SiC வேஃபர்ஸ்

விளக்கம்

SiC அடி மூலக்கூறு வளர்ச்சியைப் பொறுத்தவரை, SiC வேஃபர் அடி மூலக்கூறு என்பது ஒரு தாள் போன்ற ஒற்றைப் படிகப் பொருளாகும், இது ஒரு குறிப்பிட்ட படிகத் திசையில் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தை வெட்டி, தரைமட்டமாக்கி, மெருகூட்டுகிறது. முன்னணி SiC அடி மூலக்கூறு உற்பத்தியாளர்களில் ஒருவராக, தற்போது அடி மூலக்கூறின் தரத்தை தொடர்ந்து மேம்படுத்துவதற்கும் பெரிய அளவிலான வெற்று SiC அடி மூலக்கூறை உருவாக்குவதற்கும் நாங்கள் அர்ப்பணித்துள்ளோம்.

1. சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபரின் விவரக்குறிப்புகள்

1.1 6″ N-Type 4H SiC Nitrogen-Doped Conductive Silicon Carbide Wafer

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-150-N-PWAM-350 S4H-150-N-PWAM-500
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H	4H
விட்டம்	(150 ± 0.5) மிமீ	(150 ± 0.5) மிமீ
தடிமன்	(350 ± 25) μm (500 ± 25) μm
கேரியர் வகை	n-வகை	n-வகை
டோபண்ட்	நைட்ரஜன்	நைட்ரஜன்
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	(0.015 - 0.028)Ω·cm	(0.015 - 0.028)Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤0.5cm-2 B≤2cm-2 C≤15cm-2 D≤50cm-2
டிடிவி	< 15μm	< 15μm
வில்	< 40μm	< 40μm
வார்ப்	< 60μm	< 60μm
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
ஆஃப் அச்சு	4° நோக்கி <11-20>± 0.5°	4° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	<11-20>±5.0°	<11-20>±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	47.50 மிமீ ± 2.00 மிமீ	47.50 மிமீ ± 2.00 மிமீ
இரண்டாம் நிலை பிளாட்	எதுவும்	எதுவும்
மேற்பரப்பு முடித்தல்	இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது	இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
அதிக தீவிரம் பட்டியல் மூலம் விரிசல்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த நீளம்≤20மிமீ, ஒற்றை நீளம்≤2மிமீ (சிடி)
ஹெக்ஸ் தகடுகள் உயர் தீவிர ஒளி மூலம்	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.05%(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.1%(CD)
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் பாலிடைப் பகுதிகள்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%(CD)
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள்	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.05%(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%(CD)
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1 x செதில் விட்டம் (CD)
விளிம்பு சிப்	எதுவுமில்லை(AB)	5 அனுமதிக்கப்படுகிறது, ≤1 மிமீ ஒவ்வொன்றும் (சிடி)
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	எதுவும்	–
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %	–
விளிம்பு விலக்கு	3மிமீ	3மிமீ

1.2 4H SiC, உயர் தூய்மை அரை-இன்சுலேட்டிங் (HPSI), 6″ வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

4H SiC, V டோப் செய்யப்பட்ட அரை-இன்சுலேடிங்

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-150-SI-PWAM-500
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H	4H
விட்டம்	(150 ± 0.5) மிமீ	(150 ± 0.5) மிமீ
தடிமன்	(500 ± 25) μm	(500 ± 25) μm
கேரியர் வகை	அரை காப்பு	அரை காப்பு
டோபண்ட்	வி ஊக்கமருந்து அல்லது நீக்கப்பட்டது	வி ஊக்கமருந்து அல்லது நீக்கப்பட்டது
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	>1E7 Ω·cm	>1E7 Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤1cm-2 B≤5cm-2 C≤30cm-2 D≤50cm-2
டிடிவி	<15μm	<15μm
வில்	< 40μm	< 40μm
வார்ப்	<60μm	<60μm
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	எதுவும்	எதுவும்
விளிம்பு விலக்கு	3மிமீ	3மிமீ

 

1.3 4 அங்குல 4H-SIC அடி மூலக்கூறு, N-வகை

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-100-N-PWAM-350 S4H-100-N-PWAM-500
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H	4H
விட்டம்	(100 ± 0.5) மிமீ	(100 ± 0.5) மிமீ
தடிமன்	(350 ± 25) μm (500 ± 25) μm
கேரியர் வகை	n-வகை	n-வகை
டோபண்ட்	நைட்ரஜன்	நைட்ரஜன்
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	(0.015 - 0.028)Ω·cm	(0.015 - 0.028)Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤0.5cm-2 B≤2cm-2 C≤15cm-2 D≤50cm-2
டிடிவி	<10μm	<10μm
வில்	< 25μm	< 25μm
வார்ப்	<45μm	<45μm
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	4° அல்லது 8° நோக்கி <11-20>± 0.5°	4° அல்லது 8° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	<11-20>±5.0°	<11-20>±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	32.50 மிமீ ± 2.00 மிமீ	32.50 மிமீ ± 2.00 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5°- நோக்குநிலையிலிருந்து
	C-face:90° ccw. தட்டையான ± 5°- நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	18.00 ± 2.00 மிமீ	18.00 ± 2.00 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது	இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
அதிக தீவிரம் பட்டியல் மூலம் விரிசல்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த நீளம்≤10மிமீ, ஒற்றை நீளம்≤2மிமீ (சிடி)
ஹெக்ஸ் தகடுகள் உயர் தீவிர ஒளி மூலம்	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.05%(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.1%(CD)
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் பாலிடைப் பகுதிகள்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%(CD)
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள்	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.05%(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%(CD)
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1 x செதில் விட்டம் (CD)
விளிம்பு சிப்	எதுவுமில்லை(AB)	5 அனுமதிக்கப்படுகிறது, ≤1 மிமீ ஒவ்வொன்றும் (சிடி)
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	எதுவும்	–
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %	–
விளிம்பு விலக்கு	2மிமீ	2மிமீ

1.4 4H SiC, உயர் தூய்மை அரை-இன்சுலேட்டிங் (HPSI), 4″ வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

4H SiC, V டோப் செய்யப்பட்ட அரை-இன்சுலேட்டிங், 4″ வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-100-SI-PWAM-350 S4H-100-SI-PWAM-500
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H	4H
விட்டம்	(100 ± 0.5) மிமீ	(100 ± 0.5) மிமீ
தடிமன்	(350 ± 25) μm (500 ± 25) μm
கேரியர் வகை	அரை காப்பு	அரை காப்பு
டோபண்ட்	வி ஊக்கமருந்து அல்லது நீக்கப்பட்டது	வி ஊக்கமருந்து அல்லது நீக்கப்பட்டது
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	>1E7 Ω·cm	>1E7 Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤1cm-2 B≤5cm-2 C≤30cm-2 D≤50cm-2
டிடிவி	>10μm	>10μm
வில்	>25μm	>25μm
வார்ப்	>45μm	>45μm
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	எதுவும்	எதுவும்
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	<11-20>±5.0°	<11-20>±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	32.50 மிமீ ± 2.00 மிமீ	32.50 மிமீ ± 2.00 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5°- நோக்குநிலையிலிருந்து
	C-face:90° ccw. தட்டையான ± 5°- நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	18.00 ± 2.00 மிமீ	18.00 ± 2.00 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது	இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
அதிக தீவிரம் பட்டியல் மூலம் விரிசல்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த நீளம்≤10மிமீ, ஒற்றை நீளம்≤2மிமீ (சிடி)
ஹெக்ஸ் தகடுகள் உயர் தீவிர ஒளி மூலம்	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.05%(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.1%(CD)
உயர் தீவிர ஒளி மூலம் பாலிடைப் பகுதிகள்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%(CD)
காட்சி கார்பன் சேர்த்தல்கள்	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤0.05%(AB)	ஒட்டுமொத்த பகுதி≤3%(CD)
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	எதுவுமில்லை(AB)	ஒட்டுமொத்த நீளம்≤1 x செதில் விட்டம் (CD)
விளிம்பு சிப்	எதுவுமில்லை(AB)	5 அனுமதிக்கப்படுகிறது, ≤1 மிமீ ஒவ்வொன்றும் (சிடி)
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	எதுவும்	–
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %	–
விளிம்பு விலக்கு	2மிமீ	2மிமீ

1.5 4H N-வகை SiC, 3″ (76.2mm) வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H
விட்டம்	(76.2 ± 0.38) மிமீ
தடிமன்	(350 ± 25) μm (430 ± 25) μm
கேரியர் வகை	n-வகை
டோபண்ட்	நைட்ரஜன்
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	0.015 - 0.028Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤0.5cm-2 B≤2cm-2 C≤15cm-2 D≤50cm-2
TTV/வில் / வார்ப்	<25μm
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	4° அல்லது 8° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	<11-20>±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	22.22 மிமீ ± 3.17 மிமீ
	0.875″±0.125″
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
	C-face:90° ccw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	11.00 ± 1.70 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	ஒற்றை அல்லது இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
கீறல்	எதுவும்
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %
விளிம்பு விலக்கு	2மிமீ
டிஃப்யூஸ் லைட்டிங் மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் (அதிகபட்சம்)	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் விரிசல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
விஷுவல் கார்பன் சேர்க்கைகள் ஒட்டுமொத்த பகுதி	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்

 

1.6 4H அரை-இன்சுலேட்டிங் SiC, 3″ (76.2mm) வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

(உயர் தூய்மை அரை-இன்சுலேடிங் (HPSI) SiC அடி மூலக்கூறு உள்ளது)

UBSTRATE சொத்து	S4H-76-N-PWAM-330 S4H-76-N-PWAM-430
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H
விட்டம்	(76.2 ± 0.38) மிமீ
தடிமன்	(350 ± 25) μm (430 ± 25) μm
கேரியர் வகை	அரை காப்பு
டோபண்ட்	வி ஊக்கமருந்து அல்லது நீக்கப்பட்டது
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	>1E7 Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤1cm-2 B≤5cm-2 C≤30cm-2 D≤50cm-2
TTV/வில் / வார்ப்	>25μm
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	4° அல்லது 8° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	<11-20>±5.0°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	22.22 மிமீ ± 3.17 மிமீ
	0.875″±0.125″
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
	C-face:90° ccw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	11.00 ± 1.70 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	ஒற்றை அல்லது இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
கீறல்	எதுவும்
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %
விளிம்பு விலக்கு	2மிமீ
டிஃப்யூஸ் லைட்டிங் மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் (அதிகபட்சம்)	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் விரிசல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
விஷுவல் கார்பன் சேர்க்கைகள் ஒட்டுமொத்த பகுதி	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்

 

1.7 4H N-வகை SiC, 2″ (50.8mm) வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-51-N-PWAM-330 S4H-51-N-PWAM-430
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H
விட்டம்	(50.8 ± 0.38) மிமீ
தடிமன்	(250 ± 25) μm (330 ± 25) μm (430 ± 25) μm
கேரியர் வகை	n-வகை
டோபண்ட்	நைட்ரஜன்
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	0.012 - 0.0028 Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤0.5cm-2 B≤2cm-2 C≤15cm-2 D≤50cm-2
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	4° அல்லது 8° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	இணை {1-100} ± 5°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	16.00 ± 1.70 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
	C-face:90° ccw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	8.00 ± 1.70 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	ஒற்றை அல்லது இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %
விளிம்பு விலக்கு	1 மி.மீ
டிஃப்யூஸ் லைட்டிங் மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் (அதிகபட்சம்)	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் விரிசல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
விஷுவல் கார்பன் சேர்க்கைகள் ஒட்டுமொத்த பகுதி	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்

 

1.8 4H அரை-இன்சுலேட்டிங் SiC, 2″ (50.8mm) வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

(உயர்-தூய்மை அரை-இன்சுலேட்டிங் (HPSI) SiC அடி மூலக்கூறு உள்ளது)

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S4H-51-SI-PWAM-250 S4H-51-SI-PWAM-330 S4H-51-SI-PWAM-430
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தர C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 4H SEMI அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	4H
விட்டம்	(50.8 ± 0.38) மிமீ
தடிமன்	(250 ± 25) μm (330 ± 25) μm (430 ± 25) μm
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	>1E7 Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec B/C/D <50 arcsec
நுண்குழாய் அடர்த்தி	A≤1cm-2 B≤5cm-2 C≤30cm-2 D≤50cm-2
மேற்பரப்பு நோக்குநிலை
அச்சில்	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	3.5° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	இணை {1-100} ± 5°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	16.00 ± 1.70 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
	சி-முகம்: 90° ccw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	8.00 ± 1.70 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	ஒற்றை அல்லது இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %
விளிம்பு விலக்கு	1 மி.மீ
டிஃப்யூஸ் லைட்டிங் மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் (அதிகபட்சம்)	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் விரிசல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
விஷுவல் கார்பன் சேர்க்கைகள் ஒட்டுமொத்த பகுதி	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்

 

1.9 6H N-வகை SiC, 2″ (50.8mm) வேஃபர் விவரக்குறிப்பு

அடி மூலக்கூறு சொத்து	S6H-51-N-PWAM-250 S6H-51-N-PWAM-330 S6H-51-N-PWAM-430
விளக்கம்	A/B உற்பத்தி தரம் C/D ஆராய்ச்சி தரம் D போலி தரம் 6H SiC அடி மூலக்கூறு
பாலிடைப்	6H
விட்டம்	(50.8 ± 0.38) மிமீ
தடிமன்	(250 ± 25) μm (330 ± 25) μm (430 ± 25) μm
கேரியர் வகை	n-வகை
டோபண்ட்	நைட்ரஜன்
எதிர்ப்பாற்றல் (RT)	0.02 ~ 0.1 Ω·cm
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை	<0.5 nm (Si-face CMP எபி-ரெடி); <1 nm (C- face Optical polish)
FWHM	A<30 arcsec &n 1 மிமீ
டிஃப்யூஸ் லைட்டிங் மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் (அதிகபட்சம்)	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் விரிசல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
விஷுவல் கார்பன் சேர்க்கைகள் ஒட்டுமொத்த பகுதி	<0001>± 0.5°
ஆஃப் அச்சு	3.5° நோக்கி <11-20>± 0.5°
முதன்மை தட்டையான நோக்குநிலை	இணை {1-100} ± 5°
முதன்மை தட்டையான நீளம்	16.00 ± 1.70 மிமீ
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நோக்குநிலை	Si-Face:90° cw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
	C-face:90° ccw. தட்டையான ± 5° நோக்குநிலையிலிருந்து
இரண்டாம் நிலை தட்டையான நீளம்	8.00 ± 1.70 மிமீ
மேற்பரப்பு முடித்தல்	ஒற்றை அல்லது இரட்டை முகம் மெருகூட்டப்பட்டது
பேக்கேஜிங்	ஒற்றை செதில் பெட்டி அல்லது பல செதில் பெட்டி
பயன்படுத்தக்கூடிய பகுதி	≥ 90 %
விளிம்பு விலக்கு	1 மி.மீ
டிஃப்யூஸ் லைட்டிங் மூலம் எட்ஜ் சிப்ஸ் (அதிகபட்சம்)	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் விரிசல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
விஷுவல் கார்பன் சேர்க்கைகள் ஒட்டுமொத்த பகுதி	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிரம் கொண்ட ஒளியால் கீறல்கள்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்
அதிக தீவிர ஒளியால் மாசுபடுதல்	தயவுசெய்து எங்கள் பொறியாளர் குழுவை அணுகவும்

 

1.10 SiC விதை படிக வேஃபர்

பொருள்	அளவு	வகை	நோக்குநிலை	தடிமன்	MPD	மெருகூட்டல் நிலை
எண்.1	105 மிமீ	4H, N வகை	C(0001)4deg.off	500+/-50um	<=1/செமீ-2	-
எண்.2	105 மிமீ	4H, N வகை	C(0001)4deg.off	500+/-50um	<=1/செமீ-2	-

 

1.11 4H N-வகை அல்லது அரை-இன்சுலேடிங் SiC வேஃபர் விவரக்குறிப்புகள்

அளவு: 5mm*5mm, 10mm*10mm, 15mm*15mm, 20mm*20mm;

தடிமன்: 330μm/430μm.

1.12 ஒரு விமானம் SiC வேஃபர் விவரக்குறிப்புகள்

அளவு: 40mm*10mm, 30mm*10mm, 20mm*10mm, 10mm*10mm;

6H/4H N வகை தடிமன்: 330μm/430μm அல்லது தனிப்பயன்;

6H/4H அரை-இன்சுலேடிங் தடிமன்: 330μm/430μm அல்லது தனிப்பயன்.

2. சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் பண்புகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு பொருள் பண்புகள்
பாலிடைப்	ஒற்றை கிரிஸ்டல் 4H	ஒற்றை கிரிஸ்டல் 6H
லட்டு அளவுருக்கள்	a=3.076 Å	a=3.073 Å
	c=10.053 Å	c=15.117 Å
ஸ்டாக்கிங் வரிசை	ஏபிசிபி	ஏபிசிஏசிபி
பட்டை இடைவெளியை	3.26 eV	3.03 eV
அடர்த்தி	3.21 · 103 கிலோ/மீ3	3.21 · 103 கிலோ/மீ3
தெர்ம். விரிவாக்க குணகம்	4-5×10-6/கே	4-5×10-6/கே
ஒளிவிலகல் குறியீடு	எண் = 2.719	எண் = 2.707
	ne = 2.777	ne = 2.755
மின்கடத்தா மாறிலி	9.6	9.66
வெப்ப கடத்தி	490 W/mK	490 W/mK
உடைந்த மின் துறை	2-4 · 108 V/m	2-4 · 108 V/m
செறிவு சறுக்கல் வேகம்	2.0 · 105 மீ/வி	2.0 · 105 மீ/வி
எலக்ட்ரான் மொபிலிட்டி	800 செமீ2/வி·எஸ்	400 செமீ2/வி·எஸ்
துளை இயக்கம்	115 செமீ2/வி·எஸ்	90 செமீ2/வி·எஸ்
மோஸ் கடினத்தன்மை	~9	~9

 

3. SiC வேஃபரின் கேள்வி பதில்

3.1 SiC வேஃபர் சிலிக்கான் வேஃபரைப் போலவே பரந்த பயன்பாடாக மாறுவதற்கான தடை என்ன?

உடல் மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையின் காரணமாக, SiC படிக வளர்ச்சி மிகவும் கடினமாக உள்ளது. எனவே, குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் எலக்ட்ரானிக் பயன்பாடுகளில் SiC செதில் அடி மூலக்கூறின் வளர்ச்சியை இது தீவிரமாகத் தடுக்கிறது.

பல படிக வகை சிலிக்கான் கார்பைடு பல்வேறு அடுக்கி வைக்கும் வரிசைகளாக உள்ளன, இது பாலிமார்பிசம் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. சிலிக்கான் கார்பைட்டின் பாலிமார்ப்களில் 4H-SiC, 6H-SiC, 3C-SiC மற்றும் பல உள்ளன. எனவே, எலக்ட்ரானிக் கிரேடு சிலிக்கான் கார்பைடு படிகத்தை வளர்ப்பது கடினம்.

3.2 நீங்கள் என்ன வகையான SiC வேஃபரை வழங்குகிறீர்கள்?

உங்களுக்குத் தேவையான சிலிக்கான் கார்பைடு செதில் கன கட்டத்தைச் சேர்ந்தது. கன (C), அறுகோண (H) மற்றும் rhombic (R) உள்ளன. நம்மிடம் இருப்பது 4H-SiC மற்றும் 6H-SiC போன்ற அறுகோணங்கள். C என்பது 3C சிலிக்கான் கார்பைடு போன்று கனசதுரமானது.