SiC எபிடாக்சியல் வேஃபரின் முக்கிய அளவுருக்கள் என்ன?

SiC எபிடாக்சியல் வேஃபரின் முக்கிய அளவுருக்கள் என்ன?

நாம் பேசும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் அளவுருக்கள் உண்மையில் சாதனத்தின் வடிவமைப்பைப் பொறுத்தது. எடுத்துக்காட்டாக, சாதனத்தின் மின்னழுத்த தரத்தைப் பொறுத்து, SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் அளவுருக்கள் வேறுபட்டவை.

1. SiC Epitaxy முக்கிய அளவுருக்கள்

பொதுவாக, 600 வோல்ட் குறைந்த அழுத்தம், தடிமன்சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸிசுமார் 6 μm இருக்கலாம், மற்றும் 1200~1700 நடுத்தர அழுத்தத்தில், தேவைப்படும் தடிமன் 10~15 μm ஆகும். 10,000 வோல்ட்டுக்கு மேல் உள்ள உயர் மின்னழுத்தங்களுக்கு, 100 μm அல்லது அதற்கும் அதிகமாக தேவைப்படலாம். எனவே, மின்னழுத்த திறன் அதிகரிப்புடன், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தடிமன் அதற்கேற்ப அதிகரிக்கிறது. எனவே, உயர்தர எபிடாக்சியல் செதில் தயாரிப்பு மிகவும் கடினம், குறிப்பாக உயர் மின்னழுத்த துறையில். மிக முக்கியமான விஷயம் குறைபாடு கட்டுப்பாடு, இது உண்மையில் ஒரு பெரிய சவாலாகும்.

2. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் குறைபாடுகள்

சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் குறைபாடுகள் பொதுவாக ஆபத்தான குறைபாடுகள் மற்றும் மரணமற்ற குறைபாடுகள் என பிரிக்கப்படுகின்றன:

முக்கோண குறைபாடுகள் மற்றும் சொட்டுகள் போன்ற அபாயகரமான குறைபாடுகள், டையோட்கள், MOSFET, இருமுனை சாதனங்கள் உட்பட அனைத்து சாதன வகைகளையும் பாதிக்கின்றன. சாதனங்களில் மிகப்பெரிய தாக்கம் முறிவு மின்னழுத்தம் ஆகும், இது முறிவு மின்னழுத்தத்தை 20% குறைக்கலாம் அல்லது 90% ஆகக் குறைக்கலாம்.

சில TSDகள் மற்றும் TDகள் போன்ற ஆபத்தான குறைபாடுகள், டையோடில் எந்த விளைவையும் ஏற்படுத்தாது, ஆனால் MOS, இருமுனை சாதனங்கள் அல்லது சில கசிவு விளைவுகளில் ஆயுட்கால விளைவைக் கொண்டிருக்கலாம், இது இறுதியில் சாதனத்தின் தகுதியான செயலாக்க விகிதத்தை பாதிக்கும்.

SiC எபிடாக்சியின் குறைபாட்டைக் கட்டுப்படுத்த, சிலிக்கான் கார்பைடு அடி மூலக்கூறுப் பொருளைக் கவனமாகத் தேர்ந்தெடுப்பது முதல் முறையாகும்; மற்றொன்று உபகரணங்கள் தேர்வு மற்றும் உள்ளூர்மயமாக்கல், மூன்றாவது செயல்முறை தொழில்நுட்பம்.

3. சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பத்தில் முன்னேற்றம்

குறைந்த மற்றும் நடுத்தர அழுத்தத் துறையில், SiC எபிடாக்ஸியின் மைய அளவுரு தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு ஒப்பீட்டளவில் சிறந்த மட்டத்தில் அடைய முடியும்.

இருப்பினும், உயர் அழுத்தத் துறையில், கடக்க இன்னும் பல சிரமங்கள் உள்ளன. முக்கிய அளவுரு குறியீட்டில் தடிமன், ஊக்கமருந்து செறிவின் சீரான தன்மை, முக்கோண குறைபாடுகள் மற்றும் பல.

நடுத்தர மற்றும் குறைந்த மின்னழுத்த பயன்பாடுகள் துறையில், சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பம் ஒப்பீட்டளவில் முதிர்ச்சியடைந்தது, மேலும் அடிப்படையில் குறைந்த நடுத்தர மின்னழுத்த SBD, JBS, MOS மற்றும் பிற சாதனங்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும். 10μm எபிடாக்சியல் வேஃபரின் 1200-வோல்ட் சாதனப் பயன்பாட்டுக்கு மேலே, அதன் தடிமன் மற்றும் ஊக்கமருந்து செறிவு மிகச் சிறந்த நிலையை எட்டியுள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பு குறைபாடு மிகவும் நன்றாக உள்ளது, கீழே 0.5 சதுர மீட்டரை எட்டும்.

உயர் மின்னழுத்தத் துறையில் எபிடாக்சியல் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி ஒப்பீட்டளவில் பின்தங்கியுள்ளது. எடுத்துக்காட்டாக, 200 வோல்ட் சாதனத்தில் 200 μm சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சியல் பொருளின் சீரான தன்மை, தடிமன் மற்றும் செறிவு ஆகியவை மேலே குறிப்பிட்டுள்ள குறைந்த அழுத்தத்துடன் ஒப்பிடும்போது, ​​குறிப்பாக ஊக்கமருந்து செறிவு சீரான தன்மையுடன் ஒப்பிடும்போது முற்றிலும் வேறுபட்டது.

அதே நேரத்தில், உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களுக்கு தடிமனான படம் தேவை. இருப்பினும், இன்னும் பல குறைபாடுகள் உள்ளன, குறிப்பாக முக்கோண குறைபாடுகள்SiC எபிடாக்சியல் செதில்கள், இது முக்கியமாக உயர் மின்னோட்ட சாதனங்களை தயாரிப்பதை பாதிக்கிறது. அதிக நீரோட்டங்களுக்கு ஒரு பெரிய சிப் பகுதி தேவைப்படுகிறது, மேலும் ஆயுட்காலம் தற்போது ஒப்பீட்டளவில் குறைவாக உள்ளது.

உயர் மின்னழுத்தத்தைப் பொறுத்தவரை, சாதனத்தின் வகை இருமுனை சாதனங்களைச் சார்ந்தது, சிறுபான்மை கேரியருக்கான வாழ்க்கைத் தேவைகள் ஒப்பீட்டளவில் அதிகம். ஒரு சிறந்த முன்னோக்கி மின்னோட்டத்தை அடைய, சிறுபான்மை கேரியர் ஆயுட்காலம் குறைந்தபட்சம் 5μs ஐ விட அதிகமாக இருக்க வேண்டும், அதே நேரத்தில் SiC எபிடாக்சியல் வேஃபரின் தற்போதைய சிறுபான்மை கேரியர் ஆயுட்காலம் சுமார் 1 முதல் 2μs ஆகும். இதன் மூலம், உயர் மின்னழுத்த சாதனங்களுக்கான தேவை இன்னும் பூர்த்தி செய்யப்படவில்லை, மேலும் சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபரின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பிந்தைய செயலாக்க தொழில்நுட்பம் இன்னும் தேவைப்படுகிறது.

மேலும் தகவலுக்கு, தயவுசெய்து எங்களை மின்னஞ்சல் முகவரியில் தொடர்பு கொள்ளவும்sales@ganwafer.comமற்றும்tech@ganwafer.com.

இந்த பதவியை பகிர்ந்து