Wafel krzemowy Epi
Wafel krzemowy (Si) epi odnosi się do epitaksjalnego narastania jednej lub więcej warstw na wypolerowanym podłożu wafla za pomocą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) lub innych metod epitaksjalnych. Rodzaj domieszkowania, rezystywność, grubość, struktura sieciowa itp. krzemowej płytki epitaksjalnej spełniają wymagania określonych urządzeń. Wzrost epitaksji krzemu służy do zmniejszania defektów spowodowanych przez wzrost pojedynczego kryształu płytki krzemowej, dzięki czemu płytka epi krzemu ma niższą gęstość defektów i zawartość tlenu, a następnie jest wykorzystywana do produkcji różnych półprzewodnikowych urządzeń dyskretnych i produktów układów scalonych.
Ganwafer offer Silicon Epitaxial Wafer as follows:
Średnice: 100mm, 125mm, 150mm, 200mm i 300mm*;
Orientacja wafla: <100>, <111>, <110>;
Grubość EPI: 1 µm do 150 µm.
Świadczymy również usługi personalizacji epitaksjalnej.
- Opis
- Zapytanie
Opis
Główne parametry techniczne epitaksjalnej folii krzemowej obejmują typ przewodnictwa, rezystywność i jednorodność, grubość i jednorodność, grubość warstwy przejściowej, zakopane zniekształcenie epitaksjalnego wzoru i dryf wzoru, płaskość powierzchni, gęstość dyslokacji, linie poślizgu powierzchni, mgłę powierzchniową, wady układania i wgłębienia, itp. Wśród nich grubość i oporność wafla Si epi są dwoma ważnymi elementami kontroli po wzroście epitaksjalnym krzemu.
1. Specyfikacja wafla krzemowego Epi o średnicy 6 cali (150 mm)
| Artykuł | Specyfikacja | |
| podłoże | Nr specyfikacji podrzędnej | |
| Metoda wzrostu wlewków | CZ | |
| Rodzaj przewodnictwa | N. | |
| domieszka | Jak | |
| Orientacja | (100) ± 0,5 ° | |
| Oporność | ≤0,005Ohm.cm | |
| RRG | ≤15% | |
| [Oi] Treść | 8~18 ppm | |
| Średnica | 150±0,2 mm | |
| Podstawowym płaskim Długość | 55~60mm | |
| Podstawowym Płaski Lokalizacja | {110}±1° | |
| Po drugie płaska długość | pół | |
| Po drugie płaska lokalizacja | pół | |
| Grubość | 625±15 um | |
| Cechy tyłu: | ||
| 1. BSD/Poly-Si(A) | 1. BSD | |
| 2. SIO2 | 2. LTO: 5000 ± 500 A | |
| 3. Wykluczenie krawędzi | 3. EE: 0,6 mm | |
| Znakowanie laserowe | ŻADEN | |
| Powierzchnia przednia | Polerowane lustro | |
| Epi | Struktura | N/N+ |
| domieszka | Phos | |
| Grubość | 3±0,2 um | |
| Dzięk.Jednolitość | ≤5 % | |
| Pozycja pomiaru | Środek (1 pkt) 10 mm od krawędzi (4 pkt przy 90 stopniach) | |
| Obliczenie | [Tmax-Tmin]÷[[Tmax+Tmin]X100% | |
| Oporność | 2,5 ± 0,2 Ohm. cm | |
| Res.Uniformity | ≤5 % | |
| Pozycja pomiaru | Środek (1 pkt) 10 mm od krawędzi (4 pkt przy 90 stopniach) | |
| Obliczenie | [Rmax-Rmin]÷[[Rmax+Rmin]X100% | |
| Błąd stosu Gęstość | ≤2 (szt./cm2) | |
| Mgła | ŻADEN | |
| Zadrapania | ŻADEN | |
| Kratery, skórka pomarańczowa | ŻADEN | |
| Korona krawędzi | ≤1/3 grubości Epi | |
| Poślizg (mm) | Całkowita długość ≤ 1 Dia | |
| Obca sprawa | ŻADEN | |
| Zanieczyszczenie tylnej powierzchni | ŻADEN | |
| Całkowite wady punktowe (cząstka) | ≤30 @ 0,3um |
2. Zastosowanie procesu krzemu Epi
Wafle krzemowe epi są z powodzeniem wykorzystywane w produkcji tranzystorów wysokiej częstotliwości i dużej mocy, a zastosowania epitaksji krzemowej stają się coraz szersze. W urządzeniu bipolarnym, czy to w produkcji tranzystorów, lamp mocy, liniowych układów scalonych i cyfrowych układów scalonych, wszystko to nie może obejść się bez krzemowych płytek epitaksjalnych. W przypadku urządzeń MOS, płytki epitaksjalne Si są szeroko stosowane ze względu na rozwiązanie efektu zatrzasku w obwodach CMOS. Obecnie obwody BiCMOS są również produkowane przy użyciu płytki epitaksyjnej Si. Niektóre urządzenia ze sprzężeniem ładunkowym (CCD) zostały wyprodukowane na epitaksjalnych waflach krzemowych.
3. Jak poprawić spójność epitaksjalnych parametrów technicznych wafla krzemowego Epi?
Podstawowym problemem towarzyszącym masowej produkcji jest stabilność, spójność i jednorodność kontroli parametrów produktu. Tylko poprzez poprawę konsystencji wafli krzemowych w każdej partii można poprawić jakość i wydajność wafli epitaksjalnych. Producenci płytek epitaksjalnych, w tym my, optymalizują temperaturę reakcji warstwy epitaksjalnej, natężenie przepływu gazu epitaksjalnego, gradient temperatury w środku i na krawędzi w procesie płytek epitaksjalnych, epitaksjalny wafel krzemowy uzyskuje się z wysoką jakością.
Na przykład, zgodnie z charakterystyką krzemowego epitaksjalnego pola przepływu gazu i mechanizmu reakcji CVD, w warstwie retencyjnej zachodzi epitaksjalny wzrost Si (wymiana substancji przez dyfuzję). Im wyższe położenie interfejsu reakcji w warstwie retencyjnej, tym większa szybkość dyfuzji, tym wyższa odpowiednia szybkość wzrostu i większa grubość w tym samym czasie procesu. Dlatego też, regulując rozkład wysokości płytki krzemowej w polu przepływu powietrza, można uzyskać szybkość wzrostu epitaksjalnego na różnych płytkach krzemowych, można uzyskać regulację grubości epitaksjalnej i można uzyskać dobrą spójność grubości.
