசர் டிஸ்ப்ளே மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

    உங்கள் வண்டியில் சேர்க்கப்பட்டது:
    வெளியேறுதல்