GaN Epi pada Nilam/Silikon

GaN epi on sapphire or silicon template is available with N-type, P-type, and semi-insulating type. Our gallium nitride (GaN) template is available in diameters from 2” up to 6”, and consists of a thin layer of crystalline GaN grown on a sapphire/silicon substrate. GaN films on sapphire and silicon from Ganwafer have extremely high breakdown voltage and industry-leading low defect control, which is used in power and electronic devices. Moreover, GaN on silicon wafer will be perfect for the outbreak of the 5G market and lead the future trend of the RF industry.

Dalam kajian terdahulu untuk GaN pada substrat nilam, bukti pembentukan mikrocrack dalam substrat nilam semasa pertumbuhan GaN ditemui. Tetapi pembentukan retakan makro yang meluas ke permukaan GaN dianggap hanya berpunca daripada ketidakpadanan haba. Kemudian, apabila lapisan GaN pada nilam meningkat melebihi 100 mm, didapati terdapat proses kelonggaran yang cekap untuk templat GaN pada nilam. Pertumbuhan templat GaN-on-sapphire tanpa retak yang menghampiri diameter 2 inci telah ditunjukkan. Telah didapati bahawa keretakan biasanya sudah terbentuk semasa pertumbuhan templat GaN/nilam disebabkan oleh ketegangan tegangan yang terbentuk semasa penukleasian awal. Pembentukan retakan awal pada templat GaN pada nilam ini mungkin mempunyai kesan buruk; retakan mikro dalam substrat nilam boleh bertindak sebagai titik patah awal seterusnya untuk melegakan ketegangan yang meningkat disebabkan oleh pekali pengembangan haba yang berbeza bagi lapisan dan substrat semasa penyejukan. Walaupun keadaan pertumbuhan boleh didapati yang membawa kepada penyembuhan retak semasa pertumbuhan yang berlaku. Peresapan filem GaN yang ditanam pada permukaan nilam dianggap sebagai parameter penting untuk penyembuhan rekahan tersebut.

telah ditambahkan pada troli anda:
Checkout