LED-Epi auf GaAs-Substrat
Galliumarsenid (GaAs) nimmt im Bereich optoelektronischer Laser und LEDs eine große Rolle ein. Als ausgereifte Verbindungshalbleiter der zweiten Generation wachsen sowohl Leistungschips als auch optoelektronische Chips unterschiedliche Materialfilmstrukturen auf GaAs-Substraten mittels epitaxialem Wachstum auf.
Das minimale Leitungsband und das maximale Valenzband von GaAs befinden sich bei k = 0, was bedeutet, dass Elektronen in GaAs beim Übergang des Elektrons vom unteren Ende des Leitungsbands direkt das obere Ende des Valenzbands erreichen können. Im Vergleich zu Silizium benötigen Elektronen beim Übergang vom Leitungsband ins Valenzband nur eine Energieänderung, der Impuls ändert sich jedoch nicht. Diese Eigenschaft verleiht GaAs einen einzigartigen Vorteil bei der Herstellung von Halbleiterlasern (LD) und Leuchtdioden (LED).
- Beschreibung
- Anfrage
Beschreibung
Ganwafer offers LED Epi wafer on GaAs substrate, which is grown by MOCVD, available wavelength are:
Rot: 630~650nm;
Gelb: 587 ~ 592 nm;
Gelb / Grün: 568 ~ 573 nm;
Infrarot: 810~880nm, 890~940nm.
Weitere Spezifikationen der GaAs-LED-Epitaxie finden Sie unten:
1. Rote LED Epi auf GaAs-Substrat
1.1 Positive Struktur des roten LED-Wafers
| Struktur | Dicke (nm) |
| P-GaP | - - |
| P-AlInP | - - |
| MQW | - - |
| N-AlInP | - - |
| DBR n-AlGaAs/AlAs | - - |
| Pufferschicht n-GaAs | - - |
| GaAs-Substrat | 350um |
1.2 Verpolungsstruktur des roten LED-Wafers
| Struktur | Dicke (nm) |
| C-GaP | - - |
| Mg-GaP | - - |
| Mg-AlGaInP | - - |
| Mg-AlInP | - - |
| AlInP | - - |
| MQW:AlGaInP | - - |
| Si-AlInP | - - |
| Si-Al0.6GaInP | - - |
| Si-GaInP | - - |
| Si-GaAs-Ohm-Kontaktschicht | - - |
| Si-GaInP-Ätzschicht | - - |
| Si-GaAs-Puffer | - - |
| GaAs-Substrat | 350um |
Mark: Wir können die LED-Epitaxiestruktur auch auf einem 625 +/- 50 um dicken GaAs-Substrat aufwachsen lassen, und die Wafergröße kann 100 mm erreichen. Die tatsächliche Wellenlänge hat eine Toleranz von +/-10.
2. RC-LED-Epi-Schicht auf GaAs-Substrat, 650 nm
| P+ GaP 100 nm (für ITO) |
| P GaP 2um |
| P AlGaAs/AlAs DBR X 10 |
| P AllnP |
| Ich AlGaInp MQW |
| N AllnP |
| N AlGaAs/AlAs DBRX30 |
| N GaAs-Puffer |
| N-GaAs-Substrat (15 Grad aus) |
3. Infrarot-LED-Epitaxie auf GaAs-Substrat, 850–870 nm
| Material | Typ | Dicke (nm) | Hinweis |
| AlGaAs | P+ | - - | ohmsche Kontaktschicht |
| AlGaAs | P. | - - | P-Hülle |
| AlGaAs/GaAs | undotiert | - - | Aktive Schicht |
| AlGaAs | N. | - - | N-Hülle |
| N-GaAs-Substrat | |||
4. FAQ für Infrarot-LED-Epi auf GaAs-Substrat
F1: Ist es möglich, einige Dicken der 1,2-Umkehrpolaritätsstruktur des roten LED-Wafers zu modifizieren? Zum Beispiel Erhöhen der Ätzstoppschicht auf 300 nm.
A: Ja, die Ätzstoppschicht der IR-LED-Struktur kann 300 nm aushalten.
F2: Können Sie mir für die LED-Epitaxiestruktur in 1.2 einige Dopinginformationen mitteilen, insbesondere um den Kontakt herum? Es wäre sehr hilfreich, damit wir Metallkontakte richtig entwerfen können.
A: Für die Kontaktschicht der LED-Epistruktur sollte die n-Dotierung ~2e18 und die p-Dotierung in der Kontaktschicht ~1e20 sein.
F3: Wie stellen Sie normalerweise den Kontakt zur GaP:C-p-Kontaktschicht in einer LED-Struktur mit umgekehrter Polarität her? Zum Beispiel ITO oder Ti/Pt/Au?
A: Normalerweise verwenden wir ITO als Kontakt für den LED-Wafer.
Q4：Is the DBR n-AlGaAs/AlAs layer in positive LED wafer working as a reflector/mirror designed for the emission wavelength?
A: Yes, the DBR n-AlGaAs/AlAs layer in GaAs LED positive wafer is worked as a reflector/mirror.
Q5: Does the Si-Al0.6GaInP layer in reverse polarity structure of GaAs LED epitaxy also works as a reflector/mirror?
A：Yes, the Si-Al0.6GaInP epilayer in reversed GaAs LED epi-structure works as reflector/mirror.
Anmerkung:
Die chinesische Regierung hat neue Beschränkungen für den Export von Galliummaterialien (wie GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs und GaSb) und Germaniummaterialien zur Herstellung von Halbleiterchips angekündigt. Ab dem 1. August 2023 ist der Export dieser Materialien nur noch erlaubt, wenn wir eine Lizenz des chinesischen Handelsministeriums erhalten. Hoffe auf ihr Verständnis!
