Substrat GaN Berdiri Bebas Muka
Kami menawarkan Substrat GaN Berdiri Bebas satah termasuk yang terdop Si, tidak didop dan separa penebat. Untuk Freestanding GaN, kami mempunyai sejarah untuk mengawal kecacatan makro. Sebelum tahun 2000, kami telah berdedikasi penyelidikan bahan GaN. Pada tahun 2007, kami menawarkan FS GaN pada kuantiti yang kecil. Pada tahun 2009, kami menawarkan substrat FS GaN pada pengeluaran besar-besaran, dan kami menggredkan kepadatan kecacatan makro: Gred B: (5-10) cm-2atau gred A <5 cm-2. Pada tahun 2011, kami mempunyai peningkatan besar: untuk saiz besar (2"), kami boleh mengawalnya dengan kecacatan makro (0-2) cm-2. Spesifikasi substrat GaN a-plane (11-20) adalah seperti berikut:
- Penerangan
- Siasatan
Penerangan
1. Substrat Kristal GaN Muka Si-doped
| Perkara | PAM-FS-GAN AN |
| dimensi | 5 x 10 mm2 |
| ketebalan | 350 ±25 µm 430±25 µm |
| orientasi | Satu satah (11-20) bersudut terkeluar ke arah paksi-M 0 ±0.5° |
| Satu satah (11-20) bersudut terkeluar ke arah paksi-C -1 ±0.2° | |
| Jenis pengaliran | N-jenis |
| Kerintangan (300K) | < 0.05 Ω·cm |
| TTV | ≤ 10 µm |
| BOW | -10 µm ≤ BOW ≤ 10 µm |
| Kekasaran permukaan: | Bahagian hadapan: Ra<0.2nm, epi-sedia; |
| Bahagian belakang: Dikisar Halus atau digilap. | |
| kehelan Ketumpatan | Daripada 1 x 105 kepada 5 x 106 cm-2 |
| Ketumpatan Kecacatan Makro | 0 sm-2 |
| Kawasan Boleh Digunakan | > 90% (pengecualian tepi) |
| Pakej | setiap satu dalam bekas wafer tunggal, di bawah atmosfera nitrogen, dibungkus dalam bilik bersih kelas 100 |
2. Substrat GaN Berdiri Bebas Tidak Berdod
| Perkara | PAM-FS-GAN AU |
| dimensi | 5 x 10 mm2 |
| ketebalan | 350 ±25 µm 430±25 µm |
| orientasi | Satu satah (11-20) bersudut terkeluar ke arah paksi-M 0 ±0.5° |
| Satu satah (11-20) bersudut terkeluar ke arah paksi-C -1 ±0.2° | |
| Jenis pengaliran | N-jenis |
| Kerintangan (300K) | < 0.1 Ω·cm |
| TTV | ≤ 10 µm |
| BOW | -10 µm ≤ BOW ≤ 10 µm |
| Kekasaran permukaan: | Bahagian hadapan: Ra<0.2nm, epi-sedia; |
| Bahagian belakang: Dikisar Halus atau digilap. | |
| kehelan Ketumpatan | Daripada 1 x 105 kepada 5 x 106 cm-2 |
| Ketumpatan Kecacatan Makro | 0 sm-2 |
| Kawasan Boleh Digunakan | > 90% (pengecualian tepi) |
| Pakej | setiap satu dalam bekas wafer tunggal, di bawah atmosfera nitrogen, dibungkus dalam bilik bersih kelas 100 |
3. Substrat GaN Separa penebat Berdiri Bebas
| Perkara | PAM-FS-GAN A-SI |
| dimensi | 5 x 10 mm2 |
| ketebalan | 350 ±25 µm 430±25 µm |
| orientasi | Satu satah (11-20) bersudut terkeluar ke arah paksi-M 0 ±0.5° |
| Satu satah (11-20) bersudut terkeluar ke arah paksi-C -1 ±0.2° | |
| Jenis pengaliran | Separa Penebat |
| Kerintangan (300K) | > 10 6Ω·cm |
| TTV | ≤ 10 µm |
| BOW | -10 µm ≤ BOW ≤ 10 µm |
| Kekasaran permukaan: | Bahagian hadapan: Ra<0.2nm, epi-sedia; |
| Bahagian belakang: Dikisar Halus atau digilap. | |
| kehelan Ketumpatan | Daripada 1 x 105 kepada 5 x 106 cm-2 |
| Ketumpatan Kecacatan Makro | 0 sm-2 |
| Kawasan Boleh Digunakan | > 90% (pengecualian tepi) |
| Pakej | setiap satu dalam bekas wafer tunggal, di bawah atmosfera nitrogen, dibungkus dalam bilik bersih kelas 100 |
