Wafer Støberi Services
Semiconductor foundry service according to customer demand designs and manufactures wafer from small quantity into production. Wafer foundry services of Ganwafer are offered for micro-electrical mechanical systems (MEMS), power electronics, sensors, microprocessors and etc. Our semiconductor foundry business is all over the world for electronic equipment manufacturers, research institutions, universities and so on. Semiconductor foundry process of Ganwafer includes chemical mechanical polishing (CMP), physical vapor deposition (PVD), chemical vapor deposition (CVD), screen printing, dry etching, wet etching, photolithography, wafer-scale packaging, and other processes.
- Beskrivelse
- Forespørgsel
Beskrivelse
Halvlederstøbeproces er processen fra rå wafer til halvlederchip. Traditionelle waferstøberitjenester henviser til behandlingstrinnene for transistorer, modstande og andre elektroniske komponenter, som er fremstillet på wafers.
1. Semiconductor Foundry Services
Vores halvlederstøberi tilbyder fuld service til dig:
– MEMS todimensionel materialeintegrationstjeneste;
– Polyimidproces;
– Waferætsningsproces;
– Belægningsproces;
– Fotolitografiproces;
– Wafer Bonding mv.
2. Halvlederstøberikapacitet
Procesnavn | Wafer størrelse (tomme) | Evne |
Stepper fotolitografi | 6 | 0,40um |
Kontaktede fotolitografi | 2,4 | 3um |
Tør ætsning | 6 | Dybde 100um(Si), metal, GaN |
Våd bænk | 6,8 | Metal, SiO2, SiN, TEOS, poly-silicium |
PECVD | 6 | SiN SiO2.TEOS |
LPCVD | 6 | SiN, SiO2.poly-silicium |
ALD | 6 | Al2O3, AIN |
Sputter | 6 | Ti, Al, TiN, Ni, W, TiW, WN |
E-stråle | 4,6,8 | Ti, Ni, Ag, Al, Ta,Cr, Pt, Mo, Co |
Implantation | 6 | B(20- 200KeV,1E13-1E15), N |
RTP | 6 | 900C maks. |
Ovn | 6 | 400C maks. |
Derudover leverer vi som en af halvlederstøberivirksomheder fremstillingstjenester med enkelttrin og flere trin til halvlederenheder af MEMS, GaAs og etc. Vi besidder avanceret mikro-nano designteknologi, der når globalt niveau. Også næsten alle slags wafers fra halvlederstøberier kan imødekomme kundernes krav til fremstillingsudstyr til forskellige applikationer.