Wafergjuteritjänster
Semiconductor foundry service according to customer demand designs and manufactures wafer from small quantity into production. Wafer foundry services of Ganwafer are offered for micro-electrical mechanical systems (MEMS), power electronics, sensors, microprocessors and etc. Our semiconductor foundry business is all over the world for electronic equipment manufacturers, research institutions, universities and so on. Semiconductor foundry process of Ganwafer includes chemical mechanical polishing (CMP), physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), screen printing, dry etching, wet etching, photolithography, wafer-scale packaging, and other processes.
- Beskrivning
- Förfrågan
Beskrivning
Halvledargjuteriprocessen är processen från rå wafer till halvledarchip. Traditionella wafergjuteritjänster avser bearbetningsstegen för transistorer, motstånd och andra elektroniska komponenter, som tillverkas på wafers.
1. Halvledargjuteritjänster
Vårt halvledargjuteri erbjuder fullservice för dig:
– MEMS tvådimensionell materialintegrationstjänst;
– Polyimidprocess;
– Etsningsprocess för rån;
– Beläggningsprocess;
– Fotolitografiprocess;
– Wafer Bonding, etc.
2. Halvledargjuterikapacitet
| Process namn | Waferstorlek (tum) | Förmåga |
| Stepper fotolitografi | 6 | 0,40um |
| Kontaktade Photolithography | 2,4 | 3um |
| Torr etsning | 6 | Djup 100um(Si), metall, GaN |
| Våt bänk | 6,8 | Metall, SiO2, SiN, TEOS, poly-kisel |
| PECVD | 6 | SiN SiO2.TEOS |
| LPCVD | 6 | SiN, SiO2.poly-kisel |
| ALD | 6 | Al2O3, AIN |
| Fräsa | 6 | Ti, Al, TiN, Ni, W, TiW, WN |
| E-balk | 4,6,8 | Ti, Ni, Ag, Al, Ta,Cr, Pt, Mo, Co |
| Implantation | 6 | B(20- 200KeV,1E13-1E15), N |
| RTP | 6 | 900C max. |
| Ugn | 6 | 400C max. |
Dessutom, som ett av halvledargjuteriföretagen, tillhandahåller vi tillverkningstjänster med ettsteg och flera steg för halvledarenheter av MEMS, GaAs och etc. Vi besitter avancerad mikro-nano-designteknik som når global nivå. Också nästan alla typer av wafers från halvledargjuterier kan möta kundernas krav på tillverkningsenheter i olika applikationer.
