Germanium-Wafer
Single crystal Ge (Germanium) wafers grown by VGF / LEC can be offered by a germanium wafer manufacturer – Ganwafer.
Auf Ge-Wafern hergestellte Halbleitervorrichtungen werden als Dioden, Transistoren und Verbundtransistoren verwendet, und optoelektronische Halbleitervorrichtungen auf Germanium werden als photoelektrische, Hall- und piezoresistive Sensoren, Strahlungsdetektoren mit photoleitfähigem Effekt usw. verwendet. Die meisten Anwendungen von Halbleitervorrichtungen auf Ge-Basis waren durch Silizium ersetzt. Eine gewisse Menge an Ge-Kristallwafern wird in Hochfrequenz- und Hochleistungsgeräten verwendet, während eine große Menge in photoelektrischen Avalanche-Dioden verwendet wird.
Verwenden Sie einen Einkristall-Ge-Wafer, um eine GaAs/Ge-Solarzelle herzustellen. Die Leistung einer Ge-basierten Solarzelle kommt der einer GaAs/GaAs-Zelle nahe, mit höherer mechanischer Festigkeit und einer größeren monolithischen Zellfläche. In der Weltraumanwendungsumgebung ist die Antistrahlungsschwelle höher als die von Siliziumzellen, die Leistungsverschlechterung ist gering und die Anwendungskosten liegen nahe an der Leistung von Siliziumzellenpanels. Auf Massen-Ge-Substrat hergestellte Solarzellen wurden in verschiedenen Arten von Militärsatelliten und einigen kommerziellen Satelliten verwendet und wurden allmählich zur Hauptstromquelle für den Weltraum. Mehr über Ge-Einkristall-Wafer finden Sie unten:
- Beschreibung
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Beschreibung
1. Allgemeine Eigenschaften von Ge-Wafern
Allgemeine Eigenschaftsstruktur | Kubisch, a = 5,6754 Å | ||
Dichte: 5,765 g/cm3 | |||
Schmelzpunkt: 937,4 °C | |||
Wärmeleitfähigkeit: 640 | |||
Crystal Growth Technologie | Czochralski | ||
Doping vorhanden | /. | Sb Doping | Doping In oder Ga |
leitfähige Typ | N. | N. | P. |
Widerstand, ohm.cm | >35 | < 0,05 | 0,05 bis 0,1 |
EPD | < 5×10^3/cm2 | < 5×10^3/cm2 | < 5×10^3/cm2 |
< 5×10^2/cm2 | < 5×10^2/cm2 | < 5×10^2/cm2 |
2. Qualitäten und Anwendung von Bulk-Ge-Substraten
elektronische Grade | Verwendet für Dioden und Transistoren, |
Infrarot oder opitical Grad | Verwendet für optische IR-Fenster oder -Scheiben, optische Komponenten |
Zelle Grade | Verwendet für Substrate von Solarzellen |
3. Standardspezifikationen von Ge-Kristallen und -Wafern
Kristallorientierung | <111>, <100> und <110> ± 0,5° oder benutzerdefinierte Ausrichtung | |||
Kristall boule als erwachsene | 1″ ~ 6″ Durchmesser x 200 mm Länge | |||
Standard leer als Schnitt | 1 "x 0,5 mm | 2 "x0.6mm | 4 "x0.7mm | 5 "und 6" x0.8mm |
Polierter Standardwafer (eine/zwei Seiten poliert) | 1 "x 0,30 mm | 2 "x0.5mm | 4 "x0.5mm | 5 "und 6" x0.6mm |
4. Sondergröße und Ausrichtung sind auf Anfrage erhältlich Germanium-Wafer:
4.1 Spezifikation des Einkristall-Germanium-Wafers
Artikel | Technische Daten | Bemerkungen |
Growth-Methode | VGF | |
Conduction Typ | n-type, p type | |
Dotierstoff | Gallium- oder Antimony | |
Wafer-Durchmesser | 2, 3, 4 & 6 | Zoll |
Kristallorientierung | (100), (111), (110) | |
Dicke | 200 ~ 550 | Äh |
VON | EJ oder US | |
Ladungsträgerkonzentration | Anfrage bei Kunden | |
Der spezifische Widerstand bei RT | (0,001 ~ 80) | Ohm.cm |
Ätzgrübchendichte | <5000 | / cm2 |
Laserbeschriftung | auf Anfrage | |
Oberflächenfinish | P / E oder P / P | |
Epi bereit | Ja | |
Paket | Einzelner Waferbehälter oder Kassette |
4.2 Spezifikation eines Einkristall-Ge-Wafers
4-Zoll-Wafer-Ge-Spezifikation | für Solarzellen | |
Doping | P. | |
Doping-Substanzen | Ge-Ga | |
Durchmesser | 100 ± 0,25 mm | |
Orientierung | (100) 9° weg in Richtung <111> +/- 0,5° | |
Off-Orientierung Tiltwinkel | N / A | |
Primäre Flach Orientierung | N / A | |
Primäre Wohnung Länge | 32 ± 1 | Millimeter |
Secondary Flach Orientierung | N / A | |
Secondary Wohnung Länge | N / A | Millimeter |
cc | (0,26-2,24) E18 | / cc |
Der spezifische Widerstand | (0,74 bis 2,81) E-2 | ohm.cm |
Electron Mobility | 382-865 | cm2 / vs |
EPD | <300 | / cm2 |
Laser-Markierung | N / A | |
Dicke | 175 ± 10 | um |
TTV | <15 | um |
TIR | N / A | um |
BOGEN | <10 | um |
Kette | <10 | um |
Vorderseite | Poliert | |
Rückfläche | Boden |
5. Germanium-Wafer-Prozess
Bei der Herstellung von Ge-Wafern in Elektronikqualität und IR-Qualität wird Germaniumdioxid aus der Rückstandsverarbeitung in Chlorierungs- und Hydrolyseschritten weiter gereinigt.
1) Hochreines Germanium wird während der Zonenraffination erhalten;
2) Ein Ge-Kristall wird über das Czochralski-Verfahren hergestellt;
3) Der Ge-Wafer wird über mehrere Schneide-, Schleif- und Ätzschritte hergestellt;
4) Die Wafer werden gereinigt und inspiziert. Während dieses Prozesses werden die Wafer je nach Kundenwunsch einseitig poliert oder doppelseitig poliert, Epi-Ready-Wafer werden geliefert;
5) Die Wafer werden unter einer Stickstoffatmosphäre in Einzelwaferbehälter verpackt.
6. Germaniumanwendungen
Germaniumrohlinge oder -fenster werden in Nachtsicht- und Thermografie-Bildgebungslösungen für gewerbliche Sicherheits-, Brandbekämpfungs- und industrielle Überwachungsgeräte verwendet. Außerdem werden sie als Filter für Analyse- und Messgeräte, Fenster für die Temperaturfernmessung und Spiegel für Laser verwendet.
Dünne Ge-Einkristall-Wafer werden in III-V-Solarzellen mit dreifachem Übergang und für Power Concentrated PV (CPV)-Systeme verwendet.
Anmerkung:
Die chinesische Regierung hat neue Beschränkungen für den Export von Galliummaterialien (wie GaAs, GaN, Ga2O3, GaP, InGaAs und GaSb) und Germaniummaterialien zur Herstellung von Halbleiterchips angekündigt. Ab dem 1. August 2023 ist der Export dieser Materialien nur noch erlaubt, wenn wir eine Lizenz des chinesischen Handelsministeriums erhalten. Hoffe auf ihr Verständnis!