FZ சிலிக்கான் வேஃபர்
விற்பனைக்கான மிதவை மண்டலம் (FZ) சிலிக்கான் (Si) செதில்களின் அளவு முக்கியமாக 8 அங்குலம் மற்றும் 6 அங்குலம் ஆகும். Czochralski (CZ) முறையால் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் செதில்களுடன் ஒப்பிடும்போது, மிதவை மண்டல செதில்களின் மிகப்பெரிய அம்சம் என்னவென்றால், எதிர்ப்பாற்றல் ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது, தூய்மை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் அது உயர் மின்னழுத்தத்தைத் தாங்கும். இருப்பினும், பெரிய அளவிலான FZ சிலிக்கான் செதில்களை தயாரிப்பது கடினம் மற்றும் இயந்திர பண்புகள் மோசமாக உள்ளன. எனவே, ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் பயன்படுத்தப்படும் மிதக்கும் மண்டலத்தில் சிலிக்கான் செதில்கள் குறைவாகவே பயன்படுத்தப்படுகின்றன. FZ வேஃபர் மிதவை மண்டல செயல்முறை மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. மிதவை மண்டல சிலிக்கான் படிக வளர்ச்சியின் போது க்ரூசிபிள் இல்லாததால், க்ரூசிபிளில் இருந்து மாசுபாடு தவிர்க்கப்படுகிறது, மேலும் பல சுத்திகரிப்புகளுக்கு இடைநீக்க மண்டல உருகலைப் பயன்படுத்தலாம், எனவே FZ சிலிக்கான் இங்காட்டின் தூய்மை அதிகமாக உள்ளது, மேலும் FZ-சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறின் கடத்துத்திறன் 1000 Ω-செமீ அல்லது அதற்கு மேல் அடையும்.
- விளக்கம்
- விசாரணை
விளக்கம்
FZ வேஃபர் சப்ளையர்களால் தயாரிக்கப்படும் FZ Si செதில்கள் மின்சக்தி மின்னணு சாதனங்கள், ஃபோட்டோடியோட்கள், ரே டிடெக்டர்கள், இன்ஃப்ராரெட் டிடெக்டர்கள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஆக்சிஜனால் உருவாகும் படிவு இல்லை என்பதால், மிதவை மண்டல சிலிக்கான் செதில்களின் இயந்திர வலிமை அவ்வளவு சிறப்பாக இல்லை, அதே போல் சிலிக்கான் செதில் CZ வளர்க்கப்படுகிறது. கூடுதலாக, புனையமைப்பு செயல்பாட்டின் போது வார்பேஜ் மற்றும் குறைபாடுகளை உருவாக்குவது எளிது. மிதவை மண்டல சிலிக்கான் படிக வளர்ச்சியின் போது செதில் வலிமையை மேம்படுத்த நைட்ரஜனைச் சேர்ப்பது ஒரு தீர்வாகும். மேலும் FZ மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் விவரக்குறிப்புகள் பின்வருமாறு:
1. 8 இன்ச் ஹை ரெசிஸ்டிவிட்டி ஃப்ளோட் சோன் SSP அல்லது DSP உடன் சிலிக்கான் வேஃபர்
| 8 இன்ச் FZ சிலிக்கான் வேஃபர் SSP அல்லது DSP & Hight Resistivity | |||
| பொருள் | துப்புகள் | ||
| பொருள் | மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் | ||
| தரம் | முதன்மை தரம் | ||
| வளர்ச்சி முறை | FZ | ||
| விட்டம் | 8″(200.0±0.2மிமீ) | ||
| கடத்துத்திறன் வகை | N வகை | N வகை | பி வகை |
| டோபண்ட் | பாஸ்பரஸ் | பாஸ்பரஸ் | பழுப்பம் |
| நோக்குநிலை | [100]±0.5° | ||
| தடிமன் | 625+/- 5µm | 725±25μm | 725±25μm |
| எதிர்ப்பாற்றல் | >8,000-14,000Ωcm | >10,000 செ.மீ | 5,000-10,000Ωcm |
| ஆர்.ஆர்.வி | <40% (ASTM F81 திட்டம் C) | ||
| SEMI STD நாட்ச் | SEMI STD நாட்ச் | ||
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | 1எஸ்பி, எஸ்எஸ்பி ஒரு பக்க-எபி-ரெடி-பாலீஷ் பின் பக்கம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
||
| விளிம்பு வட்டமானது | செமி தரநிலைக்கு அளவியல் விளிம்பு விலக்கு (எல்பிடிகள், இயந்திர அளவுருக்கள்) 3 மிமீ |
||
| துகள் | LPDs >= 0,30 µm (COP கள் உட்பட) <=25 LPDs >= 0,20 µm (COP கள் உட்பட) <=30 LPDs >= 0,16 µm (COP கள் உட்பட) <=60 |
||
| முரட்டுத்தனம் | <0.5nm | ||
| டிடிவி | <1.5um | <10um | <6um |
| வில்/வார்ப் | <35um | வில்<40µm, Warp<60µm | <40um |
| TIR | <5µm | ||
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | 11-15 பிபிஎம்ஏ | ||
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| தளம் தட்டையானது | SFQD 20X20mm: 0.40um | ||
| MCC வாழ்நாள் | >1,000μs | >1,000μs | >1,000μs |
| மேற்பரப்பு உலோக மாசுபாடு (Al,Ca,Cu,Fe,Ni,Zn,Cr,Na) |
≤5E10 அணுக்கள்/செமீ2 (Al,Ca,Cu,Fe,Ni,Zn,Cr,Na) அதிகபட்சம் 5E10/cm2 | ||
| இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி | செமி எஸ்.டி.டி | செமி எஸ்.டி.டி | 500 அதிகபட்சம்/ செமீ2 |
| சில்லுகள், கீறல்கள், புடைப்புகள், மூடுபனி, தொடு அடையாளங்கள், ஆரஞ்சு தோல், குழிகள், விரிசல்கள், அழுக்கு, மாசு | அனைத்தும் இல்லை | ||
| லேசர் குறி | செமி எஸ்.டி.டி | லேசர் வரிசைப்படுத்தப்பட்ட விருப்பம்: ஆழமற்ற லேசர் |
பிளாட் உடன் முன் பக்கத்தில் |
2. 6 இன்ச் FZ சிலிக்கான் வேஃபர்
| 6 அங்குல FZ சிலிக்கான் வேஃபர் | |||
| பொருள் | துப்புகள் | ||
| பொருள் | மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் | ||
| தரம் | முதன்மை தரம் | ||
| வளர்ச்சி முறை | FZ | ||
| விட்டம் | 6″(150 ± 0.5மிமீ) | ||
| கடத்துத்திறன் வகை | உள்ளார்ந்த | N வகை | பி வகை |
| டோபண்ட் | low doped | பாஸ்பரஸ் | பழுப்பம் |
| நோக்குநிலை | <100>±0.5° | [100]±0.5° | (111) ±0.5° |
| தடிமன் | 625±15μm | 675±10μm 1,000±25µm |
875±25μm 1,000±25µm |
| எதிர்ப்பாற்றல் | >20,000 செ.மீ | 6,000-10,000 | 5,000-10,000Ωcm |
| ஆர்.ஆர்.வி | <40% (ASTM F81 திட்டம் C) | ||
| முதன்மை பிளாட் | ஒரு செமி பிளாட் (57.5 மிமீ) | செமி எஸ்.டி.டி | SEMI நாட்ச் @ 110 ± 1° |
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | N/A | செமி எஸ்.டி.டி | N/A |
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | முன் பக்க பூச்சு மிரர் பாலிஷ் பின் பக்க ஃபினிஷ் மிரர் பாலிஷ் |
முன் பக்க பூச்சு மிரர் பாலிஷ் பின் பக்க ஃபினிஷ் மிரர் பாலிஷ் |
ஒரு பக்கம் பாலிஷ் பின் பக்க அமிலம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
| விளிம்பு வட்டமானது | செமி தரநிலைக்கு | ||
| துகள் | <20counts @0.3μm | ||
| முரட்டுத்தனம் | <0.5nm | ||
| டிடிவி | <10um | <10um | <12um |
| வில்/வார்ப் | <30um | <40um | <60um |
| TIR | <5µm | ||
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| OISF | <50/செமீ² | ||
| STIR (15x15 மிமீ) | <1.5µm | ||
| MCC வாழ்நாள் | >1,000μs | ||
| மேற்பரப்பு உலோக மாசுபாடு Na, Al, K, Fe, Ni, Cu, Zn |
≤5E10 அணுக்கள்/செமீ2 | ||
| இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி | 500 அதிகபட்சம்/ செமீ2 | ||
| சில்லுகள், கீறல்கள், புடைப்புகள், மூடுபனி, தொடு அடையாளங்கள், ஆரஞ்சு தோல், குழிகள், விரிசல்கள், அழுக்கு, மாசு | டார்னிஷ், ஆரஞ்சு தோல், மாசுபடுதல், மூடுபனி, மைக்ரோ ஸ்கிராட்ச், சிப்ஸ், எட்ஜ் சிப்ஸ், கிராக், காக பாதங்கள், பின் துளை, குழிகள், பள்ளம், அலை அலையான தன்மை, பின்புறத்தில் கறை & வடு: அனைத்தும் இல்லை | ||
| லேசர் குறி | பிளாட் உடன் முன் பக்கத்தில், லேசர் வரிசைப்படுத்தப்பட்ட விருப்பம்: ஆழமற்ற லேசர் |
||
3. சிறுபான்மை கேரியர் வாழ்நாள் 300μs உடன் 6 அங்குல FZ+NTD சிலிக்கான் வேஃபர்
| 6 அங்குல FZ+NTD சிலிக்கான் வேஃபர் சிறுபான்மை கேரியர் வாழ்நாள் 300μs | |
| விளக்கம் | தேவைகள் |
| பொதுவான பண்புகள் | |
| வளரும் முறை | Grown by irradiating low doped Float Zone silicon with neutrons FZ+NTD |
| நோக்குநிலை | <111> +/- 1 டிகிரி |
| கடத்துத்திறன் வகை | என் |
| தூய்மையற்ற பொருள் | பி |
| கட்டுப்பாட்டு பகுதி | ஒரு செதில் எல்லையில் இருந்து 3 மிமீ மேற்பார்வை இல்லை |
| மின் பண்புகள் | |
| எதிர்ப்பாற்றல் மாறிலி | 100 Ohm.cm ± 8% |
| ரேடியல் சிதறல் மின்தடை நிலையானது |
4% க்கு மேல் இல்லை |
| சிறுபான்மை கேரியர் வாழ்நாள் நிமிடம் |
300 எம்.சி.எஸ் |
| இரசாயன பண்புகள் | |
| ஆக்ஸிஜனின் உள்ளடக்கம் | 0.2 பிபிஎம்ஏ |
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | 0.2 பிபிஎம்ஏ |
| கட்டமைப்பின் முழுமை | |
| இடப்பெயர்வு உள்ளடக்கம் | இலவசம் |
| தொகுப்பின் குறைபாடு அடர்த்தி | 1*102 1/cm2 க்கு மேல் இல்லை |
| நுண் குறைபாடு அடர்த்தி | 1*104 1/cm2 க்கு மேல் இல்லை |
| சுழல்கிறது | இலவசம் |
| செதில்கள் தயாரிப்பின் சிறப்பியல்பு | |
| பின் பக்கம் | மடிக்கப்பட்ட மற்றும் பொறித்தல் |
| வடிவியல் | |
| விட்டம் | 152,4+1 மிமீ |
| முதன்மை வெட்டு நீட்சி | 30-35 மி.மீ |
| முகத்தின் அகலம் | "முன்னாள்" மீது 0,1-0,25 மிமீ உற்பத்தி |
| தடிமன் | 625 உம் |
| பாலிதிக்னஸ் (TTV) | 5 ஐ விட அதிகமாக இல்லை |
| போர்பக்கம் | 35 க்கு மேல் இல்லை |
| விமானத்தில் மாறுபாடு | 5 ஐ விட அதிகமாக இல்லை |
| வேலை நிலைமையின் மேற்பரப்பு | மெருகூட்டப்பட்டது |
| கீறல்கள் | குறைபாடு |
| மைக்ரோகிராட்ச் (ஆபத்து) | ஒரு செதில்களின் மொத்த நீளம் 0.5 விட்டத்திற்கு மேல் இல்லை |
| மாசுபடுதல் | குறைபாடு |
| மந்தமான | HAZE≤5 ppm |
| ஸ்கேபிங்ஸ் | குறைபாடு |
| ஆரஞ்சு தோல் | குறைபாடு |
| கத்தி குறைபாடு பார்த்தேன் | குறைபாடு |
| வேலை செய்யாத சூழ்நிலையின் மேற்பரப்பு | தரை, பொறிக்கப்பட்ட |
| ஸ்கேபிங்ஸ் பார்டர் | குறைபாடு |
| அத்தகைய "காகத்தின் நகத்தை" உடைக்கவும் | குறைபாடு |
| மாசுபடுதல் | குறைபாடு |
| கத்தி குறைபாடு பார்த்தேன் | குறைபாடு |
| கீறல்கள் | ஒரு செதில்களின் மொத்த நீளம் 0.5 விட்டத்திற்கு மேல் இல்லை |
| சீரான அல்லாத பொறிப்பிலிருந்து புள்ளி | குறைபாடு |
4. ஓரியண்டேஷன் (111) & தடிமன் 625μm உடன் 6 அங்குல FZ+NTD சிலிக்கான் வேஃபர்
| ஓரியண்டேஷன் (111) & தடிமன் 625μm உடன் 6 அங்குல FZ+NTD சிலிக்கான் வேஃபர் | |||
| விளக்கம் | அலகு | மதிப்பு | கட்டுப்பாட்டு முறையின் தரநிலை |
| முறை | FZ+NTD | ||
| வகை | என் | ||
| டோபண்ட் | பி (பாஸ்பரஸ்) | ||
| நோக்குநிலை | — | <111> +/- 1 டிகிரி | ASTM F 26 |
| விட்டம் | மிமீ | 152.4±1 | காலிபர் |
| தடிமன், நிமிடம் | உம் | 625 | — |
| எதிர்ப்பாற்றல் | ஓம்* செ.மீ | 100 | 4-புள்ளி ஆய்வு ASTM F 84 |
| ரேடியல் ரெசிஸ்டிவிட்டி மாறுபாடு, அதிகபட்சம் | % | 8 | ASTM F 81 திட்டம் C |
| சிறுபான்மை கேரியர் வாழ்நாள், நிமிடம் | mcs | 300 | ASTM F1535-94 |
| கார்பன் உள்ளடக்கம், அதிகபட்சம் | பிபிஎம்ஏ | 0.2 | ASTM F 1391-93 |
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம்/ | பிபிஎம்ஏ | 0.2 | ASTM F 1188-93a |
| முன் பக்க | மெருகூட்டப்பட்டது | ||
| பின் பக்கம் | தரை, பொறிக்கப்பட்ட | ||
| சுழல்கிறது | — | யாரும் | F47 |
| இடப்பெயர்வுகள் | — | யாரும் | F47 |
5. 300μm தடிமன் கொண்ட 6 அங்குல FZ+NTD சிலிக்கான் வேஃபர்
| 300μm தடிமன் கொண்ட 6 அங்குல FZ+NTD சிலிக்கான் வேஃபர் | |
| விளக்கம் | தேவைகள் |
| விட்டம் | 150 மிமீ ± 0.5 மிமீ |
| தடிமன் | 300um |
| வளர்ச்சி முறை | FZ+NTD |
| நோக்குநிலை | (100) |
| வகை: என் | என் |
| டோபண்ட் | பி |
| எதிர்ப்பாற்றல் | 85 ஓம்*செமீ ±4% |
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | ஒற்றை பக்கம் மெருகூட்டப்பட்டது |
| குடியிருப்புகள் | 1, SEMI-Std, நீளம் 30-35mm |
| டிடிவி | ≤5um |
| வார்ப் | ≤35um |
| வில் | ≤5um |
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | ≤1.0*10^18cm-3 |
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | ≤5.0*10^16cm-3 |
| இடப்பெயர்வுகள் | எதுவும் |
| நழுவும் | எதுவும் |
| மூடுபனி | எதுவும் |
| கீறல்கள் | எதுவும் |
| எட்ஜ் சிப்ஸ் | எதுவும் |
| டிம்பிள்ஸ் | எதுவும் |
| ஆரஞ்சு தோல் | எதுவும் |
| விரிசல் / முறிவுகள் | எதுவும் |
6. 6 இன்ச் FZ+NTD சிலிக்கான் கிரவுண்ட் இங்காட்
| 6 இன்ச் FZ+NTD சிலிக்கான் கிரவுண்ட் இங்காட் | |||
| அளவுரு | அலகு | மதிப்பு | கட்டுப்பாட்டு முறையின் தரநிலை |
| முறை | FZ+NTD | ||
| வகை | என் | ||
| டோபண்ட் | பி (பாஸ்பரஸ்) | ||
| நோக்குநிலை | — | <111> +/- 1 டிகிரி | ASTM F 26 |
| விட்டம் | மிமீ | 150.0+0.5 | காலிபர் |
| எதிர்ப்பாற்றல் | ஓம்* செ.மீ | 170 | 4-புள்ளி ஆய்வு ASTM F 84 |
| ரேடியல் ரெசிஸ்டிவிட்டி மாறுபாடு, அதிகபட்சம் | % | 8 | ASTM F 81 திட்டம் C |
| சிறுபான்மை கேரியர் வாழ்நாள், நிமிடம் | mcs | 300 | ASTM F1535-94 |
| கார்பன் உள்ளடக்கம், அதிகபட்சம் | பிபிஎம்ஏ | 0.2 | ASTM F 1391-93 |
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | பிபிஎம்ஏ | 22 | ASTM F 1188-93a |
| சுழல்கிறது | — | யாரும் | F47 |
| இடப்பெயர்வுகள் | — | யாரும் | F47 |
7. 4 இன்ச் FZ சிலிக்கான் வேஃபர்
| 4 இன்ச் FZ சிலிக்கான் வேஃபர் | |||
| பொருள் | துப்புகள் | ||
| பொருள் | மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் | ||
| தரம் | முதன்மை தரம் | ||
| வளர்ச்சி முறை | FZ | ||
| விட்டம் | 4″(100±0.4மிமீ) | ||
| கடத்துத்திறன் வகை | உள்ளார்ந்த | N வகை | பி வகை |
| டோபண்ட் | low doped | பாஸ்பரஸ் | பழுப்பம் |
| நோக்குநிலை | <111>±0.5° | [110]±0.5° | (100) ± 1° |
| தடிமன் | 500± 25μm | ||
| எதிர்ப்பாற்றல் | >10,000 செ.மீ | >5,000 செ.மீ | 5,000-10,000Ωcm |
| ஆர்.ஆர்.வி | <40% (ASTM F81 திட்டம் C) | ||
| முதன்மை பிளாட் | SEMI STD குடியிருப்புகள் | ||
| இரண்டாம் நிலை பிளாட் | SEMI STD குடியிருப்புகள் | ||
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | ஒரு பக்க-எபி-ரெடி-பாலீஷ், பின் பக்கம் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது |
||
| விளிம்பு வட்டமானது | செமி தரநிலைக்கு | ||
| துகள் | <20counts @0.3μm | ||
| முரட்டுத்தனம் | <0.5nm | ||
| டிடிவி | <10um | ||
| வில்/வார்ப் | <40um | ||
| TIR | <5µm | ||
| ஆக்ஸிஜன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| கார்பன் உள்ளடக்கம் | <2E16/cm3 | ||
| OISF | <50/செமீ² | ||
| STIR (15x15 மிமீ) | <1.5µm | ||
| MCC வாழ்நாள் | >1,000μs | ||
| மேற்பரப்பு உலோக மாசுபாடு Fe,Zn, Cu,Ni, K,Cr | ≤5E10 அணுக்கள்/செமீ2 | ||
| இடப்பெயர்ச்சி அடர்த்தி | 500 அதிகபட்சம்/ செமீ2 | ||
| சில்லுகள், கீறல்கள், புடைப்புகள், மூடுபனி, தொடு அடையாளங்கள், ஆரஞ்சு தோல், குழிகள், விரிசல்கள், அழுக்கு, மாசு | அனைத்தும் இல்லை | ||
| லேசர் குறி | Along The Flat
முன் பக்கத்தில், லேசர் வரிசைப்படுத்தப்பட்ட விருப்பம்: ஆழமற்ற லேசர் |
||
