Oblea InSb
El antimoniuro de indio (InSb) tiene la movilidad de electrones y la velocidad de saturación más altas entre todos los semiconductores, por lo que puede usarse en dispositivos de bajo consumo de energía y frecuencia extremadamente alta. Como fabricante de oblea InSb de semiconductores compuestos, Ganwafer proporciona sustratos de antimoniuro de indio del grupo III-V cultivados en LEC
Hay muchas aplicaciones potenciales de la oblea compuesta de antimoniuro de indio debido a su baja temperatura de cristalización, brecha de banda estrecha, alta movilidad del portador, proceso de cristal único de antimoniuro de indio de alta pureza relativamente simple, estructura cristalina completa de antimoniuro de indio y buena uniformidad de parámetros eléctricos. La oblea de antimoniuro de indio se usa actualmente en transistores de efecto de campo (FET), lo que hace que el dispositivo digital consuma menos energía y responda rápidamente. Para obtener más información sobre la oblea de indio y antimonio, contáctenos.
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Descripción
Las obleas de antimoniuro de indio monocristalinas epi-ready siguen siendo uno de los principales semiconductores utilizados para la fabricación de componentes electrónicos para la electrónica de estado sólido. La oblea de InSb se utiliza para la fabricación de fotocélulas lineales y de matriz que funcionan en longitudes de onda de 3 a 5 mm y se utilizan como elementos fotosensibles en sistemas de visión térmica.
Además, los conjuntos focales basados en películas delgadas de antimoniuro de indio se utilizan como dispositivos especiales para sistemas de orientación de precisión y navegación aérea, cabezales de seguimiento de infrarrojos antiaéreos, detectores de infrarrojos marinos, etc.
1. Especificaciones de la oblea InSb
| Artículo | Especificaciones |
| Diámetro de la oblea | 2 "50,5 ± 0,5 mm 3″76.2±0.4mm 4″1000.0±0.5mm |
| cristal Orientación | 2 "(111) AorB ± 0,1 ° 3″(111)AorB±0.1° 4″(111)AorB±0.1° |
| Espesor | 2 "625 ± 25um 3″ 800or900±25um 4″1000±25um |
| longitud plana primaria | 2 "16 ± 2 mm 3″22±2mm 4″32.5±2.5mm |
| longitud plana Secundaria | 2 "8 ± 1 mm 3″11±1mm 4″18±1mm |
| Acabado de la superficie | P / E, P / P |
| Paquete | Epi-Ready, recipiente de rebanada única o casete CF |
2. Parámetros eléctricos y de dopaje de oblea de antimonuro de indio tipo N y tipo P
| Tipo de conducción | de tipo n | de tipo n | de tipo n | de tipo n | p-tipo |
| dopante | sin dopar | Telurio | bajo el telurio | alta teluro | Genmanium |
| DAP cm-2 | 2″3″4″≤50 | 2″≤100 | |||
| Movilidad cm² V-1s-1 | ≥4*105 | ≥2.5*104 | ≥2.5*105 | No Especificado | 8000-4000 |
| Concentración de Portador cm-3 | 5*1013-3*1014 | (1-7)*1017 | 4*1014-2*1015 | ≥1*1018 | 5*1014-3*1015 |
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3. Investigación sobre el pulido químico de la oblea InSb
El pulido mecánico causará daños mecánicos en la superficie de la oblea InSb hasta cierto punto, aumentará la rugosidad de la superficie de la oblea y afectará el rendimiento del dispositivo final. El pulido químico puede eliminar los rayones de la superficie del sustrato de InSb y reducir la rugosidad de la superficie. El sustrato de antimoniuro de indio tipo n o tipo p se pule mecánicamente y se pule aún más con una solución de Br_2-MeOH de baja concentración. Compare la topografía, la variación del espesor total (TTV), la rugosidad, la composición de la superficie y las impurezas de las obleas de InSb pulidas y sin pulir; los resultados muestran que al pulir obleas de InSb con una concentración baja de solución de Br_2-MeOH, la tasa de corrosión es estable, fácil de Control, y puede eliminar eficazmente los arañazos de la superficie y obtener una superficie de espejo suave. La rugosidad de la superficie de la oblea después del pulido químico es de 6,443 nm, el TTV es de 3,4 μm y la relación atómica de In/Sb es cercana a 1. En comparación con las soluciones de grabado tradicionales CP4-A y CP4-B, la baja concentración de Br_2- La solución de MeOH es más adecuada para el pulido químico de obleas de InSb.
