Struktur InAs / GaSb Type II Superlattice (T2SL).

Sb based Type II Superlattice wafer

Struktur InAs / GaSb Type II Superlattice (T2SL).

Ganwafer can offer wafer epitaxial GaSbdengan struktur superlattice (T2SL) jenis II. T2SL ialah bahan berasaskan kumpulan III-V 6.1Å Sb yang terdiri daripada InAs (6.0583 Å), GaSb (6.09593 Å) dan AlSb (6.1355 Å) yang pemalar kekisinya berdekatan antara satu sama lain dan sebatiannya disusun secara berkala mengikut sesuatu tertentu. ketebalan lapisan, komposisi dan susunan. Disebabkan oleh ketidakpadanan kekisi kecil di antara mereka, sebatian binari atau ternari kompleks boleh ditanam. Jurang tenaga bahan berasaskan Sb dan sebatian berkaitan adalah antara 0.41eV (InAs) hingga 1.70eV (AlSb). Butiran lanjut struktur superlattice lapisan tegang berasaskan GaSb jenis 2 sila lihat seperti berikut:

1. Struktur InAs / GaSb T2SL

GANW200622-T2SL

Pertumbuhan struktur T2SL
Butiran Lapisan Bahan Lapisan Ketebalan / Bilangan Monolayers (ML) Jenis Doping / Kepekatan Doping Bilangan Period
Lapisan 1: Lapisan penampan GASB 800nm p+-type / Be: 1 x1018 cm-3 Lapisan Tunggal
Lapisan Kedua: 0.5µm tebal jenis n+, kawasan Penghalang M InAs - Un-didopkan ~111tempoh
GASB - -
Lapisan Ketiga: 2.2µm tebal didop jenis p sedikit (Suhu pendopan: 760°C), rantau π InAs - - ~330tempoh
GASB - -
INSB - -
Lapisan Ke-4: 0.5µm tebal 0.5µm didopkan sedikit jenis n didop, rantau M InAs - - ~54tempoh
GASB - -
AlSb - -
GASB 5ML -
Lapisan ke-5: 0.5µm tebal jenis n+, kawasan Penghalang M InAs - - ~54tempoh
GASB - Un-didopkan
AlSb - -
GASB - -
Lapisan ke-6: Tutup & Lapisan kenalan atas InAs - n+-jenis / – Lapisan Tunggal

 

substrat:3 inci GaSb (001) Substrat (jenis-n didop / Te: E16)

2. Mengenai InAs/GaSb Type II Superlattice

Bahan InAs / GaSb T2SL, yang mempunyai struktur jalur jenis II, dibentuk dengan menyusun filem nipis InAs dan filem nipis GaSb mengikut tempoh susunan yang berbeza. Pada antara muka antara lapisan InAs dan GaSb, bahagian atas jalur pengaliran lapisan InAs adalah kira-kira 150 meV lebih rendah daripada bahagian bawah jalur valens lapisan GaSb, dengan itu membentuk struktur heterojunction jenis-II. Lebar jalur terlarang bahan T2SL dibentuk oleh jurang jalur antara bahagian bawah jalur mikro elektron (C1) dan bahagian atas jalur mikro lubang berat pertama (HH1) di zon Brillouin. Bergantung pada ketebalan dan susunan filem, secara teorinya, lebar jalur terlarang jenis 2 superlattice boleh dilaraskan secara berterusan antara 0 dan 400 meV, seperti ditunjukkan dalam Rajah di bawah:

Energy Band Structure of InAs / GaSb Superlattice

Struktur Jalur Tenaga InAs / GaSb Superlattice

3. Aplikasi Teknologi Superlattice Jenis II

Superlattice lapisan bertekanan berasaskan Sb (SLS), terutamanya bahan superlattice (T2SL) jenis II, mempunyai pelbagai aplikasi dalam pengesan, laser dan modulator, terutamanya dalam bidang pengesanan inframerah. Oleh kerana potensi dan kelebihan yang besar, secara amnya dipercayai bahawa bahan T2SL boleh menggantikan bahan HgCdTe (MCT) arus perdana semasa. Bahan superlattice InAs / GaSb jenis II yang berkualiti tinggi telah ditanam oleh teknologi epitaksi rasuk molekul (MBE), dan pengesan inframerah superlattice jenis II berprestasi tinggi yang meliputi keseluruhan jalur inframerah telah berjaya dibangunkan.

T2SL Infrared Detector Covering All Band Infrared Frequency

Pengesan Inframerah T2SL Meliputi Semua Frekuensi Inframerah Jalur

4. Kelebihan InAs / GaSb T2SL

Jalur valens GaSb lebih tinggi daripada jalur pengaliran bahan InAs. Akibatnya, lapisan InAs dan GaSb yang dipisahkan dalam ruang nyata membentuk telaga potensi jalur konduksi dan potensi jalur valens, masing-masing. Elektron dan lubang terkurung dalam lapisan InAs dan GaSb, masing-masing. Sebaliknya, jisim elektron yang berkesan adalah ringan, dan fungsi gelombang elektron melalui pertindihan lapisan penghalang untuk membentuk struktur jalur mikro. Peralihan pembawa yang disebabkan oleh tindakan sinaran inframerah luaran tergolong dalam peralihan antara jalur. Struktur jalur khas ini membolehkan bahan superlattice semikonduktor jenis II mempunyai kelebihan berikut:

1) Peralihan antara jalur boleh menyerap kejadian biasa dan mempunyai kecekapan kuantum yang tinggi;

2) Dengan melaraskan terikan dan struktur jalur tenaganya, pemisahan lubang berat dan ringan adalah besar, penggabungan semula Auger dan arus gelap yang berkaitan dikurangkan, dan suhu operasi tatasusunan satah fokus superlattice jenis-ii meningkat;

3) Jisim berkesan elektron adalah besar, iaitu tiga kali ganda daripada HgCdTe (untuk T2SL, jisim elektron ialah me≈0.03 m0; untuk HgCdTe, jisim elektron ialah me≈0.01 m0). Arus terowong adalah kecil, dan kadar pengesanan yang tinggi boleh diperolehi, terutamanya dalam gelombang ultra-panjang;

4) Jurang jalur boleh laras, panjang gelombang tindak balas boleh laras dari gelombang pendek hingga 30 um, boleh menyediakan peranti gelombang pendek, gelombang sederhana, gelombang panjang, gelombang ultra panjang, dua warna dan pelbagai warna;

5) Berdasarkan teknologi pertumbuhan Bahan III-V, keseragaman bahan kawasan besar adalah baik, dan kosnya rendah. Menggunakan MBE untuk pertumbuhan superlattice lapisan tegang jenis-2 mempunyai kebebasan reka bentuk yang tinggi, kawalan doping yang mudah, tiada turun naik aloi dan kecacatan kelompok, dan keseragaman pengesan satah fokus yang baik.

Untuk maklumat lebih lanjut, sila hubungi kami melalui e-mel di sales@ganwafer.com dan tech@ganwafer.com.

Kongsi catatan ini